Nanoimprint lithography (NIL) is a new lithographic method that offers a sub-10nm feature size, high throughput, and low cost. One of the most serious problems of NIL is the stiction between mold and resist. The antistiction layer coating is very effective to prevent this stiction and ensure the successful NIL results. In this paper, an antistiction layer was deposited by VSAM (vapor self assembly monolayer) method on silicon samples with FOTS (perfluoroctyltrichlorosilane) as a precursor for making an antistiction layer. A specially designed LPCVD (low pressure chemical vapor deposition) was used for this experiment. All experiments were achieved after removing the humidity. First, the evaporation test of FOTS was performed for checking the evaporation temperature at low pressure. FOTS was evaporated at 5 Tow and $110^{\circ}C$. In order to evaluate the temperature effect on antistiction layer, chamber temperature was changed from 50 to $170^{\circ}C$ with 0.1ml of FOTS for 1 minute. Good hydrophobicity of all samples was shown at about $110^{\circ}$ of contact angle and under $20^{\circ}$ of hysteresis. The surface energies of all samples calculated by Lewis acid/base theory was shown to be about 15mN/m. The deposited thicknesses of all samples measured by ellipsometry were almost 1nm that was similar value of the calculated molecular length. The surface roughness of all samples was not changed after deposition but the friction force showed relatively high values and deviations deposited at under $110^{\circ}$. Also the white circles were founded in LFM images under $110^{\circ}$. High friction forces were guessed based on this irregular deposition. The optimized VSAM process for FOTS was achieved at $170^{\circ}C$, 5 Torr for 1 hour. The hot embossing process with 4 inch Si mold was successfully achieved after VSAM deposition.
This study was conducted to characterize red worm(Lumbricus rubellus) and its cast reared six months using with pulp sludge, mixture of pulp sludge and methane sludge, and cow manure and methane sludge. The results obtained were as follows: 1. The optimum growth temperature ranged from $16^{\circ}C$ to $25^{\circ}C$ and monthly weight increase was about one kilogram per square meter. 2. The weight of red worm increased 9 to 11 percent reared with mixture of cow manure and methane sludge compared to pulp sludge. 3. Red worm contained large amount of amino acid, including. Lycine, which, might be a good source for a feed additive. 4. Yields of red worm cast ranged from 90 to 95 ton/10a/year on dry weight base. 5. CEC of red worm cast varied from 19.4 to 49.9 meg/100g and O.M content ranged from 26.4 to 35.1 percent. It contained lots of nutrients resulting in a good fertilizer source.
Park, Yun-Jun;Yu, Duk-Man;Choi, Jong-Ho;Ahn, Jeong-Ho;Hong, Young-Taik
Polymer(Korea)
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v.36
no.3
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pp.275-280
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2012
Poly(amic acid)s were successfully synthesized from 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene (1,4-APB) or 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane (HFBAPP) with pyromellitic dianhydride (PMDA), 3,3'-4,4'-benzopenonetetracarboxylic dianhydride (BPDA) and $p$-phenylenediamine ($p$-PDA) and then they were effectively converted into polyimide films by thermal imidization. The chemical structure and thermo-mechanical properties of polyimide films were examined using Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR), thermo-gravimetric analyzer (TGA), thermo-mechanical analyzer, dynamic mechanical analyzer (DMA) and universal tensile machine (UTM). The moisture absorption, thermal and mechanical properties of polyimide films decreased with increasing the amount of 1,4-APB and HFBAPP. The polyimide films using HFBAPP showed lower properties than that of 1,4-APB at the same ratio, but it displayed better thermal properties and lower moisture absorption at the similar coefficient of thermal expansion (CTE) with a copper. On the basis of our finding, it is concluded that 4-component polyimide films could be utilized for base films for flexible copper clad laminates (FCCL) of flexible printed circuit boards.
Kim, Jae-Hyun;Kim, Gang-Phil;Ryu, Hong-Keun;Suh, Hong-Suk;Lee, Jung-Ho
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.06a
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pp.241-241
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2008
Macrofore formation in silicon and other semiconductors using electrochemical etching processes has been, in the last years, a subject of great attention of both theory and practice. Its first reason of concern is new areas of macropore silicone applications arising from microelectromechanical systems processing (MEMS), membrane techniques, solar cells, sensors, photonic crystals, and new technologies like a silicon-on-nothing (SON) technology. Its formation mechanism with a rich variety of controllable microstructures and their many potential applications have been studied extensively recently. Porous silicon is formed by anodic etching of crystalline silicon in hydrofluoric acid. During the etching process holes are required to enable the dissolution of the silicon anode. For p-type silicon, holes are the majority charge carriers, therefore porous silicon can be formed under the action of a positive bias on the silicon anode. For n-type silicon, holes to dissolve silicon is supplied by illuminating n-type silicon with above-band-gap light which allows sufficient generation of holes. To make a desired three-dimensional nano- or micro-structures, pre-structuring the masked surface in KOH solution to form a periodic array of etch pits before electrochemical etching. Due to enhanced electric field, the holes are efficiently collected at the pore tips for etching. The depletion of holes in the space charge region prevents silicon dissolution at the sidewalls, enabling anisotropic etching for the trenches. This is correct theoretical explanation for n-type Si etching. However, there are a few experimental repors in p-type silicon, while a number of theoretical models have been worked out to explain experimental dependence observed. To perform ordered macrofore formaion for p-type silicon, various kinds of mask patterns to make initial KOH etch pits were used. In order to understand the roles played by the kinds of etching solution in the formation of pillar arrays, we have undertaken a systematic study of the solvent effects in mixtures of HF, N-dimethylformamide (DMF), iso-propanol, and mixtures of HF with water on the macrofore structure formation on monocrystalline p-type silicon with a resistivity varying between 10 ~ 0.01 $\Omega$ cm. The etching solution including the iso-propanol produced a best three dimensional pillar structures. The experimental results are discussed on the base of Lehmann's comprehensive model based on SCR width.
This paper proposes a DNA watermarking method for the privacy protection and the prevention of illegal copy. The proposed method allocates codons to random circular angles by using random mapping table and selects triplet codons for embedding target with the help of the Lipschitz regularity value of local modulus maxima of codon circular angles. Then the watermark is embedded into circular angles of triplet codons without changing the codes of amino acids in a DNA. The length and location of target triplet codons depend on the random mapping table for 64 codons that includes start and stop codons. This table is used as the watermark key and can be applied on any codon sequence regardless of the length of sequence. If this table is unknown, it is very difficult to detect the length and location of them for extracting the watermark. We evaluated our method and DNA-crypt watermarking of Heider method on the condition of similar capacity. From evaluation results, we verified that our method has lower base changing rate than DNA-crypt and has lower bit error rate on point mutation and insertions/deletions than DNA-crypt. Furthermore, we verified that the entropy of random mapping table and the locaton of triplet codons is high, meaning that the watermark security has high level.
Silicone composites for high voltage insulator (HVI SC) were prepared by adding aluminum trihydrate(ATH) treated by surface treatment agent to base silicone compound at the ratio oi 100:20, 100:40, 100:60, 100:80, and 100:100, respectively And also, ATH was treated by various surface treatment agents, such as stearic arid, acryl silane, and vinyl silane under compounding process. Mechanical properties and electrical properties were investigated for the various contents of ATH and surface-treatment agents. Mechanical properties such as tensile strength, elongation, and tear strength decreased as the load of ATH increased. Volume resistivity, AC break down strength, and tracking resistance for HVI SC containing ATH treated by vinyl silane were better than those for HVI SC containing ATH treated by other surface treatment agents, such as stearic acid and acryl silane. Polymer-filler interaction of silicone composites according to surface treatment agents was studied by measuring bound rubber contend(BR). From the experimental results, BR of silicone composite containing ATH treated with vinyl silane was higher than that of the others. The degree of rule for silicone composite was investigated using Rheometer. Maximum torque of silicone composites contaning ATH treated with vinyl silane was higher than that of silicone composite contaning ATH treated with other surface agents.
In this study, the educational effect was investigated by providing a teaching program so that pre-service chemistry teachers could apply model ignorance education to teacher training practice. The teaching program was constructed in consideration of the sensemaking concept proposed in the study of Odden & Russ and the process of teacher sensemaking proposed by Asli et al. The subjects of this study were 23 pre-service teachers in the 4th year of chemistry education department at a teacher training university in the central region of Korea. In order to form a sensemaking for the model's ignorance education, the teaching program consisted of four stages; the initial idea generation stage, cognition of model's ignorance stage in a inconsistent situation, the lesson strategy construction stage for model ignorance education, and lesson plan & practice stage during teacher training practice. In the first stage of this program, pre-service teachers' initial ideas about the Arrhenius model and Bronsted-Lowry model of acid-base reaction, and the electron transfer model of the oxidation-reduction reaction were investigated. In the second stage, inconsistant situation that cannot be explained by the knowledge of model was presented to recognize the ignorance of the model. The third stage was to develop the teaching ability of model's ignorance through textbook analysis and lesson strategy composition activities. As a final stage, during the teacher training practice, the pre-service teachers were asked to plan and practice the implementation of the model's ignorance education. Through the teaching program to form a sensemaking for ignorance education of the models, pre-service teachers had come to recognize the ignorance of the model, acquired ability to organize and execute lesson strategies reflecting model ignorance, and acquired recognition of the educational value and necessity of teaching the ignorance of models.
A Bacillus sp. that produces fibrinolytic enzyme was isolated from Cheonggukjang, a traditional Korean soybean-fermented food. According to 16S rRNA gene base sequencing, the bacillus was identified as a variety of Bacillus subtilis, and named Bacillus subtilis IDCC 9204. Fibrinolytic enzyme NK-IL9204 was stable up to $60^{\circ}C$ and within pH range of 5-10. Purified NK-IL9204 was detected through fibrin zymography. The molecular weight and isoelectric point of the enzyme were estimated to be 27.7 kDa and 6.7 by SDS-PAGE and 2D electrophoresis, respectively. Its amino acid sequence was similar to that of nattokinase (identities 99.5%) and different from that of nattokinase BPN (identities 86.4%). The plasma fibrinolytic activity of NK-IL9204 was measured by euglobulin clot lysis times (ECLT). The NK-IL9204 was orally administered to SD rats for 3 weeks (1,000 FU/rat/day). The ECLT was significantly shortened by supplementation of NK-IL9204.
Fifteen soils including volcanic ash, acid sulfate and degraded saline soils were investigated for Languir adsorption isotherm of ammonium using $NH_4H_2PO_4$. The results are as follows. Languir adsorption maxima of ammonium (LAMA) ranged from 2.4me/100g soil to 12.3 and the average was 5.3. Initial concentration of 30 to 60 or 40 to 80 ppm(as N) appears to be suitable for LAMA measurement. There were two LAMA in some soils. Difference between adsorption constants (bonding energy) was mostly greater than that between LAMA. LAMA ranged from 9.4% to 72% of cation exchange capacity and average was 47%. It did not show any clear tendency with CEC, pH, organic matter content, base saturation percent, P, K, Ca, Mg, Na and Si. Except volcanic ash soils which were grouped into two groups according to ammonium adsorption LAMA was significantly (r=0.951 at 1%) correlated with adsorption at 200ppm. This single concentration seems suitable for LAMA measurement. Probable mechanism of ammonium adsorption was discussed, in which the associated anions were combined with iron and aluminum and then ammonium was bound to phosphorus. Applicability of Langmuir adsorption isotherm model to the soils under field condition was also discussed.
$TiO_2$ powders were synthesized via hydrolysis reaction of titanium n-propoxide in n-propanol solvent and the reaction rates were studied by use of UV-vis spectroscopic method. Concentration of water, reaction temperature, reaction time and acid-base effects of the solution were investigated to determine the optimum conditions for $TiO_2$ powder synthesis. The reaction were controlled to proceed to pseudo-first orders reaction in the presence of excess water in n-propanol solvent. The rate constants which varied with temperature and concentration of water were calculated by Guggenheim method. Reaction using $D_2O$ was also carried out to determine the catalytic character of water. $TiO_2$ powders were synthesized only in the neutral and basic solution and those were almost spheric forms having average particle size of $0.4-0.7{\mu}m$ diameter. Particle size decreased with increasing concentration of water and reaction temperature, however, increased with increasing reaction time. Associative $S_N2$ mechanism for the hydrolysis was proposed from the data of n-value in the transition state and thermodynamic parameter. $D_2O$ solvent isotope effect showed that $H_2O$ molecules reacted as nucleophilic catalysis.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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