본 실험에서는 D.C magnetron sputtering을 사용하여 Mn-Ir/Ni-Fe/buffer/Si 다층박막의 교환결합 자계와 보자력에 영향을 주는 인자를 미세구조의 관점에서 분석하였다. (111) 우선방위에 상관없이 모든 시편에서 155 Oe 이상의 교환결합 자계가 발생하였다. Mn-Ir/Ni-Fe 의 계면에서 Mn-Ir의 결정립 크기와 게면 거칠기가 Mn-Ir/Ni-Fe 다층박막의 교환결합 자계와 보자력에 가장 많은 영향을 주는 것을 알 수 있었다. Mn-Ir/Ni-Fe/Cu/Ni-Fe/buffer/Si spin-valve 다층박막에서 각 층의 두께와 하지층에 따른 자기저항비와 coulping field을 분석하였다. Mn-Ir(10 nm)/Ni-Fe(7.5 nm)/Cu(2 nm)Ni-Fe(6 nm)/Ta (5 nm)/Si에서 최대 자기저항비가 발생하였다. 강자성체의 결정립 크기가 거대자기저항비에 영향을 주는 것을 알 수 있었다. 그리고 계면 거칠기와 강자성체의 결정립 크기가 coulping field 에 많은 영향을 주는 것을 알 수 있었다.
형광광도법을 이용하여 histidine 아미노산을 간단하고미량까지 정확하게 정량 하는 방법을 연구하였다. $Eu^{3+}$ - TTA- histidine 착물의 방출 봉우리는 235 nm에서 들뜰 때 470 nm에서 나타나며 그의 형광세기는 histidine을 $1{\times}10^{-7}-4{\times}10^{-6}M$까지 가함에 따라 직선적으로 증가하였다. 이를 이용하여 histidine을 정량 하는 방법을 연구하였다. 검출 한계는 $5{\times}10^{-7}M$이였으며 이때의 상대표준편차는 3.5%이였다. 이 방법을 합성 시료에서 histidine을 정량 하는데 이용하였다.
Co(0.7 wt%)와 Pr(2.0, 3.5 및 5.0 wt%)이 첨가된 큐빅지르코니아($ZrO_2:Y_2O_3=50:50wt%$) 단결정을 스컬용융법으로 성장 후 $N_2$ 분위기에서 $1150^{\circ}C$로 5시간 동안 열처리 하였다. 갈색의 단결정들은 각각 어두운 갈녹색, 녹청색 또는 밝은 녹색으로 변화되었다. 열처리 전 후의 YSZ 단결정들을 직경 7.5, 두께 3 mm의 웨이퍼로 연마 하여 UV-VIS 분광광도계 및 XRD(X-ray diffraction)로 광학적 또는 구조적 특성 분석을 행하였다. $Co^{2+}$(약 589 nm: ${\Gamma}_8[^4A_2(^4F)]{\rightarrow}{\Gamma}_8+{\Gamma}_7[^4T_1(^4F)]$, 약 610 nm: ${\Gamma}_8[^4A_2(^4F)]{\rightarrow}{\Gamma}_8[^4T_1(^4F)]$, 약 661 nm: ${\Gamma}_8[^4A_2(^4F)]{\rightarrow}{\Gamma}_6[^4T_1(^4F)]$ 및 $Pr^{3+}$(약 450 nm: ${^3}H{_4}-{^3}P{_2}$, 약 473 nm: ${^3}H{_4}{\rightarrow}{^3}P{_1}$, 약 484 nm: ${^3}H{_4}{\rightarrow}{^3}P{_0}$)에 의한 흡수, 이온화에너지 및 격자상수 변화를 확인하였다.
Optical properties of sea water were studied in the entrance of Tokyo Bay, Japan. based on the data obtained from seven oceanographic stations in June. 1985. The observation of surface irradiance and underwater irradiance of sea water for eight kind of wavelength (378, 422, 481, 513, 570, 621, 653. 677nm) of sun light was conducted using the underwater irradiameter (Isigawa # SR-8). The mean att;enuation coefficient of the sea water was appeared to be 0.245 (0.042-0.776) and the attenuation co~fficient of the sea water for wavelength appeared such as 0.227 for 378 nm, 0.186 for 422 nm. O. 175 for 481 nm. O. 176 for 513 nm. O. 185 for 570 nm, 0.337 for 621 nm. O. 321 for 653 nm, O. 348 for 677 nm. The transparency was 7.0 m (5.5-9 m). water color was 10 (8.0-13.0) in the study area and the sun altitude was 60.95$^{\circ}$ (43.610-75.500). The relationship between attenuation coefficient (K) and transparency (D) was K = 2.63/ D (1.28/ D- 4. 87/D). The rate of light penetration for eight kind of wave Ie nth (378, 422. 481. 513. 570, 621, 653, 677 nm) were computed with reference to the surface light intensity respectively. The mean rate of light penetration in proportion to depths were 68.63% (46.02-86.07%) in 1 m layer, 18.40% (2.07 -48.48%) in 5m layer, 4.82% (0.042-22.30%) in 10m layer and 1.35% (0.01I-7.42%) in 20m layer. The rate of light penetration at the transparency layer with reference to the surface light intensity was shown as 10.39% (0.77-27.46%).
In this study, the properties of Ag-coated $TiO_2$ nanoparticles were observed, while varying the molar ratio of water and $Ag^+$ for the surfactant and $TiO_2$. According to the XRD results, each nanoparticle showed a distinctive diffraction pattern. The intensity of the respective peaks and the sizes of the nanoparticles increased in the order of AT1($R_1=5$)(33.3 nm), AT2($R_1=10$)(38.1 nm), AT3($R_1=20$)(45.7 nm), AT4($R_1=40$)(48.6 nm) as well as AT5($R_2=0.2$, $R_3=0.5$)(41.4 nm), AT6($R_2=0.3$, $R_3=1$)(45.1 nm), AT7($R_2=0.5$, $R_3=1.5$)(49.3 nm), AT8($R_2=0.7$, $R_3=2$)(57.2 nm), which values were consistent with the results of the UV-Vis. spectrum. The surface resistance of the conductive pastes fabricated using the prepared Ag-coated $TiO_2$ nanoparticles exhibited a range 7.0~9.0($274{\sim}328{\mu}{\Omega}/cm^2$) times that of pure silver paste(ATP)($52{\mu}{\Omega}/cm^2$).
A three-wavelength $Pr^{3+}:YLF$ laser at 604 nm, 607 nm and 640 nm simultaneously output by Fabry-Perot (F-P) etalon has been obtained. A 444 nm blue laser diode is used for pumping the $Pr^{3+}:YLF$ crystal, and a 0.1 mm F-P etalon is inserted in the resonator to select wavelength. The theoretical model of three-wavelength $Pr^{3+}:YLF$ laser is established, by adjusting the tilt angle of the etalon, the transmittances of the different wavelengths can be controlled, and the threshold values can be made to equalize by controlling the loss among different wavelengths. In the experiment, when the tilt angle of etalon is $9^{\circ}$ and the optimized length of resonator is 48 mm, the total output power of 25 mW at the three-wavelength is achieved at incident pump power of 7.5 W.
새로운 $CaZrO_3$, 축광성 형광체를 고온의 약한 환원 분위기에서 전통적인 고상반응법으로 합성하였다 광발광 분석 결과 $Tb^{3+}$ 이온을 첨가한 $CaZrO_3$ 축광성 형광체는 $^5D_3$, $^5D_4$ 에너지 준위에서 $^7F_1{\sim}^7F_6$ 준위로의 전이에 의해 황녹색의 발광을 나타내며, 고온의 질소분위기에서 합성한 경우의 축광성 형광체에 대한 스펙트럼의 주 피크는 $^5D_4{\rightarrow}^7F_5$ 전이에 의한 542 nm의 발광 피크가 생성되었다. $CaZrO_3:Tb^{3+}$ 축광성 형광체의 잔광 발광 스펙트럼은 좁은 영역의 546 nm의 피크가 강하게 생성되었다 잔광 휘도는 254 nm 자외선을 조사하고 전원을 끈 후에 측정하였으며, 녹황색의 축광성 형광체가 사람이 어두운 곳에서 인지 가능한 $0.32\;mcd/m^2$까지 8시간 지속됨을 관찰하였다.
동경만입구에서 대도에 이르는 해역에서의 해수의 광학적 성질을 조사하기 위하여, 1985년 6월에 6개 관측점에서 투명도, 수색, 태양고도, 태양광의 8가지 파장 (378, 422, 481, 513, 570, 621, 653, 677 nm)에 대한 해수의 표면조도 및 수심별 수중조도 등을 조사한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 본 조사 해역의 투명도는 $12.9m\;(7.2\~18m)$ 였고, 수색은 $6.8\;(5\~10)$였다. 2. 해수의 평균소산계수는 $0.166\;(0.061\~0.644)$였고, 파장별로는 481nm가 0.097, 513nm가 0.099, 422nm가 0.105, 378nm가 0.121, 570nm가 0.138, 621 및 677nm가 0.253, 653nm가 0.258순으로 크게 나타났으며 파장에 따른 차이가 뚜렷했다. 3. 해수의 소산계수 K와 투명도 D와의 관계는 $K=2.87/D\;(1.06/D\~5.48/D)$였다. 4. 태양고도는 $70.79^{\circ}(57.44^{\circ}\~78.42^{\circ})$로 나타났다. 5. 태양광선의 표면광에 대한 평균해중투과율은 수심 1m층에서 $77.93\%$, 5m층에서 $35.46\%$, 10m층에서 $18.71\%$, 20m층에서 $7.00\%$로 나타났다. 6. 투명도층에서의 태양광의 해중투과율은 표면광의 $13.2\%(0.42\~34.78\%)$였고, 파장별로는 677nm가 $0.78\%$, 653nm가 $0.94\%$, 621nm가 $1.30\%$, 570nm가 $10.50\%$, 378nm가 $17.98\%$, 422nm가 $22.69\%$, 513m가 $23.78\%$, 481nm가 $26.14\%$ 순으로 많게 나타났으며 파장에 따른 차이가 많았다.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제4권2호
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pp.100-105
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2004
The influencing factors on the OPC (optical proximity correction) results are quantitatively analyzed using OPCed L/S patterns. ${\sigma}$ values of proximity variations are measured to be 9.3 nm and 15.2 nm for PR-A and PR-B, respectively. The effect of post exposure bake condition is assessed. 16.2 nm and 13.8 nm of variations are observed. Proximity variations of 11.6 nm and 15.2 nm are measured by changing the illumination condition. In order not to seriously deteriorate the OPC, these factors should be fixed after the OPC rules are extracted. Proximity variations of 11.4, 13.9, and 15.2 nm are observed for the mask mean-to-targets of 0, 2 and 4 nm, respectively. The decrease the OPC grid size from 1 nm to 0.5 nm enhances the correction resolution and the OCV is reduced from 14.6 nm to 11.4 nm. The enhancement amount of proximity variations are 9.2 nm corresponding to 39% improvement. The critical dimension (CD) uniformity improvement for adopting the small grid size is confirmed by measuring the CD uniformity on real SRAM pattern. CD uniformities are measured 9.9 nm and 8.7 nm for grid size of 1 nm and 0.5 nm, respectively. 22% improvement of the CD uniformity is achieved. The decrease of OPC grid size is shown to improve not only the proximity correction, but also the uniformity.
The pore size of nickel (Ni) bottom electrode layer (BEL) for low-temperature solid oxide fuel cells embedded with ultrathin-film electrolyte was controlled by changing the substrate surface morphology and deposition process parameters. For ~150-nm-thick Ni BEL, the upper side of an anodic aluminum oxide (AAO) substrate with ~65-nm-sized pores provided ~1.7 times smaller pore size than the lower side of the AAO substrate. For ~100-nm-thick Ni BEL, the AAO substrate with ~45-nm-sized pores provided ~2.6 times smaller pore size than the AAO substrate with ~95-nm-sized pores, and the deposition pressure of ~4 mTorr provided ~1.3 times smaller pore size than that of ~48 mTorr. On the AAO substrate with ~65-nm-sized pores, the Ni BEL deposited for 400 seconds had ~2 times smaller pore size than the Ni BEL deposited for 100 seconds.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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