A Study on the Preparation and Properties of $RuO_2$ Thin Films for Ferroelectric Memory Device Applications
(강유전체 메모리 소자 응용을 위한 $RuO_2$ 박막의 제작과 특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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- 2000.10a
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- pp.494-498
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- 2000