In this work, a high tunable capacitor using a multi-layer dielectric of BZN/BST/BZN is designed and characterized for reconfigurable RF applications. By utilizing a high tunable BST ferroelectric and a low-loss BZN paraelectric thin film, a multi-layer dielectric of BZN/BST/BZN obtained a tunability of 47 % and $tan{\delta}$ of 0.005. The fabricated tunable capacitor on a quartz wafer using this multi-layer dielectric achieved a Q-factor of 10 and tunability of 60 % at 800 MHz and 15 V. Its size is $327{\times}642{\mu}m2$.
This study examines paraelectric $Bi_{1.5}Zn_{1.0}Nb_{1.5}O_7$ (BZN), which has no hysteresis and high dielectric strength, for energy density capacitor applications. To increase the breakdown dielectric strength of the BZN film further, poly(vinylidene fluoride) BZN-PVDF composite film is fabricated by aerosol deposition. The volume ratio of each composition is calculated using dielectric constant of each composition, and we find that it was 12:88 vol% (BZN:PVDF). To modulate the structure and dielectric properties of the ferroelectric polymer PVDF, the composite film is heat-treated at $200^{\circ}C$ for 5 and 30 minutes following quenching. The amount of ${\alpha}-phase$ in the PVDF increases with an increasing annealing time, which in turn decreases the dielectric constant and dielectric loss. The breakdown dielectric strength of the BZN film increases by mixing PVDF. However, the breakdown field decreases with an increasing annealing time. The BZN-PVDF composite film has the energy density of $4.9J/cm^3$, which is larger than that of the pure BZN film of $3.6J/cm^3$.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2009.06a
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pp.230-231
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2009
펄스 레이저 층착법 (이하 PLD)은 다성분계 산화물 박막 또는 다층구조의 박막 제작에 매우 유용한 기술이다. 본 실험에서는 KrF 엑시머 레이저를 이용하여 pt on Si 기판 위에 150nm 두께의 $Bi_{1.5}ZnNb_{1.5}O_7$(이하 BZN) 박막을 다양한 기판온도에서 제작하였다. XRD를 이용하여 BZN 박막의 구조적 특성을 분석하였고, 박막을 MIM 구조로 제작하여 유정적 특성을 측정하였다. 제조한 BZN 박막은 $500^{\circ}C$ 이상에서 결정질을, $500^{\circ}C$ 이하의 온도에서는 비정질 특성을 보였다. 유전 특성은 100 - 400$^{\circ}C$ 영역에서는 온도가 증가함에 따라 졸은 특성을 나타내었고, $500^{\circ}C$에서부터는 감소하였다. 증착 온도 $400^{\circ}C$에서 제작한 BZN 박막이 유전상수가 67.8, 유전 손실이 0.006으로 가장 줄은 유전특성을 나타내었다.
Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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2006.09b
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pp.1232-1233
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2006
To co-fire with commercial LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic) materials at $850^{\circ}C{\sim}880^{\circ}C$, different contents of $B_2O_3$ were added to the $Bi_2O_3-ZnO-Nb_2O_5$ (BZN) ceramics. According to the test results, the cubic phase of BZN was transformed into orthorhombic in all the test materials. $BiNbO_4$ phase was formed in test materials with $2{\sim}5wt%$ of $B_2O_3$ addition. The phase transformation of cubic BZN was controlled during the synthesis process with excess ZnO content. The Cubic and orthorhombic phases of BZN could coexist and be sintered densely at $850^{\circ}C/2hr$.
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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v.27
no.11
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pp.77-82
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1990
The temperature and the composition dependence of the dielectric properties of the solid solution materials in the system $xBa(Zn_{1/3}Nb_{2/3})O_{3}\[BZN]-(1-x)\Sr(Zn_{1/3}Nb{2/3)O_{3}\[SZN]$ at microwave frequency was studied. The dielectric constant and unloaded Q were $40.5{\pm}0.5,5980{\pm}100$ respectively for BZN at 10 GHz and $36.9{\pm}0.5,2700{\pm}100$ for SZN at 10.2GHz. The temperature coefficient of the resonant frequency was $+27.5ppm/{\circ}C$ for BZN and $-39.1ppm/{\circ}C$ for SZN. The results also showed that 0.3 BZN-0.7 SZN is the most temperature-stable composition among xBZN-(1-x) SZN solid solutions. In this case, the dielectric constant, the unloaded Q and $\tau_{f}$ at 9.8GHz were $41.5{\pm}0.2,2920{\pm}100$ and $-3.5ppm/{\circ}C$, respectively.
This study is about how to lower the driving voltage that enables to move the micro droplet by the EWOD (Electro Wetting On Dielectric) mechanism. EWOD is well known that it is used ${\mu}-TAS$ digital micro fluidics system. As the device which is fabricated with dielectric layer between electrode and micro droplet is applied voltage, the hydrophobic surface is changed into the hydrophilic surface by electrical property. Therefore, EWOD induces the movement of micro droplet with reducing contact angle of micro droplet. The driving voltage was depended on the dielectric constant of dielectric layer, thus it can be reduced by increase of dielectric constant. Typically, very high voltage ($100V{\sim}$) is used to move the micro droplet. In previous study, we used $Ta_{2}O_{5}$ as the dielectric layer and driving voltage was 23V that reduced 24 percent compared with $SiO_2$. In this study, we used $BZN(Bi_{2}O_{3}ZnO-Nb_{2}O_{5})$ layer which had high dielectric constant. It was operated the just 12V. And micro droplet was moved within Is on 15V. It was reduced the voltage until 35 percents compare with $Ta_{2}O_{5}$ and 50 percents compare with $SiO_2$. The movement of micro droplet within 1s was achieved with BZN (ferroelectrics)just on 15V.
The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.17
no.9
s.112
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pp.860-865
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2006
In this paper, a novel tunable inter-digital capacitor using dielectric tunable $Bi_2O_3-ZnO-Nb_2O_5(BZN)$ pyrochlore thin films is proposed. In order to improve the tunability and reduce DC bias voltage using the fringing electric field, the electrodes of the inter-digital capacitor are embedded in the thin film. Designed results using a 2.5 D simulator show that the tunability of the proposed inter-digital capacitor improves by 10 %, compared to the conventional inter-digital capacitor. The proposed IDC, which is based on the simulation results, was fabricated, using the BZN thin film deposited by a reactive RF magnetron sputtering on the on the silicon substrate. The fabricated inter-digital capacitor shows the maximum tunability of 50 % at 5.8 GHz and 18 V DC applied.
Kim, Min-Han;Son, Jin-Ok;Nahm, Sahn;Yoo, Myong-Jae;Park, Jong-Cheol;Lee, Hwack-Joo
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2004.07b
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pp.611-614
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2004
[ $Ba(Zn_{1/3}Nb_{2/3})O_3$ ] (BZN) 세라믹스의 소결 온도는 약 $1350^{\circ}C$ 이다. 그러나 $B_2O_3$가 첨가된 경우, BZN 세라믹스는 $900^{\circ}C$에서 소결되었다. $BaB_4O_7$, $BaB_2O_4$ 그리고 $BaNb_2O_6$ 이차상이 $B_2O_3$가 첨가된 BZN 세라믹스에서 관찰되었다. $BaB_4O_7$과 $BaB_2O_4$ 이차상은 약 $900^{\circ}C$에서 공정 온도를 가지기 때문에 $B_2O_3$를 첨가한 BZN 세라믹스론 $900^{\circ}C$에서 소결하는 동안 액상으로 존재할 것으로 여겨지며, 그것이 BZN 세라믹스의 소결온도를 낮출 것으로 생각된다. 소결 온도의 증가에 따라 유전 상수 ($\varepsilon_r$)와 품질 계수 ($Q{\times}f$)의 값은 증가하였는데, 이는 밀도의 증가에 기인한다. 그러나 $B_2O_3$의 첨가량이 많은 경우 Q 값은 감소하는데, 이는 이차상의 존재가 품질계수의 저하를 초래한다고 생각된다. 2.0 mol% $B_2O_3$가 첨가된 BZN 세라믹스를 $950^{\circ}C$에서 2시간 동안 소결하는 경우, $Q{\times}f$=13.600 GHz, $\varepsilon_r$=37.6 그리고 공진 주파수 온도계수 ($\tau_f$) = 19 ppm/$^{\circ}C$의 유전특성을 얻을 수 있었다.
Ba (Co$_{1}$ 3/Nb$_{2}$ 3/)O$_3$(BCN) has a 1:2 ordered hexagonal structure. Q-value of BCN increased with increasing sintering temperature however, it significantly decreased when the sintering temperature exceeded 140$0^{\circ}C$ Ba (Co$_{1}$ 3/Nb$_{2}$ 3/)O$_3$(BZN) has the 1:2 ordered hexagonal structure and the degree of the 1 : 2 ordering decreased with the increase of the sintering temperature. The Q value of the BZN increased with increasing the sintering temperature and BZN sintered at 140$0^{\circ}C$ for 6h has a maximum Q-value. For (1-x) Ba (Co$_{1}$ 3/Nb$_{2}$ 3/)O$_3$-zBa(Zn$_{1}$ 3/Nb$_{2}$ 3/)O$_3$[(1-x)BCN-xBZN] ceramics the 1:2 ordered hexagonal structure was observed in the specimens with x$\leq$0.3 and the BaNb$_{6}$ O$^{16}$ second phase was found in the specimens with x$\geq$0.6. Grain Growth, which is rotated to the BaNb$_{6}$ O$^{16}$ second phase occurred in the specimens with x$\geq$ 0.5. In this work, the excellent microwave dielectric properties of $\tau$r=0.0 ppm/$^{\circ}C$$\varepsilon$r=34.5 and Q,$\times$f=97000GHz sere obtained for the 0.7BCV-0.3BZN ceramics sintered at 1400$0^{\circ}C$ for 20h.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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