반도체 공정과 같은 정밀 위치제어가 요구되는 분야에서 높은 해상도와 큰 구동 거리를 가지는 정밀 스테이지의 수요가 점차 증가하고 있다. 압전 액추에이터에 의해 구동이 되는 정밀 스테이지는 이와 같은 용도에 적합한 것으로 여겨지고 있고, 이에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 본 연구에서는 압전 액추에이터로 구동하는 2축 정밀 스테이지가 연구 대상이다. 요구되는 스테이지 변위가 커서 압전 액추에이터의 변위만으로 원하는 변위를 얻을 수 없으므로, 유연힌지가 포함된 레버구조를 이용하여 최초 변위를 3 배 이상으로 확대시키는 구조로 되어있다.(중략)
In precision laser microfabrication, focusing is essential to acquire good machining precision and uniform machining quality. If it does not perform, laser machining cannot be realized. So, confocal scanning method with high depth resolution is used for focus detection technique. This paper is concerned with a procedure for design, analysis and performance test of an autofocus fine actuating stage, which is composed of flexure-hinge type lever mechanism and piezoelectric actuator. Through series of analytical design, the stage is simplified as a rigid bodies(lever and main body) and springs(flexure hinges). The simplified model was applied to determine the dimension of flexure hinges and lever. After structural analysis confirmed design requirement, an actual stage was made and verified through an experiment on the static and dynamic characteristics(maximum stroke and 1st natural frequency). The fabricated stage was satisfied with the design requirement.
The damping hinge of a built-in refrigerator was examined in terms of its stress and fatigue life. Analysis of the initial design showed that stress concentration occurred at the concave surface of the hinge lever, which was broken during the door opening-and-closing endurance test of the prototype. The maximum von Mises stress at this location exceeded the yield strength. In addition, Goodman fatigue analysis of the initial design showed that the fatigue life at this location was consistent with the failure observed during the endurance test. Based on these results, an improved design for the damping hinge was derived. Analysis of this improved design showed that the stress concentration in the hinge lever of the initial design was eliminated. In this case, the maximum stress occurred at the position where the hinge lever was in contact with the door stopping pin, and the maximum von Mises stress was smaller than the yield strength. Goodman fatigue analysis of the improved design indicated that the fatigue life of the entire damping hinge was infinite. It was therefore concluded that the improved design does not suffer from fatigue damage during the endurance test.
The demands of high data transfer rate and high recording density in optical disk memory device are being increased. In order to achieve high performance, lever actuator for optical disk is proposed. Firstly, the role of lever and structure are discussed and the flexure hinge is introduced to enhance the precise movement. Next is to present the magnetic circuit structure and concept design for the lever actuator. Finally, the dynamic modeling of the lever actuator is found and the analysis results are shown. Consequently, the lever actuator shows the possibility as a pickup actuator for the next generation optical disk.
The proposed lever actuator has no friction and mass balance characteristics in motion, which are adapt to high-speed and high-density optical disk system. This paper discussed about the theoretical analysis of the lever structure. The modeling of the lever actuator is found. Using the Newton's method, the motion of equation is deduced through the constraint equations and equilibrium equations in three directions (focusing, tracking and tilting). From the above analysis, we know that the shape of the hinge is the very important parameter on determining the performance of the lever actuator, and the actuator has the 2nd order system characteristics. And the first resonant frequency in transmissibility is dependent to the rigidity of the lever while the first transmissibility resonance of conventional actuators is dependent to the first natural resonance of those actuators. This means that the lever actuator is more stable to the external vibration.
Optical disk system aiming at fast data transfer rate and high-density recording requires the improvement in performance of the pickup head. Especially, the pickup actuator needs better linearity and stability. So, a lever actuator for optical disk is proposed. In this paper, the role of lever and its structure are discussed and the flexure hinge is introduced to enhance the precise movement. Using the Newoton's method, the motion of equation for the lever actuator is obtained. The results are compared with the analysis results by the FEM (Finite Element Method) for the vibration and the magnetic field. Consequently, the lever actuator has the 2"d system characteristics in 3-axis moving directions and superior stability for the external vibration.tion.
An ultraprecision rotary motor is developed using inchworm motion of two belts actuated by elongation of piezoelectric elements. A symmetric lever mechanism with flexure hinges is designed to connect belts with piezoelectric elements. The lever mechanism is used not only to amplify the elongation of piezoelectric element but also to minimize the numbers of components and the effort for assembly. By experiment, the rotational angle by one cycle is varied from $0.2{\times}10-4 rad to 9.76{\times}10-4$ rad depending on input signal amplitude. Further, the motor has the capability of getting more precise rotational resolution by enlarging the radius of the rotor.
The haptic actuator needs to downsize in the mobile devices continuatively. In this work, the hinge lever mechanism was used in order to prevent lowering the vibration performances of the downsized actuator. The vibration performances of actuator with and without hinge-lever mechanism were simulated by the finite element method analysis. It is concluded that the hinge-lever mechanism may be a proper measure to prevent lowering the vibration performances in the downsized piezoelectric actuator.
Precision stages for 6-DOF positioning, actuated by PZT stacks, which are fed back by gap sensors and guided by flexure hinges, have enlarged their application territory in micro/nano manufacturing and measurement area. The precision stages inherently have such limitations as the nonlinearity between input and output in piezoelectric stacks, feedback signal noise in precision capacitive gap sensors and low material damping in precision kinematic linkages of mechanical flexures. To surmount these limitations, the precision stage is modeled with physics-based variables, which are identified by transient response correspondence, and a gain margin calculation algorithm using the Prandtl-Ishlinskii model and describing function is newly developed to assess system performance more precisely than linear controller design schemes. Based on such analyses, a precision positioning controller is designed. Excellent positioning accuracy with rapid settlement accomplished by the controller is shown in step responses of the closed-loop system.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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