• 제목/요약/키워드: CMOS process

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Process Parameter의 Modelling에 의한 BiCMOS 소자 설계의 최적화 방안에 관한 연구 (A Study on the Computer Modelling with Process Parameters for the Optimization of BiCMOS Device)

  • 강이구;김태익;우영신;이계훈;성만영;이철진
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1994년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1460-1462
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    • 1994
  • BiCMOS is the newly developed technology that integrates both CMOS and bipolar structures on the same integrated circuit. Improved performance can be obtained from combining the advantages of high density and low power in CMOS with the speed and current capibility advantages by bipolar. However, the major drawbacks to BiCMOS are high cost, long fabrication time and difficulty of merging CMOS with bipolar without degrading of device Performance because CMOS and bipolar share same process step. In this paper, N-Well CMOS oriented BiCMOS process and optimization of device performance are studied when N-Well links CMOS with bipolar process step by 2D process and 3D Device simulation. From the simulation, Constriction of linking process step has been understood and provided to give the method of choosing BiCMOS for various analog design request.

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CMOS 아날로그 셀 라이브레이 설계에 관한 연구-CMOS 온-칩 전류 레퍼런스 회로 (A study on a CMOS analog cell-library design-A CMOS on-chip current reference circuit)

  • 김민규;이승훈;임신일
    • 전자공학회논문지A
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    • 제33A권4호
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    • pp.136-141
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    • 1996
  • In this paper, a new CMOS on-chip current reference circit for memory, operational amplifiers, comparators, and data converters is proposed. The reference current is almost independent of temeprature and power-supply variations. In the proposed circuit, the current component with a positive temeprature coefficient cancels that with a negative temperature coefficient each other. While conventional curretn and voltage reference circuits require BiCMOS or bipolar process, the presented circuit can be integrated on a single chip with other digiral and analog circits using a standard CMOS process and an extra mask is not needed. The prototype is fabricated employing th esamsung 1.0um p-well double-poly double-metal CMOS process and the chip area is 300um${\times}$135 um. The proposed reference current circuit shows the temperature coefficient of 380 ppm/.deg. C with the temperature changes form 30$^{\circ}C$ to 80$^{\circ}C$, and the output variation of $\pm$ 1.4% with the supply voltage changes from 4.5 V to 5.5 V.

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질화갈륨 전력반도체와 Si CMOS 소자의 단일기판 집적화를 위한 Si(110) CMOS 공정개발 (Development of Si(110) CMOS process for monolithic integration with GaN power semiconductor)

  • 김형탁
    • 전기전자학회논문지
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    • 제23권1호
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    • pp.326-329
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    • 2019
  • 차세대 전력반도체 소재인 질화갈륨(GaN)이 증착된 GaN-on-Si 기판의 기술성숙도가 높아지면서 Si CMOS 소자와의 단일기판 집적화에 대한 관심이 고조되고 있다. CMOS 특성이 상대적으로 저하되는 (111)Si 보다 (110)Si의 CMOS소자가 집적화 관점에서 유리할 것으로 판단되며, 따라서 향후 전개될 GaN-on-(110)Si 플랫폼을 활용한 GaN 전력반도체 스위치소자와 Si CMOS소자의 단일기판 집적화에 적용될 수 있도록 국내 Si CMOS 파운드리 공정을 (110)Si 기판에 진행하였다. 제작된 CMOS소자의 기본특성 및 인버터체인 회로특성, 그리고 게이트 산화막의 신뢰성 분석을 통해 향후 국내 파운드리공정을 활용한 (110)Si CMOS기술과 GaN의 집적화의 가능성을 검증하였다.

1.9GHz CMOS RF Up-conversion 믹서 설계 (Design of 1.9GHz CMOS RF Up-conversion Mixer)

  • 최진영
    • 전기전자학회논문지
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    • 제4권2호
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    • pp.202-211
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    • 2000
  • 회로 시뮬레이터인 SPICE를 이용하여 1.9GHz 대역의 CMOS up-conversion 믹서를 설계하였고, 회로 설계를 위한 시뮬레이션 과정을 소자 모델링을 포함하여 상세히 설명하였다. $0.5{\mu}m$ 표준 CMOS 공정을 이용하여 칩을 제작한 결과, 제작된 칩의 특성과 초기 시뮬레이션에 의해 예상되는 특성 사이에 큰 차이점이 발견되어 이에 대한 원인 분석을 시도하였다. 발견된 문제점들을 고려한 경우의 시뮬레이션을 통해 시도한 시뮬레이션 방법의 타당성을 증명하였고, 이러한 문제점들을 보완할 경우 사용한 표준 CMOS 공정으로도 GaAs MESFET 공정을 사용한 유사 칩의 특성에 근접하는 칩 특성의 구현이 가능함을 보였다.

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Printed CMOS 공정기술을 이용한 MASK ROM 설계 (MASK ROM IP Design Using Printed CMOS Process Technology)

  • 장지혜;하판봉;김영희
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2010년도 춘계학술대회
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    • pp.788-791
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    • 2010
  • 본 논문에서는 인쇄공정기술로써 ETRI $0.8{\mu}m$ CMOS 공정을 사용하여 수동형 인쇄 RFID 태그칩용 64bit ROM을 설계하였다. 먼저 태그 칩의 제작단가를 줄이기 위하여 기존 실리콘 기반의 복잡한 리소그래피 공정을 사용하지 않고 게이트 단자인 폴리 층을 프린팅 기법 중 하나인 임프린트 공정을 사용하여 구현하였다. 그리고 �弼壅� ROM 셀 회로는 기존 ROM 셀 회로의 NMOS 트랜지스터대신에 CMOS 트랜스미션 게이트를 사용함으로써 별도의 BL 프리차지 회로와 BL 감지 증폭기가 필요 없이 출력 버퍼만으로 데이터를 읽어낼 수 있도록 하였다. $0.8{\mu}m$ CMOS 공정을 이용하여 설계된 8 행 ${\times}$ 8 열의 어레이를 갖는 64b ROM의 동작전류는 $9.86{\mu}A$이며 레이아웃 면적은 $311.66{\times}490.59{\mu}m^2$이다.

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Temperature Stable Current Source Using Simple Self-Bias Circuit

  • Choi, Jin-Ho
    • Journal of information and communication convergence engineering
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    • 제7권2호
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    • pp.215-218
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    • 2009
  • In this paper, temperature stable current and voltage references using simple CMOS bias circuit are proposed. To obtain temperature stable characteristics of bias circuit a bandgap reference concept is used in a conventional circuit. The parasitic bipolar transistors or MOS transistors having different threshold voltage are required in a bandgap reference. Thereby the chip area increase or the extra CMOS process is required compared to a standard CMOS process. The proposed reference circuit can be integrated on a single chip by a standard CMOS process without the extra CMOS process. From the simulation results, the reference current variation is less than ${\pm}$0.44% over a temperature range from - $20^{\circ}C$ to $80^{\circ}C$. And the voltage variation is from - 0.02% to 0.1%.

Spiral 인덕터 간 격리방법에 따른 Electromagnetic 커플링 효과 (EM Coupling Effect of sprint inductors by isolation methode in standard CMOS process)

  • 최문호;김한석;정성일;김영석
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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    • pp.91-92
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    • 2005
  • The electromagnetic coupling effect in standard CMOS process is simulated and evaluated. EM coupling transfer characteristic between planar spiral inductors by isolation methode in standard CMOS have simulated and measured. Measurement results show that suppression of EM coupling effect by ground guardring. The evaluated structures are fabricated 1P5M(one poly, five metal) 0.25um standard CMOS process. These measurement results provide a isolation design guidelines in standard CMOS process for Rf coupling suppression.

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BICMOS게이트 어레이 구성에 쓰이는 소자의 제작 및 특성에 관한 연구 (A Study on the Process & Device Characteristics of BICMOS Gate Array)

  • 박치선
    • 한국통신학회논문지
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    • 제14권3호
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    • pp.189-196
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    • 1989
  • 본 논문에서는 BICMOS 게이트 어레이 시스템 구성시 내부의 논리회로 부분은 CMOS 소자로 입출력부는 바이폴라 소자를 이용할 수 있는 공정과 소자 개발을 하고자 하였다. BICMOS게이트 어레이 공정은 폴리게이트 p-well CMOS 공정을 기본으로 하였고, 소자설계의 기본개념은 공정흐름을 복잡하지 않게 하면서 바이폴라, CMOS 소자 각각의 특성을 좋게 하는데 두었다. 시험결과로서, npn1 트랜지스터의 hFE 특성은 120(Ic=1mA) 정도이고, CMOS 소자에서는 n-채널과 p-채널이 각각 1.25um, 1.35um 까지는 short channel effect 현상이 나타나지 않았고, 41stage ring oscillator의 게이트당 delay 시간은 0.8ns이었다.

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CMOS 마이크로 습도센서 시스템의 설계 및 제작 (Design and Fabrication of CMOS Micro Humidity Sensor System)

  • 이지공;이상훈;이성필
    • 융합신호처리학회논문지
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    • 제9권2호
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    • pp.146-153
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    • 2008
  • 본 연구에서는 $0.8{\mu}m$ 아날로그 혼합 CMOS 기술에 의한 2단 연산 증폭기를 가진 집적화된 습도센서 시스템을 설계 및 제작하였다. 시스템은 28핀 및 $2mm{\times}4mm$의 크기를 가졌으며, 휘스톤 브릿지형 습도센서, 저항형 습도센서, 온도센서 및 신호의 증폭과 처리를 위한 연산증폭기를 단일 칩에 구성하였다. 기존의 CMOS 공정에 트렌치형의 감지 영역을 형성하기 위해 폴리-질화 에치 스탑 공정을 시도하였다. 이러한 수정된 기술은 CMOS 소자의 특성에 영향을 주지 않았고, 표준 공정으로 동일 칩 상에 센서와 시스템을 제작할 수 있도록 하였다. 연산증폭기는 이득 폭이 5.46 MHz 이상, 슬루율이 10 V/uS 이상으로 센서를 동작하기에 안정된 특성을 보였다. N형 습도감지 전계효과 트랜지스터의 드레인 전류는 상대습도가 10%에서 70%로 변화할 때 0.54mA에서 0.68 mA로 변화하였다.

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범용 CMOS 공정을 사용한 DTMOS 슈미트 트리거 로직의 구현을 통한 EM Immunity 향상 검증 (DTMOS Schmitt Trigger Logic Performance Validation Using Standard CMOS Process for EM Immunity Enhancement)

  • 박상혁;김소영
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제27권10호
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    • pp.917-925
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    • 2016
  • 슈미트 트리거 로직(Schmitt Trigger Logic)은 디지털 회로의 노이즈에 대한 내성을 향상시키기 위해 히스테리시스 특성을 보이는 게이트를 제안한 설계 방법이다. 슈미트 트리거 특성을 보이는 설계 방법 중 최근에 제안된 substrate bias를 조정하여 구현하는 Dynamic Threshold voltage MOS(DTMOS) 방법을 사용할 경우, 게이트 수를 늘이지 않고 내성을 향상 시킬 수 있는 설계방법이나, 범용 CMOS 공정에서 구현하여 시뮬레이션으로 예상하는 성능을 얻을 수 있는지는 검증되지 않았다. 본 연구에서는 $0.18{\mu}m$ CMOS 공정에서 DTMOS 설계 방법을 구현하여 히스테리시스 특성을 측정하여 검증하였다. DTMOS 슈미트 트리거 버퍼, 인버터, 낸드, 노어 게이트 및 간단한 디지털 로직 회로를 제작하였으며, 히스테리시스 특성, 전력 소모, 딜레이 등의 특성들을 관찰하고, 일반적인 CMOS 게이트로 구현된 회로와 비교하였다. 노이즈에 대한 내성이 향상되는 것을 Direct Power Injection(DPI) 실험을 통해 확인하였다. 본 논문을 통해 제작된 DTMOS 슈미트 트리거 로직은 10 M~1 GHz 영역에서 전자파 내성이 향상된 것을 확인할 수 있었다.