Deep trench etching of silicon was investigated as a function of RF source power, DC bias voltage, $C_4F_8$ gas flow rate, and $O_2$ gas addition. On increasing the RF source power from 300 W to 700 W, the etch rate was increased from $3.52{\mu}m/min$ to $7.07{\mu}m/min$. The addition of $O_2$ gas improved the etch rate and the selectivity. The highest etch rate is achieved at the $O_2$ gas addition of 12 %, The selectivity to PR was 65.75 with $O_2$ gas addition of 24 %. At DC bias voltage of -40 V and $C_4F_8$ gas flow rate of 30 seem, We were able to achieve etch rate as high as $5.25{\mu}m/min$ with good etch profile.
Journal of electromagnetic engineering and science
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제16권4호
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pp.235-240
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2016
In this paper, a low-profile planar inverted-F antenna (PIFA) for ultrawideband (UWB) applications is proposed. The antenna consists of a PIFA and a ground plane with a slot. The addition of the slot not only improves the impedance matching of the PIFA but also forms an additional resonance. Therefore, the proposed antenna has a wideband characteristic covering the full UWB frequency range (3.1 GHz to 10.6 GHz) and a stable and nearly omnidirectional radiation pattern. The antenna also has a smaller volume and thickness compared to previous UWB PIFAs.
Kim, Yoon-Suk;Lee, Min-Ho;Ju, Ahn-Seung;Rhee, Ki-Jong
IMMUNE NETWORK
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제11권6호
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pp.416-419
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2011
Dextran sodium sulfate (DSS) is a widely used chemical model for inflammatory bowel disease (IBD). It is thought that imbalances in the T helper (Th) cell subsets contribute to IBD. Recent studies suggest that the acute DSS-colitis model is polarized toward a Th1/Th17 profile based on RT-PCR analysis of colonic tissues. In the current study we determined whether colonic Th cells from DSS-colitis mice were skewed toward the Th17 profile. Mice were treated with 5% DSS for 7 days and colonic T cells isolated and examined for production of IFN-${\gamma}$ (Th1 cell), IL-4 (Th2 cell) and IL-17 (Th17 cell) by intracellular flow cytometry. We found that the percentage of colonic Th17 cells were similar to non-treated controls but the percentage of Th1 cells were elevated in DSS-colitis mice. These results suggest that in the acute DSS-colitis model the colonic Th cells exhibit a Th1 profile and not a Th17 profile.
Objectives : This study was to analyze characteristics of MMPI profile, personality and defensive mechanism on 32 Hwa-byeng patients. Methods : 32 Hwa-byeng patients and 28 normal control group were administered the MMPI. The characteristics of MMPI profile and the clinical scales of personality and defensive mechanism were analyzed statistically. Results : 1. Half of female Hwa-byeng patients are in their forties, twelve patients are high school graduates, housewives seem to have Hwa-byeng more than workers, and married ones have Hwa-byeng more than singles, divorcees or separated one 2. 60.6% patients are getting stressed from their husbands(the specific reasons are infidelity(55%), incapability(25%) and violence(20%)). And the rest are from in-law(28.8%), children(6.4%) and their own parents(3.2%). 3. MMPI profile of Hwa-byeng patients appeared as a type of 3-1 elevated by the scale of 3(Hy) and 1 (Hs). And Hwa-byeng patients appeared significantly high in the rest of scales except L, K, Mf and Ma scales comparing to control group. 4. Hwa-byeng patients were classified into 3 groups. First group is "V" type which is high in K scale and low in 3 (Hy), 4(Pd), 6(Pa). Second group is "V" type which is high in K scale and high in 3(Hy), 4(Pd), 6(Pa). Third group is high in F scale and high in 1(Hs), Z(D), 3(Hy), 4(Pd), 6(Pa), 7(Pt), 8(Sc) and 0(Si). 5. The analysis on MMPI profiles indicates that the thirties are highier in F scale than the fifties, the fifties are highier in Hy scale than the forties, workers are highier in Pd scale than housewives, singles or divorcees are highier in Pa scale than the married. 6. The characteristics of personality in Hwa-byeng patients are as follows. They are significantly lower in HST, NAR and very higher in CPS, PAG, DEP, STY, AVD, SZD comparing to control group. Especially in AVD and SZD scales are appeared the highest.
본 논문은 복잡한 영상에서 추출해낸 손 영역으로부터 움직임 정보를 이용하여 제스처를 인식하는 시스템에 관한 것이다. 제안한 방법은 먼저 인접한 프레임간의 파 영상에 대하여 엔트로피를 측정한다. 큰 값을 갖는 영역에 대해 피부색에 가까운 분포를 갖는 색깔 정보를 추출하여 배경 영상으로부터 손 영역만을 추출한다. 추출된 손 영역에 대해 체인코드를 이용하여 외곽선을 검출하고 개선된 무게중심 프로필(centroidal profile) 방법을 적용하여 손의 제스처론 인식한다. 6가지 모양의 손 제스처를 사용한 실험 결과 기존의 방법들과 달리 표식을 사용하지 않고도 복잡한 배경과 조명의 변화에서 안정적으로 손 제스처를 인식할 수 있다. 또한 초당 15프레임 정도의 처리속도로 각 사람별로 95% 이상, 각 제스처별로 99∼100%의 인식률을 얻을 수 있다.
High aspect ratio silicon structure through deep silicon etching process have become indispensable for advanced MEMS applications. In this paper, we present the results of modified Bosch process to obtain anisotropic silicon structure with conventional Inductively Coupled Plasma (ICP) etcher instead of the expensive Bosch process systems. In modified Bosch process, etching step ($SFsub6$) / sidewall passivation ($Csub4Fsub8$) step time is much longer than commercialized Bosch scheme and process transition time is introduced between process steps to improve gas switching and RF power delivery efficiency. To optimize process parameters, etching ($SFsub6$) / sidewall passivation ($Csub4Fsub8$) time and ion energy effects on etching profile was investigated. Etch profile strongly depends on the period of etch / passivation and ion energy. Furthermore, substrate temperature during etching process was found to be an important parameter determining etching profile. Test structures with different pattern size have been etched for the comparison of the aspect ratio dependent etch rate and the formation of silicon grass. At optimized process condition, micropatterns etched with modified Bosch process showed nearly vertical sidewall and no silicon grass formation with etch rate of 1.2 ${\mu}{\textrm}{m}$/ min and the size of scallop of 250 nm.
This study was conducted to investigate the antibiotic resistance and plasmid profiles of 58 salmonella spp isolated from mesenteric lymphnodes of slaughter pigs in Kyoungbuk province during the period from September 1997 to June 1998. The results obtained are as follow that all isolates were susceptible to amikacin, gentamicin, ciprofloxacin and enrofloxacin, and the majority of isolates were highly susceptible to norfloxacin, colistin, nalidixic acid and apramycin while they were moderately susceptible to kanamycin, cephalothin, chloramphenicol, ampicillin, trimethoprim and penicillin. The majority of isolates were over 90% resistant rates to lincomycin, sulfadimethoxine, vancomycin, methicillin and erythromycin. The plasmid profiles of 58 salmonella spp are developed 1 to 4 fractions, 0.9 to 29.5 Kb molecular range sizes and U strains (45.5%) were showed plasmid profiles by agarose gel electrophoresis. 5 derby harbored 29.5 Kb and 7 Kb, and S schwarzengrund had 14 Kb and 0.9 Kb harboring sizes. Four of 10 S agona and 2 of 4 S typhimurium were harbored 3.1 Kb and n.5 Kb, respectively. Thirty-five untypable strains are developed variable size fractions its showed small size plasmid profile less than 6 Kb and 22 (62.8%) of them had no detectable plasmids.
국수의 물성 측정에 있어서 기존의 방법들은 많은 시간을 요하고 또한 시간 경과에 따른 국수의 물성값에 오차를 주는 단점이 있다. 컴퓨터의 소프트웨어(Xtra)를 이용한 Texture Analyser로 부터 얻어낸 Texture Profile Analysis (TRA)곡선은 국수의 물성변화를 6∼8개의 상수들을 사용해서 설명할 수 있었다. 이 측정방법은 빠르고 효율적이며 시간을 단축할 수 있었다. 그러므로 국수와 파스타(pasta)의 물성 연구에는 이 방법을 도입할 것을 제시하였다.
The planar laminar impingement jet with a confinement plate has been studied numerically. Discretzing the convection term with the QUICKER scheme, the full Navier-Stokes equations for fluid flow were solved using the well known SIMPLER algorithm. The flow characteristics with Reynolds number and jet exit velocity profile effects on it were considered for H=3, Re=200 - 2000. Results show that vortical flow forms in turn along the confinement and impingement plates as the Reynolds number increases and such a complicated flow pattern has never been reported prior. The jet exit velocity profile is shown to do an important role in determining the position of vortex flow and its size as well as in stagnation and wall jet flow region. Parabolic jet exit profile results in peak of skin friction 1.4-1.6 times greater than that of uniform profile. The channel height effects are also studied and shown to have an effect on flow pattern similar to that of Reynolds number. Also shown is that effects of the jet exit velocity profile becomes less significant over a certain channel height.
스위치드 리럭턴스 전동기(switched reluctance motor : 이하 SRM 이라 칭함)는 가변 인덕턴스 프로파일의 비선형성과 리플성분이 포함된 펄스전류에 구동되는 본질적인 특성 때문에 토오크는 맥동성분을 포함한다. 본 논문에서는 토오크의 맥동에 영향을 미치는 전류파형 형태를 고찰하고, 속도나 부하에 관계없이 어드밴스 각(advance angle)와 여자전압을 제어함으로써 토오크 맥동을 저감할 수 있는 단일 펄스모드 스위칭 제어방법을 제안하였다. 그리고 설계 제작된 6/4 SRM을 이용하여 제안한 스위칭 제어방법의 타당성을 실험적으로 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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