Comparison of Nitrogen and Oxygen Annealing Effects on the Structural, Optical and Electrical Properties of ALD-ZnO Thin Films (ALD법으로 증착한 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른 구조적, 전기적 특성 비교)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.15 no.8
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- pp.514-517
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- 2005