Effect of Annealing on Dielectric of Properties BZN Thin Films

  • 송병익 (삼성전기 중앙연구소 PKG 팀) ;
  • 이인형 (삼성전기 중앙연구소 분석G) ;
  • 이정원 (삼성전기 중앙연구소 PKG 팀) ;
  • 이승은 (삼성전기 중앙연구소 PKG 팀)
  • Published : 2007.11.02