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Study on deep Si etching mechanism using in-situ surface temperature monitoring in $SF_6/O_2$ plasma

  • 임영대;이승환;유원종
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.405-405
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    • 2010
  • Thermocouple 을 통해 Inductively coupled plasma 에 노출된 실리콘 기판 표면온도를 공정조건 변화 에 따라 실시간 (in-situ) 측정하였다. 이를 바탕으로 공정변화에 따른 플라즈마 내 활성종의 거동을 연구하였다. 더 나아가 기판의 표면온도변화 및 활성종의 거동해석을 토대로 공정변화에 의한 딥 실리콘 구조형성 메커니즘을 해석하였다. 플라즈마에 노출된 기판표면 온도를 상승시키는 주 활성종은 positive ion 이며 ICP power, Bias power, 플라즈마 압력 변화에 따라 positive ion 의 밀도 및 가속에너지가 변화하는데 이러한 거동변화는 기판의 표면온도를 변화시킴을 알 수 있었다. 딥 실리콘 구조의 측벽 및 바닥에 형성되어 있는 passivaiton layer 즉 $SiO_xF_y$(silicon oxyflouride) 는 온도에 매우 민감한 물질이며 이는 딥 실리콘 구조 내부로 입사하는 positive ion 거동변화에 따라 그 성질이 변화하여 deep Si 구조 형상을 변화시킴을 알 수 있었다. 기판표면 온도가 $0^{\circ}C$ 이하의 극저온으로 유지된 상황에서 플라즈마를 방전할 경우 positive ions 의 가속에너지로 인해 기판표면온도가 상승하며 액화질소 유량증가를 통해 다시 기판의 표면온도를 유지시킬 수 있었다. 이를 통해 플라즈마 방전 전과 방전 후의 기판 표면온도는 상온의 기판뿐만 아니라 극저온의 기판에서도 다름을 알 수 있었다. 냉각환경 변화에 따른 딥 실리콘 구조형성 메커니즘을 positive ions 거동 그리고 온도 감소에 의한 $SiO_xF_y$ 성질 변화를 이용해 해석할 수 있었다.

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Polymer 다섯자리 Schiff Base Co(Ⅱ), Ni(Ⅱ) 및 Cu(Ⅱ) 착물들의 합성과 전기화학적 성질 (Synthesis and Electrochemical Properties of Polymeric Pentadentate Schiff Base Co (Ⅱ), Ni (Ⅱ), and Cu (Ⅱ) Complexes)

  • 최용국;최주형;박종대;심우종
    • 대한화학회지
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    • 제38권2호
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    • pp.136-145
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    • 1994
  • Poly(4-vinylpyridine-co-styrene)[PVPS]리간드에 monomer착물인 M(Ⅱ)(SND) 및 M(Ⅱ)(SOPD)[M: Co(Ⅱ), Ni(Ⅱ) 및 Cu(Ⅱ)]들을 반응시켜 새로운 polymer다섯자리 Schiff base착물인 M(Ⅱ)(PVPS)(SND), M(Ⅱ)(PVPS)(SOPD)들을 합성하였다. 이들 착물들의 원소분석, IR-spectra, UV-visible spectra 및 T.G.A.측정결과에 의하여 Co(Ⅱ), Ni(Ⅱ) 및 Cu(Ⅱ) 착물들은 polymer 5배위 착물로 주어짐을 알았다. 또한 0.1M TEAP-DMF용액에서 순환 전압-전류법과 시차펄스 포라로그래피에 의한 이들의 전기화학적 성질은 Co(Ⅱ)(PVPS)(SND) 및 Co(Ⅱ)(PVPS)(SOPD)는 Co(Ⅲ)/Co(Ⅱ) 와 Co(Ⅱ)/Co(Ⅰ)의 두단계의 환원과정이 비가역적으로 일어나고, Ni(Ⅱ)(PVPS)(SND) 와 Ni(Ⅱ)(PVPS)(SOPD)는 Ni(Ⅱ)/Ni(Ⅰ)의 비가역적인 일단계 환원과정으로, 그리고 Cu(Ⅱ)(PVPS)(SND)와 Cu(Ⅱ)(PVPS)(SOPD)는 Cu(Ⅱ)/Cu(Ⅰ)의 비가역적인 일단계 환원과정으로 일어남을 알았다.

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감마선을 이용한 변성전분의 개발 (Development of Modified Starch by Gamma Irradiation)

  • 강일준;변명우
    • 한국식품과학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.514-520
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    • 1996
  • 감마선 조사기법을 사용하여 새로운 건식공정의 공업용 변성전분 생산 기술개발을 위한 기초연구로서, 시판 옥수수 전분에 직접 감마선을 조사하여 감마선 조사 전분(0-110 kGy)의 이화학적 성질을 검토하였다. 감마선 조사선량이 증가함에 따라 blue value가 직선적으로 감소하였으며, alkali number와 용해도는 크게 증가하였다. $65-95^{\circ}C.$의 온도범위에서 전분용액의 광투과도 또한 감마선 조사선량이 증가함에 따라 현저히 증가하였으며, 물결합능력과 팽윤력은 각각 30 kGy 및 10kGy에서 최대값을 나타내다가 다시 감소하는 경향을 나타내었다. 비조사 전분에 비해 감사선 조사 전분의 호화점도는 현저한 감소 현상을 나타내었다. peak 점도의 경우 7,000 B.U.(비조사 전분)에서 60 B.U.(110kGy)로 그 값이 100배 이상 현저히 감소하였으며 $30^{\circ}C$의 냉각점도도 약 300배 이상 급격한 감소를 나타내었다. 현재 시판중인 산처리 전분은 30kGy의 감마선조사 전분과 유사한 특성을 나타내었으며, 산화전분은 100kGy의 감마선 조사전분과 유사한 성질을 나타내었다.

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Cellulase에 관(關)한 연구(硏究) -(제1보(第一報)) Cellulase 생성균(生成菌)의 분리(分離)와 조효소(粗酵素)의 제성질(諸性質)- (Studies on Cellulase -Part 1. Isolation of Cellulase Forming Microorganisms and the Properties of Crude Enzymes-)

  • 정동효
    • Applied Biological Chemistry
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    • 제11권
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    • pp.109-117
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    • 1969
  • 분뇨처리장(糞尿處理場)에서 400여(餘) 균주(菌株)를 분리(分離)한 결과(結果) 그중(中) 두 균주(菌株)가 cellulase생성(生成)이 강(强)하였다. 이 균주(菌株)는 진탕배양(振湯培養)으로 cellulase를 많이 생성(生成)하였으며 이들 효소(酵素)의 성질(性質)은 다음과 같다. 1. 최적(最適) pH는 4.0에서 5.5 범위이다. 2. 안전(安全) pH는 3.5에서 6.5 범위이다. 3. 최적온도(最適溫度)는 $40^{\circ}C$에서 $45^{\circ}C$ 이다. 4. 열안전성(熱安全性)은 $50^{\circ}C$ 이하이며 $70^{\circ}C$에서 거의 불활성화(不活性化) 된다. 5. 투석효소(透析酵素)는 $Mn^{2+}\;Co^{2+}$로 활성화되며 $Hg^{2+}$는 강한 조해제(阻害劑)이다.

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옥수수기름과 극도경화대두 혼합유의 이화학적 성질에 대한 무작위 에스테르 교환의 영향 (Effect of Random Interesterification on the Physicochemical Properties in Blends of Corn Germ Oil and Fully Hydrogenated Soybean Oil)

  • 신효선;정광현;전제현
    • 한국식품과학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.360-365
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    • 1991
  • 가정용 마아가린의 물성에 적합한 원료유지를 제조하기 위하여 옥수수기름(corn germ oil, CGO)과 극도경화 대두유(fully hydrogenated soybean oil, FHSO)의 혼합유를 무작위 에스테르 교환하였을 때 이들 혼합유의 이화학적 성질의 변화를 연구하였다. 에스테르 교환은 triglyceride 조성을 분석한 결과 $80^{\circ}C$에서 sodium methoxide를 0.4% 사용하였을 때 35분만에 반응이 완결되었다. 융점과 고체지 함량은 에스테르 교환에 의해 현저하게 감소하였고, 거칠고 큰 결정형태는 미세하고 균일한 크기로 변화하였다. 에스테르 교환 전후의 지방산 조성은 변화가 없었으나, triglyceride 조성은 상당한 변화를 나타내었다. PN별로 triglyceride 조성을 분석한 결과 PN 42, 44, 52 및 54는 감소하였는데 이는 $GU_3$$GS_3$의 감소와 관련이 있으며, PN 46, 48 및 50은 증가 하였는데 이는 $GU_2S$$GUS_2$의 증가와 관련있는 것으로 판단되었다. 본 연구에서 융점, 고체지 함량, 결정형태 등의 변화와 지방산 조성으로 볼 때 CGO와 FHSO를 80 : 20과 75 : 25로 혼합하여 에스테르 교환한 것이 가장 바람직한 물성과 영양성을 갖는 가정용 마아가린의 원료 유지임을 알 수 있었다.

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한국 남동연안 이상수온의 마르코프 연쇄 성질 (Markov Chain Properties of Sea Surface Temperature Anomalies at the Southeastern Coast of Korea)

  • 강용균;공영
    • 한국해양학회지
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    • 제22권2호
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    • pp.57-62
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    • 1987
  • 한국 남동해안 5개 연안 관측점(주문진, 죽변, 장기갑, 울기, 부산)의 28년간 (1957∼1984) 월별 수온 자료를 근거로 하여, 매달의 이상수온(water temperature anomalies)이 1개월 전의 이상수온에 의존하는 성질, 즉 마르코프(Markov) 연쇄 성질에 대하여 구명하였다. 각 관측점 이상수온 변동의 표준편차를 기준으로 하여, 월별 이상수온을 저온, 정상 및 고온의 상태로 구분한 후, 연속된 두 달간의 이상수 온 상태의 천이 횟수 및 확률을 계산하였다. 정상상태의 이상수온이 그 다음 달에 도 정상상태로 유지될 확률은 0.8정도이다. 저온 또는 고온 상태의 이상수온이 다음 달에도 같은 상태에 남아 있을 확률과 정상상태로 될 확률은 거의 같다. 이상수온 이 고온(저온) 상태에 있다가 다음 달에 저온(고온)상태로 바뀔 확률은 거의 0에 가 깝다. 이와 같은 이상수온 변동의 마르코프 연쇄에 대한 통계적 테스트 결과에 의 하면, 이상수온 변동은 시간적으로 정상적(stationary)이며, 공간적으로 균질적(homo geneous)이다. 이상수온 변동에 대한 다단계(multi-steps)마르코프 연쇄분석에 의하 면, 연안역 이상수온이 마르코프 연쇄성을 보유하는 '기억'은 약 3개월 정도 유지된 다.

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Nd-Fe-B-Co계 급냉리본과 Bond 자석의 자기적 성질 (Magenetic Properties of Nd-Fe-B-Co-based Melt-spun Ribbons an dTheir Bonded Magents)

  • 강계명;강기원;오영민;송진태
    • 한국재료학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.175-184
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    • 1993
  • Nd-Fe-B계에 Co와 Al을 첨가한 자석합금을 진공유도용해로에서 제조하여 이들 합금을 단롤법으로 melt-spun시켜 급냉리본을 얻었다. 제작된 급냉리본의 냉각속도에 따른 자기적 성질의 변화를 조사하였고, 최적의 급냉속도에서 제작된 리본을 파쇄하여 resin bond 자석을 제조하였으며, 이들 급냉리본 및 bond자석의 자기적 성질, 미세구조, 결정구조에 관하여 연구, 조사하였다. 이들 급냉리본의 자기적 성질은 급냉속도에 따라 크게 변하였으며 20m/sec전후에서 최적의 자기적 성질을 보였다. 이때의 급냉리본의 미세조직은 Nd-rich의 입계상이 미세한 N$d_2$F$e_14$B결정립을 둘러싼 cell 형의 구조였으며, 특히 Al이 2.1at%첨가된 리본시료에서는 iHc=15.5KOe, Br=7.8KG, (BH)max=8.5MGOe의 자기적 성질을 나타내었다. 최적의 급냉속도에서 제작된 리본을 polyamide resin과 2.5wt%의 비율로 혼합하여 상온에서 성형, 결합시켜 제작한 bond자석에서 보다 현저히 향상되었으며 유지시간이 8분인 경우 iHc=10.8KOe, Br=7.3KG, (BH)max=8.0MGOe의 값을 가졌다. 한편, 자구구조는 maze pattern이 주로 관찰되어 자화용이축인 C축이 배열되었으며 bond자석에서보다 hot-press 자석에서 자구폭이 보다 작았다.

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Ethyleneimine과 Ethyl methanesulphonate가 리기다 소나무 종자(種子)의 발아(發芽)에 주는 영향(影響), 특(特)히 방사선조사량(放射線照射量)과의 효과비교(効果比較) (The effects of ethyleneimine and ethyl methanesulphonate on the germination of Pinus rigida seed)

  • 임경빈
    • 한국산림과학회지
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    • 제3권1호
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    • pp.43-46
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    • 1963
  • 본연구(本硏究)의 결과(結果)를 다음과 같이 요약(要約)한다. 1. 중화(中和)시키지 않었는 0.5% Ethyleneimine 수용액(水溶液)에 처리(處理)된 pinus rigida의 종자는 거의 치사(致死)되나 1N HCl로 중화(中和)가 되면 상당(相當)한 발아(發芽)를 보이며, 농도가 2%에 달(達)해도 아직 높은 발아율(發芽率)이 얻어진다. 2. 0.25% 또는 0.50%의 ethyl methansulphonate의 수용액(水溶液)에 Pinus rigida 종자(種子)를 처리(處理)하였을 때에는 초기발아(初期發芽)에 지체(遲滯)가 초래(招來)되나 10일(日) 이후(以后)에 가서는 발아(發芽)가 왕성하게 되었다. 3. 대조구종자(對照區種子)의 germination energy가 얻어졌을 때의 값을 기준으로 해서 분석(分析)하면 표(表) 1에 보인 것과 같은 이곳 mutagenic chemicals와 방사선(放射線)의 비교치사량(比較致死量)이 얻어졌다. 즉 중화(中和)된 1.89%의 ethyleneimine의 수용액(水溶液), 550 rads의 중성자조사량(中性子照射量), 5.7kr의 X선(線) 그리고 6.5kr의 gamma선(線)은 같은 치사효과(致死効果) $LD_{50}$ 를 주었다. 4. 이 시험(試驗)은 이곳 화학약제(化學藥劑)가 특유(特有)한 성질(性質)을 갖인 돌연변이체(突然變異體)의 유기제(誘起劑)이고 또 방사선(放射線)이 그와 같은 목적(目的)으로 사용(使用)되므로 그 효과(効果)를 구명(究明)하고져 수행(遂行)된 것이다.

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Multiferroic h-HoMnO3의 자기적 성질 연구 (Magnetic Properties of Multiferroic h-HoMnO3)

  • 김성백;금복연;김철성;안성용;;;장광현;박제근
    • 한국자기학회지
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    • 제15권2호
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    • pp.113-117
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    • 2005
  • 4-point focused floating Bone furnace를 이용하여 multiferroic $HoMnO_3$ 단결정을 제조하였으며, 직접합성법으로 $HoMn_{1-x}\;^57Fe_xO_3$ (x=0, 0.01, 0.02, 0.05) 분말 시료를 제조하여 그 결정학적 및 자기적 성질을 연구하였다. 결정구조는 hexagonal 구조로, (110) 방향이 자화용이축 임을 알 수 있었고, 온도 변화에 따른 강유전 상수(dielectric constant $\epsilon$)는 c축과 평행한 방향에서 특이성(anomaly)을 갖는 것으로 나타났다. 이 때 특이성이 나타나는 온도 구간은, c축 방향으로 인가된 자기장 세기에 따라 민감하게 변화함이 관측되고 있어, multiferroic 소자로의 응용 가능성을 제시하고 있다. 한편 Mn 자리에 $^{57}Fe$를 미량 치환한 분말 시료에 대하여 $M\ddot{o}ssbauer$ 분광학적 연구를 수행하였다.

교정장치의 항균에 따른 레진상의 특성 (Characteristics of Resin on Antimicrobial Properties of Calibration Devices.)

  • 조정기
    • 디지털융복합연구
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    • 제18권4호
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    • pp.309-314
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    • 2020
  • Polymethyl methacrylate (PMMA)는 치과 교정장치 재료로 사용해 왔다. 하지만 낮은 항균력으로 인한 구강감염을 촉진시킬 염려가 있다. 본 연구에서는 이를 극복하기 위하여 최근 발표된 Ag-MSN, graphene-oxide nanosheets(nGO), Cerium nanoparticle(CNP)의 나노입자를 교정레진인 Dentarum 회사의 Orthocryl를 사용하여 레진 파우더 대비 중량비 0, 0.25, 0.5, 1.0, 2.0%를 MMA 액에 혼합한 후 제조사의 지시에 따라 PMMA 분말: MMA 액 (1.2 : 1) 비율로 혼합하여 교정용 시편을 제작하였고 교정용 레진 항진균 실험, 통계분석을 하였다. 항균실험을 한 결과 교정용 PMMA레진이 Ag-MSN을 함유할 때 항(진)균적 성질이 증가하였다. nGO를 PM에 넣으면 표면이 거칠어지고 친수성을 높일 수 있었고 항균 접착제 효과가 표면 거칠기의 변화가 아닌 친수성이 증가하였다. CNP 농도가 높을수록 항부착 성질이 최대 60%까지 관찰되었다. 나노입자함유 교정용 레진은 항균효과가 나타남을 알 수 있었다. 이는 의치, 치열 교정 장치 및 임시 수복물에 대한 유망한 항균 치과 재료로서의 잠재적 유용성을 시사한다.