• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 G
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• pp.2544-2546
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• 1998

The electrical and physical charateristics of Pt-Co alloy thin films on $Al_2O_3$ substrate, deposited by r.f cosputtering respectively, were analyzed with thickness of thin films ($1700{\sim}10000{\AA}$) and increasing annealing temperature ($800{\sim}1000^{\circ}C$). At input power of Pt : 4.4 W/$cm^2$, Co : 6.91 W/$cm^2$, working vacuum of 10 mTorr and annealing conditions of $1000^{\circ}C$) and 60 min, the resistivity and sheet resistivity of Pt-Co thin films with thickness of $3000{\AA}$ was $15{\mu}{\Omega}{\cdot}cm$ and 0.5 ${\Omega}/{\square}$, respectively. The TCR value of Pt-Co alloy thin films was measured with various thickness of thin films and annealing conditions. The optimum TCR value of 3850 ppm/$^{\circ}C$ in temperature range($200{\sim}400^{\circ}C$) is gained under conditions $3000{\AA}$ of thin films thickness and $1000^{\circ}C$ of annealing temperature. The thermal charateristics of Pt-Co micro heaters were analysed with Pt-Co RTD integrated on the same substrate. In the analysis of characteristics of Pt-Co micro heaters, the Pt-Co micro heaters with thickness of $3000{\AA}$ and annealing temperature of $1000^{\circ}C$ had a good linearity and temperature is up to $468.2^{\circ}C$ with 2.1 watts of the heating power.

• Journal of Magnetics
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• 제8권3호
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• pp.124-127
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• 2003

HDDR (hydrogenation, disproportionation, desorption, recombination) and mechanical milling processes have been applied to the $SmCo_{5}$ alloy in an attempt to produce a highly coercive powder. The $SmCo_{5}$ alloy had very high structural stability under the hydrogen atmosphere and the 1:5 phase was only partially disproportionated under up to 10 kgf/$\textrm{cm}^2$ hydrogen gas. The partially disproportionated material was recombined not into 1:5 phase after the HDDR, but rather into multi-phase mixture consisting of 1:5, 2:17, 2:7 and 1:7 phases. The $SmCo_{5}$ alloy HDDR-treated with hydrogen up to 10 kgf/$\textrm{cm}^2$ had poor coercivity. For a useful HDDR to prepare a high coercivity $SmCo_{5}$ alloy powder, much higher hydrogen pressure well exceeding 10 kgf/$\textrm{cm}^2$ would be required. The $SmCo_{5}$ alloy lump was amorphized by an intensive mechanical milling, and it was crystallised ultra-finely by a subsequent optimum annealing. The optimally annealed material had very high coercivity, and it was found that the mechanical milling followed by an annealing was an effective way of producing highly coercive $SmCo_{5}$ alloy powder.

• 센서학회지
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• 제7권1호
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• pp.45-50
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• 1998

마그네트론 코스퍼터링법으로 측온저항체 온도센서용 Pt-Co 합금박막을 $Al_{2}O_{3}$ 기판위에 증착시켰다. Lift-off 방법을 이용하여 $Al_{2}O_{3}$ 기판위에 Pt-Co 합금박막 저항체를 만들었으며, 인가전력, 진공도, 열처리 온도 및 신간에 따른 합금박막의 물리적, 전기적 특성을 조사하였다. 열처리 온도, 시간이 증가할수록 박막의 비저항 및 면저항이 감소하였다. 인가전력 Pt : $4.4 W/cm^{2}$, Co : $6.91\;W/cm^{2}$, 진공도 10 mTorr, $800^{\circ}C$, 60분간 열처리를 행한 Pt-Co 합금박막의 비저항 및 면저항은 각각 $15{\mu}{\Omega}{\cdot}cm$, $0.5{\Omega}/{\square}$이었다. 그리고 $25{\sim}600^{\circ}C$의 온도범위에서 $3000{\AA}$ 두께를 가지는 Pt-Co 합금박막의 저항온도계수는 $3740ppm/^{\circ}C$로 측정되었다. 이러한 결과로 Pt-Co 합금 박막은 측온저항체 온도센서로서의 가능성을 확인하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.275-276
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• 2011

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2001년도 춘계연구발표회 논문개요집
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• pp.68-69
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• 2001

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스
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• pp.9-12
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• 2004

This paper investigated the stability of Ta-Mo alloy on thin gate dielectric. Ta-Mo alloy was deposited by using co-sputtering process after thermal growing of 3.4nm and 4.2nm silicon dioxide. When the sputtering power of Ta and Mo were 100W and 70W, respectively, the suitable work function for NMOS gate electrode, 4.2eV, could obtain. To prove interface thermal stability of thin film gate dielectric and Ta-Mo alloy, rapid thermal annealing was performed at $600^{\circ}C$ and $700^{\circ}C$ for 10sec in Ar ambient. The results of interface reaction were surveyed by change of silicon dioxide thickness and work function after annealing process. Also, the reliability of alloy gate and gate dielectric could be confirmed by quantity of leakage current. Ta-Mo alloy was showed low sheet resistance and thermal stability, namely, little change of gate dielectric and work function, after $700^{\circ}C$ annealing process.

• 한국자기학회지
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• 제27권4호
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• pp.129-134
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• 2017

합금 제조에 흔히 이용되는 기존의 용해, 응고, 열처리 등의 가공 공정으로 덩치 형태의 체심정방정 구조의 Fe-Co계 합금상을 합성하고, 그 결정학적, 자기적 특성을 조사하였다. $(Fe_{100-x}Co_x)_{1-y}C_y$ 합금에서 체심정방정 구조의 단일상(martensite)이 얻어지는 Co 및 C의 함량은 크게 제한되어, Co의 함량 x = 2.5, C의 함량 y = 0.062로 제한된 조성에서 체심정방정 구조의 단일상 합금이 얻어졌다. 합성된 조성 $(Fe_{97.5}Co_{2.5})_{0.938}C_{0.062}$인 체심정방정 구조의 단일상 합금의 정방성(tetragonality, c/a)은 1.05였으며, 이 합금의 결정자기 이방성 상수, $K_1$ 값은 순수 철(${\alpha}-Fe$)의 $K_1$ 값에 비하면 3.1배 정도 높은 $1.5{\times}10^5J/m^3$였다.

• 전력전자학회:학술대회논문집
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• 전력전자학회 2008년도 하계학술대회 논문집
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• pp.338-341
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• 2008

Galvannealed Sheet Steel, which is being widely used in the automotive industry, is made by reheat after dip zinc galvanizing process. By this, A Fe-Zn alloy is created which enhance anticorrosive property and weldability. This paper describes basic design for 2000kW induction heating inverter system for galvannealling process and test result of 250kW inverter module which is used in parallel to form 2000kW inverter system.

• 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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• 한국마이크로전자및패키징학회 2000년도 추계 기술심포지움 논문집
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• pp.57-57
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• 2000

본 논문에서는 MCM 및 패키지의 Lid로 사용되는 합금인 Kovar (Fe-Ni-Co alloy) 와 LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) 간의 Brazing 특성을 연구하였다. 기존에 사용되고 있는 알루미나 패키지의 경우, 주로 80$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서 Brazing을 실시하고 있으며, 조성은 Ag-Cu 계열을 사용하고 있다. 하지만, LTCC 의 경우, 소결온도가 85$0^{\circ}C$ 내외로서 기존의 방법을 그대로 적용하기는 어려움이 있다. 또한 Brazing 특성에 따른 접착 강도는 Brazing Alloy 의 영향뿐만 아니라 LTCC 와 전도체 전극사이의 Metallization 에 크게 영향을 받는다. 따라서, 본 논문에서는 Brazing Alloy의 종류 (Ag-Cu, Au-Sn) 및 Brazing 조건에 따른 Brazing 특성뿐만 아니라, 전도체 전극내 유리질 함량에 따른 Brazing 특성을 평가하여 LTCC/Kovar 간의 최적의 Brazing 조건을 구현하고자 하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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• pp.338-338
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• 2009