Characterization of structural and electrical properties of FCVA-produced DLC films as a function of nitrogen incorporation (FCVA 방법에 의해 제작된 DLC 박막의 질소 첨가에 따른 구조적, 전기적 물성분석)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2001.07c
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- pp.1393-1395
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- 2001