$TaN_x$ film is grown by plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) using t-butylimido tris(dimethylamido) tantalum as a metalorganic source with various reactive gas species, such as $N_2+H_2$ mixed gas, $NH_3$, and $H_2$. Although the pulse sequence and duration are the same, aspects of the film growth rate, microstructure, crystallinity, and electrical resistivity are quite different according to the reactive gas. Crystallized and relatively conductive film with a higher growth rate is acquired using $NH_3$ as a reactive gas while amorphous and resistive film with a lower growth rate is achieved using $N_2+H_2$ mixed gas. To examine the relationship between the chemical properties and resistivity of the film, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is conducted on the ALD-grown $TaN_x$ film with $N_2+H_2$ mixed gas, $NH_3$, and $H_2$. For a comparison, reactive sputter-grown $TaN_x$ film with $N_2$ is also studied. The results reveal that ALD-grown $TaN_x$ films with $NH_3$ and $H_2$ include a metallic Ta-N bond, which results in the film's higher conductivity. Meanwhile, ALD-grown $TaN_x$ film with a $N_2+H_2$ mixed gas or sputtergrown $TaN_x$ film with $N_2$ gas mainly contains a semiconducting $Ta_3N_5$ bond. Such a different portion of Ta-N and $Ta_3N_5$ bond determins the resistivity of the film. Reaction mechanisms are considered by means of the chemistry of the Ta precursor and reactive gas species.
Swine influenza is an acute respiratory disease prevalent in pig-growing areas all around the world and plays the roles of an intermediate host to be transmitted to mammals including human beings through a genetic recombination with the avian influenza virus. Recognizing that people could be contracted with swine influenza, this study set out to investigate the seroprevalence of individual and multiple infections with two subtypes (H1N1 and H3N2) of the swine influenza virus in pig farms in the Gyeongnam region according to age, area, and season, as well as to provide basic data for the prevention and control of swine influenza. Used in the study were total 904 swine sera that were not vaccinated against the influenza gathered from the pig farms in the Gyeongnam region from November, 2009 to October, 2010. HerdChek SIV (H1N1, H3N2) ELISA kit (IDEXX Laboratories, USA) was used for antibody testing against swine influenza. The test results show that 370 sera (40.9%) were infected with either H1N1 or H3N2 with 37.3% (337 sera) being contracted with H1N1, 13.1% (118 sera) with H3N2, and 9.4% (85) with both H1N1 and H3N2.
Swine influenza is an acute, infectious respiratory disease caused by type A influenza viruses in pigs. In the previous studies, serological surveys have indicated the presence of H3N2 swine influenza virus (SIV) since 1995 in Korea. And the percentage of the antibody-positive rate was 39.12% in the survey determining the prevalence of H1N1 SIV antibodies in 2002. The purpose of this study was therefore to investigate the sero-prevalence of SIV regard to the age of the pig and the season between June 2004 and May 2005. In this study, a total of 932 sera were used. These sera were randomly selected from blood samples, which were submitted to Department of Veterinary Pathology, Kangwon National University and Department of Veterinary Virology, Seoul National University from June 2004 to May 2005. These sera have been tested by ELISA test kit (IDEXX Lab, USA) for the SIV H3N2, H1N1 respectively. SAS version 9.1 was used for the statistical analysis based on the age of the pig and the season. The overall sero-prevalence of the antibody against H3N2 SIV was 20.82% (194/932). The overall sero-prevalence of the antibody against H1N1 SIV was 37.23% (347/932). The overall dual sero-prevalence of the antibody against H3N2 and H1N1 SIV was 10.62% (99/932). H3N2 has significant difference in statistically regarding the age of the pig and the season (p<0.0001). H1N1 has significant difference in statistically regarding the age of the pig (p<0.0001) but has not significant difference in statistically regarding the season (p=0.5882).
Novel mononuclear metal complexes with the formula $[M(Ph_2PC_6H_4NC_3H_6NC_6H_4PPh_2)]$ (M=Pd (1); M=Pt (2)) were obtained when N,N'-bis[2'-(diphenylphosphino)phenyl]propane-1,3-diamine, I was mixed with cisdichlorobis(diethylsulfide)palladium and platinum in the presence of NEt3. Two mononuclear metal compounds with the fomula [M(Ph2PC6H4NH)(SEt2)Cl] (M=Pd (3); M=Pt (4)) were synthesized from $M(SEt_2)2Cl_2$ and N-(2'-diphenylphosphinophenyl)-4-amino-1,1,1,5,5, 5-hexafluoro-3-penten-2-one, II by the elimination reaction of hexafluoro pentenone. The X-ray single crystal structures of 1 and 4 are described. X-ray single crystal diffraction analyses reveal that compound 1 is a mononuclear palladium compound with P,N,N,P-coordination mode and 4 is a mononuclear platinum compound with P,N-coordination mode.
$H_2O_3(H_2O)_n$ (n=1-5) 클러스터들에 대해서 밀도 범함수 이론(DFT)과 순 이론(ab initio) 방법을 cc-pVD(T)Z 바탕집합(basis set)과 함께 사용하여 가능한 여러 구조를 최적화하고 결합에너지와 조화진동수를 계산하였다. $H_2O_3$ 단량체의 경우 CCSD(T)/ccp-VTZ 이론 수준에서 트랜스(trans) 구조가 시스(cis) 구조보다 더 안정한 것으로 계산되었다. 클러스터에 대해서는 MP2/cc-pVTZ 수준까지 분자 구조를 최적화하고 열역학적으로 가장 안정한 분자구조를 예측하였다. 클러스터의 결합에너지는 CCSD(T)//MP2 수준에서 영점 진동에너지(ZPVE)와 바탕집합 중첩에러(BSSE)를 모두 보정한 후 n=1일 때 -6.39 kcal/mol 계산 되었으며 이 같은 결과는 $H_2O$와 $H_2O_2$의 물 클러스터 보다 더 좋은 수소 주게 즉 산(acid)으로서 작용할 것으로 기대된다. 물 분자 1개 당 평균 결합에너지는 n=2의 경우 8.25 kcal/mol, n=3일 때 7.22 kcal/mol, n=4의 경우 8.50 kcal/mol 그리고 n=5의 경우 8.16 kcal/mol로 계산되었다.
Ar 기류 하에서 Re(N-C6H3-2,6-i-Pr2)2Cl3(py) (1)과 propionaldehyde (C2H5CHO)가 반응하여 생성된 혼합물에서, [cis-ReCl4(py)(N-C6H3-2,6-i-Pr2)·(NH2-C6H3-2,6-i-Pr2)] (2)가 분리되었다. 이 화합물의 구조가 X-ray 회절법으로 규명되었다. 착물 2의 결정학 자료: 단사정계 공간군 P21/n, a=11.555(1) Å, b=27.066(3) Å, c=11.881(1) Å, β=117.991(8)°, Z=4, R(wR2)=0.0332(0.0851.
Sodium sulfisoxazole hexahydrate, $C_{11}H_{12}N_3O_3SNa{\cdot}6H_2O$의 결정 및 분자구조를 X-선 회절법으로 해명하였다. 이 화합물의 결정은 공간군 $P2_1/c$에 속하는 단사형으로 a = 15.68(3), b = 7.70(2), c = $17.94(4){\AA}$, ${\beta}$ = $118(2)^{\circ}$ and Z = 4이다. Weissenberg 사진 촬영으로 얻은 회절반점의 총수는 1717개이며 중원자법을 적용하여 구조해명을 한 후 최소 자승법으로 정밀화하였으며 최종 R값은 0.14이다. Benzene ring과 isoxazole ring은 평면구조를 가지며 서로 $60^{\circ}$의 각을 이루고 있다. 나트륨 원자는 다섯개의 물의 산소 원자들과 N(1)으로 만들어진 찌그러진 팔면체로 배위되어 있다. 분자들은 결정내에서 14개의 서로 다른 종류의 수소결합으로 결합되어 있다. 여섯종류의 $O-H{\cdots}O-H$, 세종류의 $O-H{\cdots}O,$ 두종류의 $O-H{\cdots}N$및 각각 한종류의 $N-H{\cdots}O,$$O-H{\cdots}N$, $N-H{\cdots}O-H$ 수소결합들이며 그 길이는 2.71에서 $3.04{\AA}$까지이다.
The molecular structures of 2-SC₄H₃CH=NN(H)C/sub 6/H/sub 5/(C/sub 11/H/sub 10/N₂S) and (GaMe₂)₂(2-SC₄H₃CH=NNC/sub 6/H/sub 5/)₂(C/sub 26/H/sub 30/Ga₂N₄S₂) have been determined by X-ray diffraction. Crystallographic data for 2-SC₄H₃CH=NN(H)C/sub 6/H/sub 5/:orthorhombic space group P2₁2₁2₁, a=6.108(1)Å, b=7.593(1)Å, c=22.356(2)Å, V=1037.1(3)ų, Z=4, R=0.0613. Crystallographic data for (GaMe₂)₂(2-SC₄H₃CH=NNC/sub 6/H/sub 5/)₂:monoclinic space group P2₁/n, a=15.996(2) Å, c=9.879(3)Å, β=100.07.(2)°, V=2764.599)ų, Z=4, R=0.0503.
Synthesis of high purity ultrafine Si3N4 and ${\beta}$-Sialon powders was investigated via the simultaneous reduction and nitriding of amorphous SiO2, SiO2-Al2O3 system prepaerd by hydrolysis of alkoxides, using carbonablack as a reducing agent. In Si(OC2H5)4-C2H5 OH-H2 O-NH4OH system, hydrolysis rate increased with increasing reaction temperature and pH. Pure ${\alpha}$-Si3N4 was formed at 1350$^{\circ}C$ for 5 hrs in N2 atmosphere. In Si(OC2H5)4-Al(OC3H7)3-C6H6-H2 O-NH4OH system, weight loss increased as Si/Al ratio decreased. Single phase ${\beta}$-Sialon consisted of Si/Al=2 was formed at 1350$^{\circ}C$ in N2 and minor phases of ${\alpha}$-Si3N4, AIN, and X-phase were existed besides theSialon phase at other Si/Al ratios. The Si3N4 and Sialon powders synthesized from alkoxides consisted of uniform find particles of 0.05-0.2$\mu\textrm{m}$ in diameter, respectively.
본 연구에서는 박막트랜지스터의 특성 향상을 위하여 강유전성 박막을 게이트 절연층으로 사용하기 위하여 강유전성 박막과 a-Si:H의 계면특성을 조사하였다. 먼저 강유전성 박막 중에 대표적인 SrTiO$_3$를 I-BEAM 증착기로 박막을 형성시켰다. 형성된 박막은 N2 분위기에서 $150^{\circ}C∼600^{\circ}C$로 1시간 ANNEALING하여 전자현미경으로 표면을 측정하였다. SrTiO$_3$의 유전상수는 50∼100 정도였으며 항복전계는 1∼l.5 MV/cm로 매우 우수한 유전특성을 갖고 있었다. 강유전체 박막 위에 a-SiN:H,a-Si:H(n-type a-Si:H) 등을 PECVD로 증착하여 MFNS구조를 형성하였다. 계면특성을 C-V PLOTTER로 측정한 결과 SrTiO$_3$ 박막은 SiN과의 접합이 매우 안정되어 있었고 C-V특성은 SiN/a-Si:H과 유사하였다. 그러나 FERROELECTRIC/a-S:H의 경우가 훨씬 CAPACITANCE 값이 컸으며, 이는 강유전체 박막의 높은 유전상수에 기인 된 것이라 생각된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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