• 제목/요약/키워드: 화학 영역

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배치식 플라즈마 세정 설비를 이용한 자연산화막 제거 공정 (A Study on Batch-Type Remote Plasma Dry Cleaning Process for Native Oxide Removal)

  • 박재영;이욱열;형용우;남석우;이현덕;송창룡;강호규;노용한
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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    • pp.247-251
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    • 2004
  • 반도체 소자의 제조에 있어 실리콘 표면에 성장한 자연산화막을 제거하기 위해 일반적으로 습식 세정 기술이 이용되어 왔다. 하지만 소자의 최소 선폭(design rule)이 nano급으로 고집적화 됨에 따라 contact hole 바닥의 자연산화막을 깨끗이 제거하는데 있어서 그 한계를 나타나고 있다. 이에 대한 효과적인 대안 공정으로 가스 건식 세정 기술이 연구되고 있다. 본 논문에서는 한 번에 50매 이상의 웨이퍼를 처리함으로써 생산성 측면에서 월등한 배치식 설비에서 원거리 플라즈마(remote plasma) 장치에서 2.450Hz의 마이크로웨이브(${\mu}$-wave)에 의해 형성시킨 수소라디칼과 $NF_3$ 가스를 이용하여 실리콘에 결함을 주지 않고 자연산화막을 선택적으로 제거하는 공정에 대해 고찰하였다. AFM을 이용한 표면분석, TEM을 이용한 물성분석, 그리고 ToF-SIMS 및 XPS를 이용한 화학 분석을 습식 및 건식 세정을 비교 평가한 결과, 건식 세정 공정이 실리콘 표면에 결함을 주지 않고 자연산화막을 제거 할 수 있음을 확인하였다. 산화막$(SiO_2)$, 질화막$(Si_3N_4)$, 그리고 다결정 실리콘(Poly-Si) 등의 각 막질별 식각 특성을 고찰하였으며, $NH_3$의 캐리어 가스인 $N_2$의 주입량을 조절함으로써 수소라디칼 형성 효율의 개선이 가능하였으며, 이로부터 게이트와 소스/드레인 사이를 절연하기 위해 이용되는 질화막의 식각 선택비를 2배 정도 개선할 수 있었다. nano급 소자에 실장하여 평가한 결과에서 불산(HF)에 의한 습식 세정 방식에 비하여 약 $20{\sim}50%$ 정도의 contact 저항 감소 효과가 있음이 확인되었다.두 소자 모두 $40mA/cm^2$ 에서 이상적인 화이트 발란스와 같은(0.33,0.33)의 색좌표를 보였다.epsilon}_0=1345$의 빼어난 압전 및 유전특성과 $330^{\circ}C$의 높은 $T_c$를 보였고 그 조성의 vibration velocity는 약4.5 m/s로 나타났다.한 관심이 높아지고 있다. 그러나 고 자장 영상에서의 rf field 에 의한 SAR 증가는 중요한 제한 요소로 부각되고 있다. 나선주사영상은 SAR 문제가 근원적으로 발생하지 않고, EPI에 비하여 하드웨어 요구 조건이 낮아 고 자장에서의 고속영상방법으로 적합하다. 본 논문에서는 고차 shimming 을 통하여 불균일도를 개선하고, single shot 과 interleaving 을 적용한 multi-shot 나선주사영상 기법으로 $100{\times}100$에서 $256{\times}256$의 고해상도 영상을 얻어 고 자장에서 초고속영상기법으로 다양한 적용 가능성을 보였다. 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확

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소백산육괴 서남부의 잔류반상 화강편마암의 암석학적 연구 (Petrology of the Blastoporphyritic Granite Gneiss in the Southwestern Part of the Sobaegsan Massif)

  • 이춘희;이상원;옥수석;송용선
    • 한국지구과학회지
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    • 제22권6호
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    • pp.528-547
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    • 2001
  • 소백산 육괴 서남부에 분포하는 지리산 지역에는 알칼리장석이 거정으로 산출되는 편마암이 광범위하게 분포한다. 본 연구는 기존의 반상변정질 편마암을 그 기원과 조직 특성에 따라 잔류반상 화강편마암(blastoporphyritic granite gneiss)으로 명명하였다. 화강암질 편마암을 관입하고 있고 포획암을 함유하며 잔류반상 화강편마암과 화강암질 편마암 경계에서 알칼리장석 거정의 유 ${\cdot}$ 무를 뚜렷이 확인할 수 있는 등의 야외 증거는 잔류반상 화강편마암이 멜트 기원임을 밝혀준다. 잔류반상 화강편마암에서 거정으로 나타나는 알칼리장석의 형태는 주로 장방형이며, 타원형 내지 원형을 이루기도 한다. 알칼리장석 거정들의 평균 장경은 2.2에서 6.5cm(평균 4.3cm)이지만, 큰 거정(크기로 상위 30%)들은 7.9cm(평균 5.2cm)에 달한다. 잔류반상 화강편마암의 흑운모 조성은 에스토나이트와 시데로필라이트의 중간 성분으로 구성되어 있다. 잔류반상 화강편마암에서 산출되는 석류석은 그 성분이 알만딘으로 중심부는 파이로프 성분이 풍부한데 비하여 주변부로 가면서 파이로프 성분이 급격히 감소하고 알만딘 성분이 풍부해지는 전형적인 후퇴변성의 누대구조를 이루고 있다. 알칼리장석 거정의 분석 결과는 결정의 주변부로부터 중심에 이르기까지 그 조성의 변화가 없었다. 알칼리장석 거정에 석영, 흑운모, 사장석, 세립의 미사장석 등이 포유되어 있다. 잔류반상 화강편마암의 사장석은 안데신의 조성을 나타낸다. 주성분 산화물의 변화 경향에서 잔류반상 화강편마암은 체계적인 변화를 보이며, 분화 경향에 의하면 마그마의 결정분화에 의해 생성되었음을 알 수 있다. 전암 화학조성에 의하면 잔류반상 화강편마암은 화강섬록암 영역에 도시되며 칼크알칼리 계열의 파알류미나질 S-타입화강암이 기원암이다.

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구속 스트레스에 의한 타액선 조직내의 Clusterin 발현 (Expression of Clusterin in the Salivary Gland under Restraint Stress)

  • 박희경;전양현;홍정표;어규식
    • Journal of Oral Medicine and Pain
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    • 제33권3호
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    • pp.247-256
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    • 2008
  • 일상생활에서 우리는 항상 스트레스에 노출되어 있으며, 스트레스에 대한 반응은 우리 삶의 질과 건강에 중요한 영향을 미친다. 특히 정서적으로 중요한 구강안면영역에도 다양한 스트레스성 질환이 존재한다. 그러나 스트레스와 질병에 관한 오랜 연구에도 불구하고 스트레스성 구강안면질환의 병인은 아직 명확하지 않다. 이에 저자는 최근 임상의학에서 관심이 집중되어지고 있는 스트레스와 질병에 대한 분자생물학적 접근의 일환으로 스트레스성 구강안면질환의 병인을 규명하고자 본 연구에 임하였다. 즉, 스트레스 단백질로 알려진 clusterin이 스트레스의 생리적 반응으로서 세포보호작용 결과 발현된다는 사실에 기초하여, 스트레스 부여 후 타액선 조직 내에서의 그 발현변화를 추적하였다. Sprague-Dawley계 웅성 백서(200-230g/bw)를 구속 스트레스 부여군(구속장치에 구속한 후 0, 3, 5일에 희생) 및 정상군으로 나누고, 각각 악하선을 적출하였으며, 면역조직화학법 및 Northern Blot을 이용하여 Clusterin의 변화를 관찰하였다. 그 결과는 다음과 같다. 1. 구속 스트레스 부여군의 clusterin 단백질은 실험 즉일군에서 증가되었고, 그 이후에는 감소되었다. 2. 구속 스트레스 부여 3일군과 5일군에서 핵붕괴 및 핵농축 등의 핵변화를 동반한 apoptosis가 유도되었다. 3. 구속 스트레스 부여 결과, 선포세포가 도관세포보다 일찍 세포사하였다. 4. 구속 스트레스 부여군의 clusterin mRNA는 실험 즉일군에서만 미약하게 관찰되었다. 즉, 타액선 조직은 스트레스 단백질인 clusterin을 생산하여 세포를 보호함으로써 스트레스 상황에 적응하지만, 생리적 적응한계를 넘는 스트레스에 노출될 때에는 조직이 apoptosis됨이 확인되었다. 따라서, 본 연구결과는 구강건조증등 스트레스성 타액선관련 증상 및 질환의 병리적 기전에 대한 규명에 도움이 되리라고 생각하며, 또한 clusterin은 향후 생체에 가해진 스트레스에 대한 표식자(marker)로 사용될 수 있을 것으로 사료된다.

복운모 화강암의 암석화학적 특징 : 청산, 인제-홍천, 영주 및 남원지역의 예 (Petrological Characteristics of Two-Mica Granites : Examples from Cheongsan, Inje-Hongcheon, Yeongju and Namwon areas)

  • 좌용주
    • 암석학회지
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    • 제6권3호
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    • pp.210-225
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    • 1997
  • 청산, 인제-홍천, 영주 및 남원지역에 분포하는 복운모 화강암은 과알루미나질이며, 일반적으로 S-타입 및 티탄철석계열의 화강암류임을 나타내어, 지각물질로부터 유래된 마그마가 환원 환경에서 관입.고결하여 생성된 것이다. 인제-홍천과 남원 지역의 복운모 화강암은 각각 반상 흑운모 화강암과 높은 Ti/Mg 비의 흑운모 화강암으로부터 분화.파생된 잔류 마그마로부터 형성되었다. 청산과 영주지역의 복운모 화강암은 접촉하고 있는 반상 흑운모 화강암과, 화강섬록암과는 각각 성인적인 관련이 없을 것으로 판단된다. 남원과 영주지역 복운모 화강암은 비교적 물에 포화된 마그마로부터 형성되었고, 청산과 인제-홍천지역 복운모 화강암질 마그마는 물에 불포화 되었음이 나타난다. 한편, 물에 포화되었던 남원지역의 흑운모 화강암과 복운모 화강암에 있어 마그마 내의 물의 함량은 5.8wt.%이상으로 추정되고, 영주 목운모 화강암질 마그마의 경우 2.4~5.8wt.%정도의 물을 포함했을 것으로 생각할 수 있다. 인제-홍천과 영주지역의 복운모 화강암의 최소융해액 조성으로 구해지는 압력 (0.5~2kb)과 세립질 내지 극세립질의 암석 조직은 화강암질 마그마가 지각의 얕은 곳에서 관입.배태된 양상을 나타내며, 청산과 남원지역의 복운모 화강암의 경우 최소융해액 조성 압력(2~3 kb)과 세립~중립질 내지 조립질의 암석 조직으로부터 비교적 지하 심부에 관입.배태외었음을 알 수 있다. 화강암질 마그마의 고상선/백운모의 안정선의 교점으로부터 물에 포화된 마그마에서는 최소한 약 1.6kb (약 6km)이상의 압력에서 마그마기원의 1차 백운모가 정출될 수 있으며, 그 이하에서는 고상선 아래에서 교대작용으로 2차적인 백운모가 형성된다. 반면, 물에 불포화된 마그마에서 1차 백운모가 정출되기 위해서는 보다 놓은 압력이 요구된다. 백운모 형성에 대한 이 조건은 각 지역 복운모 화강암에 산출되는 백운모에 1차 백운모와 2차 백운모 양쪽이 나타남을 설명하기에 충분하다. 한편, 실험으로 구해진 백운모의 안정선의 적용에는 주의가 필요하고, 특히 순수한 합성 백운모 단성분을 이용한 실험의 경우 팔면체 배위에 Ti, Fe, Mg의 성분이 첨가됨에 따라 안정선이 높은 온도 영역으로 이동됨을 고려해야 한다.

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벼 무경운 기계이앙 및 건답직파 연속재배년수가 토양특성, 잡초발생 및 벼 생육에 미치는 영향 (Effect of Continuous Cultivation Years on Soil Properties, Weed Occurrence, and Rice Yield in No-tillage Machine Transplanting and Direct Dry-seeding Culture of Rice)

  • 박홍규;김상수;최원영;이기상;이재길
    • 한국작물학회지
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    • 제47권3호
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    • pp.167-173
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    • 2002
  • 호남평야지에서 건답직파재배와 무경운기계이앙 재배시 적정 연속재배 년수 및 윤환재배법을 구명하고자 '95년부터 '00년까지 호남농업시험장 수도포장인 전북통(미사질양토)에서 동진벼를 공시하여 시험한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 무경운 기계이앙재배시 표층의 공극율이 건답직파에 비해 높았고 가비중은 무경운 재배시 가벼웠으며 무경운 재배를 계속할수록 표토는 볏짚의 환원에 따른 유기물 함량이 높아지고 물리성이 개선되나 심토는 경운 생략에 따른 물리성 악화와 유기물 함량의 감소로 벼 뿌리가 표층에 많이 분포하는 경향이었다. 2. $m^2$당 경수는 건답직파보다 무경운이앙에서 많았고 5년연속 건답직파시 275개로 경수의 감소가 현저하였으며 유효경비율은 재배양식간 큰 차이없이 60%내외였다. 3. 무경운재배를 계속 할 경우 잡초의 발생량이 크게 증가하였는데 1년생 잡초인 사마귀풀, 둑새풀이 많이 발생하였고, 다년생 잡초인 나도겨풀의 발생량이 많았으며 잡초성벼는 경운이앙재배에 비해 많이 발생하였지만 무경운 연속 재배년수에 관계없이 2-3%였다. 4. 건답직파를 3년 연속 했을 경우 잡초성벼 발생율은 3.7%가 되었으며 이듬해 담수직파로 윤환재배를 한 결과 2%로 감소하였지만 다시 건답직파재배를 했을 때 7.2%가 발생하여 윤환재배의 효과가 적었다. 5. 도복은 담수직파에서는 3으로 재배양식중 가장 심하였고 다음으로 무경운 기계이앙 순이었으며 건답직파와 경운이앙재배에서는 경미하였는데 도복 정도는 재배년차간 차이보다는 재배양식에 따라 발생정도가 다르게 나타났다. 6. 출수기는 무경운 이앙에서는 경운이앙과 비슷하였으나 건답직파와 담수직파에서는 년차간 변이가 심하였으며 쌀수량은 담수직파의 경우 년차간 큰 차이없이 경운이앙에 비해 약간 낮았고 무경운이앙에서는 5년연속 재배시 다소 감소되었으며 건답직파에서는 5년연속 재배시 62%로 크게 감소되었다.다.0일이었다.환경적응성이 낮은 경향이었다.은 모두 경운 유 ㆍ무에 관계없이 시비수준이 높을수록 높은 경향을 보였고, 10일에 최고수준을 보인 후 완만한 감소를 나타냈으며, $K^{+}$, $Ca^{2+}$에 비해 $Mg^{2+}$이 보다 낮은 함량을 보였다.989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야 한다. 이것은 고무기술자(技術者)가 당면(當面)해야할 과제(課題)에 속(屬)하며 바람직 한것은 본장(本章)의 내용(內容)이 여러 상황하(狀況下)에서 당면(當面)한 문제(問題)에 대(對)해 어떻게 대처(對處)해 야 할지를 모르는 여러 기술자(技術者)

담수심차이가 벼 품종과 피의 초기생육에 미치는 영향 (Effects of Different Water Depths on Early Growth of Rice and Barnyard grass(Echinochloa crus-galli))

  • 박성태;장안철;이수관
    • 한국작물학회지
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    • 제38권5호
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    • pp.405-412
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    • 1993
  • 벼와 피의 입모와 초기생육에 미치는 담수심의 영향을 구명하기 위하여 담수심 0, 7.5, 15.0, 22.5cm로 처리하여 파종부 8일 초엽장, 유근장 및 입모수를 파종후 35일 초장, 경수, 건물중 등을 조사한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 담수심이 깊어질수록 벼의 초엽은 길어졌으나 유근장은 짧아졌고, 이들의 신장성이 가장 좋았던 품종은 Italico livorno이었고, 다음이 S201, A301, 화성벼, M202순이었다. 2. 입모율은 담수시이 깊어지면 벼와 피 다같이 떨어졌는데, 피는 담수시 입모율 감소가 심했고 유의성도 인정되었다. 3. 담수심이 깊어지면 벼의 초장은 길어졌으나 피는 짧아졌고, 경장은 다같이 감소하였는데 15cm이상 심수시 피의 생육은 극히 연약하였다. 4. 벼의 엽수는 담수심간은 차이가 없었고, 품종간에는 M202가 1엽정도 적었고, 그 외 품종들간에는 비슷하였다. 5. 지상부 및 뿌리 건물중은 벼는 담수심 7.5cm에서 가장 많았고, 다음이 0,15.0, 22.5cm 담수심 순이었으나 담수심간 유의성은 없었다. 피는 담수심 0cm에 비하여 담수심 7.5, 15.0, 22.5cm에서는 각각 지상부 건물중 65%, 87%, 94%, 뿌리 건물중 81%, 90%, 94%가 감소되어 침수에 따른 생육억제정도가 심하였다. 6. 충실도는 벼는 담수심간 유의성이 없었으나 피는 담수심 0, 7.5, 15.0, 22.5cm에서 각각 12.52, 5.44, 2.30, 1.30mg/cm로 담수심이 깊어짐에 따라 급격히 저하하였다. 7. 공시품종중 Italico livorno와 S201은 다른 품종들에 비하여 초엽장, 유근장 등이 높아 단수직파에 좋은 특성을 가진 품종으로 생각된다. 8. 각 품종내 피의 생육은 경수외에는 유의성이 인정되지 않아 대체로 파종후 35일까지는 벼 품종들과 피와의 경합은 크지 않았던 것으로 사료된다./TEX>는 큰 영향이 없음을 알 수 있었다.다.e 및 free fatty acid) 는 13.3~17.4%로 나타났다.로 빠른 시일에 집중적인 연구가 필요하다고 본다.다. 4. 저온저장(4$^{\circ}C$, RH 50%)한 벼는 2년반 저장한 벼도 밥맛의 변화가 거의 없었다. 5. 1988년산 및 1989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야 한다. 이것은 고무기술자(技術者)가 당면(當面)해야할 과제(課題)에 속(屬)하며 바람직 한것은 본장(本章)의 내용(內容)이 여러 상황하(狀況下)에서 당면(當面)한 문제(問題)에 대(對)해 어떻게 대처(對處)해 야 할지를 모르는 여러

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벼의 생육시기별 염수처리에 따른 주요 특성의 품종간 차이 (Varietal Differences in Agronomic Characters of Rice Grown on Salty Water Irrigation)

  • 정진일;김보경;박형만;이선용
    • 한국작물학회지
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    • 제40권4호
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    • pp.494-503
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    • 1995
  • 벼 품종의 효율적인 내염성 검정방법을 확립하기 위하여 호남농업시험장 개화도출장소 내염성 검정포에서 45개 벼 품종을 공시하여 유묘기, 분벽기, 유수형성기에 각각 염수처리를 하여 내염성을 검정하였다. 1. 분벽기 염수처리는 무처리와 비교하여 초장의 신장율은 조생종군 77.4%로 단축되었고, 경수는 조생종군 88.8%, 중생종군 63.8%, 중만생종군 64.0%로 각각 줄어들었다. 2. 유수형성기의 염수처리 결과는 처리 전보다 초장의 신장율은 조생종군 7.4%, 중생종군 4.5%, 중만생종군 4.0%로 생육시기이 짧은 품종들이 신장율이 높은 경향이었고, 경수의 감소율은 조생종군 15.4%, 중생종군 17.3%, 중만생종군 24.6%로 만생종일수록 많이 줄어 들었다. 3. 유수형성기 염수처리에서 고염율은 조생종군 62.2%, 중생종군 60.6%, 중만생종군 65.1%로 중만생종군이 심한 편이었으며, 건물중은 중생종 > 중생종 > 중만생종 순으로 무거웠다. 4. 생육단계별 단관조사한 내염성 정도는 대관벼, 조령벼, 남원벼, 간척벼, 신선찰벼, 개화벼, 대야벼 등은 강하게 나타났고, 진부올벼, 둔내벼, 탐진벼, 대청벼 추정벼 등은 약하게 나타났다. 5. 무처리재배에 대한 염수처리재배의 수량지수는 조생종군 > 중생종군 > 중만생종군 순으로 높았고, 진부벼, 남원벼, 화성벼, 팔공벼, 화청벼, 개화벼 등은 수량 감소가 적게 나타난 품종들이었다. 6. 수량감소율에 대한 염수처리의 각종 특성과의 상관에서 조, 중생종군은 분벽기와 유수형성기의 내염성 정도와는 부의 상관을 보였고, 분벽기의 초장감소율과는 정의 상관을 보였으며, 조생종군에서는 고엽율과의 부의 상관을 보였고, 중만생종군에서는 유수형성기의 경수감소율과 고엽율 등에서 부의 상관관계를 보였다. 있어서 다른 조건이 좋은 경우 등숙에 적당한 온도범위는 21~26$^{\circ}C$로 나타났다.다. 6. 파종 10일후 묘의 생육에 있어서도 1대잡종벼가 양친이나 비교품종보다 건물중, 초장 등에서 잡종강세를 나타내었으며 묘의 생육과 a-amylase 활성간에는 유의한 정의상관이 있었다./TEX>, RH 50%)한 벼는 2년반 저장한 벼도 밥맛의 변화가 거의 없었다. 5. 1988년산 및 1989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야 한다. 이것은 고무기술자(技術者)가 당면(當面)해야할

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경상분지 서남부에 분포하는 백악기 진동화강암의 지화학적 특성:아다카이틱(adakitic)한 특성을 중심으로 (Geochemical Characteristics of the Cretaceous Jindong Granites in the Southwestern Part of the Gyeongsang Basin, Korea: Focussed on Adakitic Signatures)

  • 위수민;최선규;유인창;신홍자
    • 자원환경지질
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    • 제39권5호
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    • pp.555-566
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    • 2006
  • 주성분원소, 미량원소 및 희토류원소에 대한 지화학적 연구를 통하여 진동화강암의 성인과 마그마 근원물질의 지화학적특징 및 지구조적 환경을 살펴보았다. 진동화강암은 비알칼리암 중에서 칼크-알칼리계열의 화강암류이며, 마그마의 특성이 metaluminous에서 분화가 진행됨에 따라 peraluminous한 쪽으로 진행됨을 알 수 있다. 이들의 주성분 및 미량원소의 변화경향은 체계적인 연속성을 나타내며, 콘드라이트에 표준화한 희토류원소의 패턴은 일반적으로 경희토류원소가 부화되어 나타나며((La/Yb)c=4.2-12.8), Eu의 이상이 거의 나타나지 않는다. 진동화강암체의 Rb-Sr전암연대는 $114.6{\pm}9.1\;Ma$이며 $^{87}Sr/^{86}Sr$의 초생값은 0.70457로 나타났다. 낮은 $^{87}Sr/^{86}Sr$의 초생값은 경상분지 남부의 마산, 김해, 부산지역에 분포하는 백악기 화강암류들($^{87}Sr/^{86}Sr=0.7049-0.707$)과 유사하다. 이는 진동화강암체의 관입시기가 경상분지내에 분포하는 백악기 화강암류 중에서 가장 오래된 백악기 초기였으며 근원물질이 상부맨틀과 관련이 있음을 지시한다. 진동화강암체는 경상분지내의 다른 백악기 화강암류에 비해 상대적으로 높은 $Al_{2}O_{3},\;Na_{2}O$ 및 Sr과 낮은 $K_{2}O$와 Y의 함량을 보인다. 이들의 주성분원소($Al_{2}O_{3},\;K_{2}O,\;Na_{2}O,\;MgO$) 및 미량원소(Sr, Y, Rb) 함량범위는 adakite의 범주에 포함되며 남서부 일본의 큐슈(Kyushu)섬에서 나타나는 화강암체와 유사한 adakitic한 지화학적 특성을 나타낸다. 지구조 판별도 및 AUK vs. ACNK도에 점시해본 결과 I-type의 화강암으로 지구조적 환경은 화산호화 강암(VAG) 영역에 해당된다. 이 결과로 미루어 진동화강암류는 중생대 백악기 이자나기판의 섭입과 관련되어 관입한 대륙주변부 환경에서 생성되었음을 시사한다.

폴리에틸렌 배관 버트융착부 열용융거리 측정에 대한 연구 (A study for detection of melt flow zone about polyethylene butt fusion joints)

  • 길성희;김영구;조영도;이연재
    • 에너지공학
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    • 제25권4호
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    • pp.103-109
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    • 2016
  • 폴리에틸렌(Polyethylene) 배관은 가요성이 좋고 부식이 되지 않는 등의 장점으로 가스배관 뿐만 아니라 원자력 발전소의 배수관, 석유화학 및 정유사 공정배관 등으로 그 사용범위가 점차 확대되고 있다. 그러나 폴리에틸렌 배관의 연결부를 직접적으로 검사할 수 있는 검사방법이 개발되지 않아서 사용범위를 확대하는데 제한을 받고 있다. 폴리에틸렌 배관의 연결방법은 전기융착 방법과 버트융착 방법으로 구분할 수 있는데 이 중에서 가장 많이 사용하는 방법은 버트융착이다. 버트융착은 배관과 배관을 열판에 맞닿게 하고 일정한 온도 및 압력을 가한 후 열판을 제거하고 용융된 배관의 말단부를 서로 연결하는 방법으로서 별도의 연결구가 필요하지 않아 가장 많이 사용하고 있는 연결방법이다. 버트융착 시에 열판으로부터 열이 용융된 후 압력을 가하면 용융부는 비드를 형성하는 부분과 연결부를 형성하는 부분으로 분리되고 냉각과정을 거쳐 버트융착부가 된다. 본 연구는 연결부를 형성하는 부분에서 열판으로부터 열이 전파되어 용융된 거리를 측정하고 이 결과를 연결부에 대한 건전성 평가 방법 중의 하나로 제시하고자 한다. 외경 225mm, 두께 20.5mm의 중밀도 폴리에틸렌 가스용 1호관의 초음파 속도를 측정한 결과 2,200m/s 였다. 열용융 거리를 측정하기 위하여 열판으로부터 열이 전파되어 폴리에틸렌을 가열하는 시간을 0%~130%까지 변화시켜 시험편을 제작하였다. 또한 정상적인 가열시간(100%의 가열)을 제공하고 스크레핑 처리를 하지 않은 시험편과 토양을 삽입한 시험편 그리고 자갈을 삽입한 시험편과 비닐류를 삽입한 시험편을 제작하였다. 총 20개의 시험편에 대한 열용융 거리를 측정하기 위하여 3.5MHz 및 5.0MHz 센서를 이용하였으며 1개의 시험편에 대하여 총 3곳에서 초음파 탐상을 실시하였다. 열용융 신호를 명확하게 구분하기 위하여 모든 탐상 결과에 대하여 동일한 post image processing을 수행하였고 이미지 레벨, contrast, sharpen 및 threshold를 적용하였으며 결과 탐상은 가장 직관적으로 파악할 수 있는 gray scale로 표현하였다. 탐상 결과 가열시간이 짧은 시험편일수록 융착이 이루어지지 않아 멀티플 에코가 반사되는 영역이 증가하였으며 이 부분을 최대한 배제할 수 있는 위치에서 데이터를 획득하였다. 정상적인 가열시간의 80%인 168초의 시간을 가한 시험편부터 열용융 거리에 대한 반사신호가 뚜렷이 구분되었으며 이 시험편부터 거리 측정을 실시하였다. 가열시간이 정상가열시간의 7%인 15초의 가열시간을 가한 시험편부터 더 낮은 가열시간을 가한 시험편의 경우 융착이 이루어지지 않아서 3곳 모두 데이터 영상을 획득할 수 없었다. 위 실험 결과로 위상배열초음파를 통해 폴리에틸렌 배관 버트융착부에서 열이 용융되어 전파된 거리 측정이 가능함을 확인하였으며 또한 열이 용융되어 전파된 거리 측정을 통해 정상적인 융착과 불완전 융착을 구분할 수 있음을 확인할 수 있었다.

플라즈마 전해 산화법에 의해 용융알루미늄도금 강판 상 형성한 산화층과 그 성장 과정 (Oxide Films Formed on Hot-Dip Aluminized Steel by Plasma Electrolytic Oxidation and Their Films Growth Stages)

  • 최인혜;김창민;박준무;박재혁;황성화;이명훈
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.165-165
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    • 2017
  • 지난 수 십 년 동안, 전 세계적으로 자원의 소비가 급격히 증가하게 되면서 최근 자원 고갈은 물론 환경오염이 커다란 이슈로 문제가 되고 있다. 이에 따라 재료 관련 분야에 있어서는 보다 효율적이고 친환경적인 방법으로 자원을 활용해야 된다는 필요성이 대두되었고 이와 같은 관점에서 목적하는 성분이 우수하고 환경 친화적인 표면처리 재료 개발연구가 활발하게 진행되고 있는 실정이다. 그 중 플라즈마 전해 산화(Plasma Electrolytic Oxidation, PEO)는 알루미늄, 마그네슘 등의 경금속의 경도를 향상시키고 높은 내마모성, 내식성을 갖게 하는 표면처리로써 그 관심이 증가하고 있다. 이 플라즈마 전해 산화는 일반적으로 공정비용 대비 효과적이고 환경 친화적이며 코팅 성능 면에서 우수하다고 알려져 있다. 이러한 고유한 특성으로 인해 플라즈마 전해 산화 코팅은 최근 몇 년 동안 기계, 자동차, 우주항공, 의학 및 전기 산업 등의 분야에서 그 적용이 점차 증가하고 있는 상황이다. 한편, 플라즈마 전해 산화 코팅을 하는 모재들의 경우 부동태 산화피막을 용이하게 형성할 수 있는 특성의 모재에 한정되고 있어서 그 응용확대에 한계가 있는 것이 사실이다. 따라서 본 연구에서는 플라즈마 전해 산화법을 사용하여 용융알루미늄도금 강판 상에 산화피막 형성을 시도하였다. 전원공급 장치의 양극은 전해질 속에 잠겨있는 작동전극에 연결하고 음극은 대전극 역할을 하는 스테인레스강 전해질 용기에 연결되었다. 전해질은 Sodium Aluminate 및 기타 첨가제를 함유한 것을 사용하였고 온도는 열교환기를 사용하여 $30^{\circ}C$ 이하로 유지되었다. 또한 여기서 전류밀도는 $5{\sim}10A/dm^2$, 실험 주파수는 700Hz, Duty cycle은 30 및 90%의 각 조건에서 공정처리 시간을 각각 30분 및 60분 동안 진행하였다. 이와 같은 조건에서 형성한 막들에 대해서는 주사형전자현미경(SEM)을 이용하여 코팅 막의 표면 및 단면의 모폴로지를 관찰하였음은 물론 EDS 및 XRD 측정을 통하여 원소조성분포 및 결정구조를 각각 분석하였다. 또한 이 코팅 막들에 대한 내식성은 5% 염수분무 환경 중 노출시험(Salt spray test), 3% NaCl 용액에서의 침지 시험 및 전기화학적 동전위 양극분극(Potentiodynamic Polarization) 시험을 진행하여 평가하였다. 이상의 실험결과에 의하면, 제작조건별 플라즈마 전해 산화 코팅 막의 모폴로지 및 결정구조가 상이하게 나타나는 것을 알 수 있었다. 코팅 막의 모폴로지 관찰 결과, 공정 시간에 비례하여 표면에 존재하는 원형 기공의 수는 감소하였으나 그 크기가 커지고 크레이터의 직경 또한 커진 것이 확인되었다. 이 기공은 마이크로 방전에 의해 형성된다고 알려져 있는데 공정 시간이 증가함에 따라 코팅 두께가 점차 증가하여 마이크로 방전의 빈도수가 줄어들고 그 강도는 증가하게 되어 기공 크기가 증가한 것으로 사료된다. 또한 공정시간이 긴 시편에서 표면에 크랙이 다수 존재하는 것으로 확인되었다. 이것은 방전에 의해 고온이 된 소재가 차가운 전해질과 만나게 되어 생긴 큰 온도구배로 인해 강한 열응력이 발생하여 균열을 초래한 것으로 보인다. 조성원소 분석 결과 원형 기공 주변의 크레이터 영역에는 알루미늄이 풍부하였으며 그 주변에 결절상을 갖는 구조에서는 전해질 성분의 원소가 포함되어 있는 것이 확인되었다. 이러한 코팅 막의 표면 특성은 내식성에 영향을 주게 된 원인으로 사료된다. 동전위 분극측정 결과에 의하면 플라즈마 전해 산화 공정 시간이 길어질수록 부식전류밀도가 증가하였다. 이것은 공정시간이 길어짐에 따라 강한 방전이 발생하여 기공의 크기가 증가하고 크랙이 발생하게 되면서 내식성이 저하된 것으로 판단된다. 종합적으로 재료특성 분석 및 내식성 평가를 분석한 결과, 플라즈마 전해 산화의 공정 시간이 너무 길게 되면 오히려 내식성은 저하되는 것이 확인되었다. 이상의 연구를 통하여 고내식 특성을 갖는 플라즈마 전해 산화 막의 유효성을 확인하였으며 용융알루미늄강판 상에 실시한 플라즈마 전해 산화 처리에 대한 기초적인 응용 지침을 제시할 수 있을 것으로 사료된다.

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