Spectroscopic Ellipsometry of Si/graded-$Si_{1-x}Ge_x$ /Si Heterostructure Films Grown by Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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- pp.190-191
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- 2006