비대칭 마그네트론 스퍼터링을 이용한 다층 TiAlN/$Si_{3}N_4$ 박막의 합성과 특성평가
(Synthesis and property evaluation of multi-layered TiAlN/$Si_{3}N_4$ thin films using unbalanced magnetron sputtering)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2005년도 추계학술발표회 및 workshop
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- pp.129-129
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- 2005