• Title/Summary/Keyword: Au-Si island

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Growth and Interdiffusion Behavior of Copper MOCVD Films on Au/Si(100) Substrates (Au/Si(100)기판상에서 Cu-MOCVD 박막의 성장과 상호확산거동)

  • Kim, Jeong-Yeol;Lee, Yeong-Gi;Park, Dong-Gu;Jo, Beom-Rae
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.7 no.8
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    • pp.668-678
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    • 1997
  • Si(100)기판상에 여러 가지 두께의 Au박막을 선행 증착(pre-deposition)한 후, 각각의 Au박막상에서의 Cu-MOCVD박막의 초기 핵생성과 성장 기구를 고찰하였고, 또한 각 계면에서의 상호 확산 거동을 여러가지의 분석 장비를 이용하여 조사하였다. 30$\AA$두께의 Au 박막은 수소 가스 분위기중의 열처리에 의하여 평탄한 표면 상태에서 불연속의 응집된 도상(island)형태로 변화(Si 전체 표면중 약 20%)하였다. 반면에 1500$\AA$두께의 Au박막상에서 성장한 Cu-MOCVD박막은 두께 증가에 따른 미세구조의 차이, 즉 Cu박막중으로 Au원자의 확산여부는 Au박막에 유기되는 열응력(thermal stress)을 완화하는 과정에서 일어난 결과이다.

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Structural and optical properties of Si nanowires grown by Au-Si island-catalyzed chemical vapor deposition (Au-Si 나노점을 촉매로 성장한 Si 나노선의 구조 및 광학적 특성 연구)

  • Lee, Y.H.;Kwak, D.W.;Yang, W.C.;Cho, H.Y.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.17 no.1
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    • pp.51-57
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    • 2008
  • we have demonstrated structural evolution and optical properties of Si-nanowires (NWs) synthesized on Si (111) substrates with nanoscale Au-Si islands by rapid thermal chemical vapor deposition (RTCVD). The Au-Si nano-islands (10-50nm in diameter) were employed as a liquid-droplet catalysis to grow Si-NWs via vapor-liquid-solid mechanism. The Si-NWs were grown by a mixture gas of SiH4 and H2 at a pressure of 1.0 Torr and temperatures of $500{\sim}600^{\circ}C$. Scanning electron microscopy measurements showed that the Si-NWs are uniformly sized and vertically well-aligned along <111> direction on Si (111) surfaces. The resulting NWs are ${\sim}60nm$ in average diameter and ${\sim}5um$ in average length. High resolution transmission microscopy measurements indicated that the NWs are single crystals covered with amorphous SiOx layers of ${\sim}3nm$ thickness. In addition, the optical properties of the NWs were investigated by micro-Raman spectroscopy. The downshift and asymmetric broadening of the Si main optical phonon peak were observed in Raman spectra of Si-NWs, which indicates a minute stress effects on Raman spectra due to a slight lattice distortion led by lattice expansion of Si-NW structures.

Distribution Characteristics of Gold in the Volcanic Rocks, Korea (국내에 분포하는 화산암류중 금의 분포특징에 관한 연구)

  • Yoon, Chung-Han;Oh, Keun-Chang
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.29 no.3
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    • pp.257-267
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    • 1996
  • One hundred of thirty volcanic rocks col1ected from the Jeju island, Jeongog, Guryongpo and other areas were analyzed for major elements and trace elements with Au by inductively coupled argon plasma and graphite furnace atomic absorptiom spectrometry. The Au content is the highest values (0.2~43.4 ppb, average; 10.34 ppb) from the Jeju island volcanic rocks and the lowest (0.5~11.0 ppb, average; 1.23 ppb) from the Guryongpo volcanic area. The content of Au tends to be higher in the Quarternary volcanic rocks than Tertiary or Cretaceous volcanic rocks. The Au content of the calc alkali volcanic rocks tends to increase from mafic to felsic volcanic rocks, but that of the alkalic volcanic rocks tends to increase from felsic to mafic volcanic rocks. The Au content of the volcanic rocks collected from the Jeju island shows the highest values in the feldspar olivine basalts. Elements or oxides which have positive or negative correlations with Au are Ag, Mo, Rb, V, Y, $K_2O$, MgO and $SiO_2$, but other elements analyzed are not shown correlations with Au. It has a tendency to show that samples from the Jeju with 5 ppb gold and more are plotted in the non-Dupal area and those with less than 5 ppb gold in the Dupal area, while those from the Jeongog with 5 ppb gold and more are plotted in the Dupal area and those with less than 5 ppb gold in the non-Dupal area, in the Ba/Nb-La/Nb, Zr/Nb-Ba/Nb diagrams. It shows that samples from the Jeju and Guryongpo with high gold content are plotted in the within-plate, while those with low gold content are plotted in the arc-related area, and those from the Jeongog are scattered in the $TiO_2-Al_2O_3$, $Zr/A1_2O_3-TiO_2/Al_2O_3$ diagrams.

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기지상 물질과의 결합특성이 금속입자의 성장 및 표면 플라즈몬 공진 특성에 미치는 영향

  • Kim, Yun-Ji;Lee, In-Gyu;Kim, Won-Mok;Lee, Gyeong-Seok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.426-426
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    • 2011
  • 최근 들어 금속물질을 나노미터 단위로 구성할 수 있는 기술이 진보하면서, 금속 나노입자에 의해 발생되는 표면 플라즈몬에 대해서도 다양한 분야의 관심이 집중되고 있다. 유전체 물질을 기지상으로 하는 금속:유전체 나노복합체에서 금속 나노입자는 자유전자들의 집단 진동인 국소표면 플라즈몬 공진(Localized Surface Plasmon Resonance, LSPR)현상에 의해 국부전기장을 증대 시키고, 가시광 및 적외선 영역에서 특성 광흡수 거동을 보인다. 이와 같은 광학적 특성은 금속 나노입자들의 크기, 형태, 그리고 나노입자들의 주변을 구성하는 기지상 물질의 종류에 의해 조절된다. 금속:유전체 나노복합체에 나타나는 이러한 특성은 단순장식코팅 뿐만 아니라 광의 효율적 운용과 광을 매개로 한 기능발현을 필요로 하는 디스플레이, 광학 스위칭 소재 및 태양전지의 효율 향상을 위한 광흡수층 등 매우 다양한 응용이 가능하다. 본 연구에서는 다양한 굴절률을 갖는 재료들 중, 저굴절률을 갖는 SiO2와 고굴절률을 갖는 ZnS-SiO2를 기지상 재료로 선택하여 교번증착 스퍼터링법으로 Ag와 Au입자를 형성시켰다. Ag를 금속나노입자로 갖고, SiO2와 ZnS-SiO2를 기지상으로 하는 금속:유전체 나노복합체에서는 금속나노입자 형성에 따른 뚜렷한 표면 플라즈몬 공진 광흡수 피크가 관찰된 반면 Au나노입자는 기지상에 따라 각기 다른 광흡수 특성을 나타냈는데, SiO2기지상에서 명확한 광흡수 피크를 형성했던 경우와는 달리 ZnS-SiO2기지상에서는 특정파장에서의 흡수피크로 규정되기 어려운 넓은 파장범위에 걸친 완만한 광흡수 피크를 나타냈다. TEM 분석을 통해, ZnS-SiO2 기지상 내의 Au입자는 각각 독립되어 있는 Island형태가 아닌 유전체 기지상과 대칭적으로 혼합된 네트워크 형태의 Bruggeman 기하구조를 구성하고 있음을 확인하였고, 이는 Au입자가 형성되고 성장할 때 Au와 S의 높은 결합에너지로 인해 상당한 젖음 특성을 갖고 성장하였기 때문으로 판단됐다. 따라서 나노복합체를 구성하는 물질간의 광학적 특성뿐만 아니라 기지상 내에서의 금속입자의 성장거동에 대한 연구가 수반되었을 때, 금속:유전체 나노복합체의 표면 플라즈몬 공진 광흡수 특성을 보다 정확하게 제어할 수 있다.

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Structural and optical properties of Si nanowires grown with island-catalyzed Au-Si by rapid thermal chemical vapor deposition(RTCVD) (Au-Si을 촉매로 급속화학기상증착법으로 성장한 Si 나노선의 구조 및 광학적 특성 연구)

  • Kwak, D.W.;Lee, Y.H.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.16 no.4
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    • pp.279-285
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    • 2007
  • We have demonstrated structural evolution and optical properties of the Si-NWs on Si (111) substrates with synthesized nanoscale Au-Si islands by rapid thermal chemical vapor deposition(RTCVD). Au nano-islands (10-50nm in diameter) were employed as a liquid-droplet catalysis to grow Si-NWs via vapor-liquid-solid mechanism. Si-NWs were grown by a mixture gas of $SiH_4\;and\;H_2$ at pressures of $0.1{\sim}1.0$Torr and temperatures of $450{\sim}650^{\circ}C$. SEM measurements showed the formation of Si-NWs well-aligned vertically for Si (111) surfaces. The resulting NWs are 30-100nm in diameter and $0.4{\sim}12um$ in length depending on growth conditions. HR-TEM measurements indicated that Si-NWs are single crystals convered with about 3nm thick layers of amorphous oxide. In addition, optical properties of NWs were investigated by micro-Raman spectroscopy. The downshift and asymmetric broadening of the Si optical phonon peak with a shoulder at $480cm^{-1}$ were observed in Raman spectra of Si-NWs.