ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$ 플라즈마 식각
(Dry Etching of ZnO films in $Cl_2/Ar$ Inductively Coupled Plasmas)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.119-119
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- 2001