This paper deals with structured singular value and mixed sensitivity problem for robust performance. We derive the sufficient condition that mixed sensitivity problem satisfies structured singular value in robust performance problem. And we show the bound of perturbation between structured singular value and norm of mixed sensitivity functions.
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics S
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v.35S
no.6
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pp.55-65
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1998
In industrial fields, RTP(rapid thermal processing) system is widely used for improving the oxidation and the annealing in semiconductor manufacturing process. The main control factors are temperature control of wafer and uniformity in the wafer. In this paper, we propose an $H^{\infty}$ controller design of RTP system satisfying robust stability and performance using weighted mixed sensitivity miniimization and loop shaping technique. And we need reduction technique because of the difficulty of implementation with the obtained high order controller for original model and reduced models, namely, Hankel, square-root balanced, and Schur balanced methods. An example is proposed to show the validity of the proposed method.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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v.19
no.3
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pp.84-90
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1995
The magnetic levitation system has great advantages, such as little friction, no lubrication no noise and so on. The magnetic levitation system need a stabilizing controller because it is a unstable system in natural. This paper presents the robust stabilizing controller design of the magnetic levitation system. The controller which is designed in this paper by $H_{infty}$ control theory is robust servo controller which has zero offset in spite of the model uncertainties. The validity of controller was investigater through the response simulation. In the future, we will use the result of this study at the actual magnetic levitation system.
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics B
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v.33B
no.2
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pp.20-27
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1996
In this paper, we propose a coprime factor model reduction method to get a reduced order controller in $H^{\infty}$ mixed sensitivity problem with frequency weighting functions. for this purpose, the given $H^{\infty}$ mixed sensitivity problem is transformed into robust stabilization problem with coprime factor uncertainty of given plant. This method is to define frequency weighted coprime factors of plant in CSD (chain scattering description) form and reduce the coprime factors using weighted balanced truncation. then a controller is designed to the reduced order coprime factors using J-lossless coprime factorization method. Using this approach, the robust stability condition is derived and good performance is preserved in closed loop system with the given plant and the reduced order controller. Also the order of reduced controller for guaranteeing the robust stability can be determined before designing the reduced controller. The proposed method behaves well in both stable and unstable plant.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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v.20
no.3
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pp.144-153
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1996
The magnetic levitation system has many advantages, such as little friction, no lubrication, no noise and so on. For this reason, the magnetic levitation system is utilized in the magnetic bearing of high-speed rotor. The method to obtain magnetic force is both the repulsive suspension method and the attraction suspension method need a stabilizing controller because it is a unstable system in natural. This paper presents the design of robust stabilizing servo controller in spite of being the model uncertainties in the magnetic levitation system by $\textit{H}_{\infty}$ control theory using the free parameter. And we investigated the validity of a designed controller through results of the simulation and the actual experiment.
Kim, Jong-Hae;Um, Tae-Ho;Park, Hong-Bae;Lee, Sang-Ho;Jeong, Jin-Yang;Lee, Joo-Kang
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.4
no.1
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pp.134-140
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1998
포항제철 2열연공장의 사상압연에 사용되고 있는 DC 모터를 가지는 열간압연 구동기에 대한 견실 H/sup .inf./ 속도제어기 설계방법을 제안한다. 기존에는 PI 재어기법을 이용하여 속도를 제어하고 있으므로 불확실성과 외란등이 존재할 경우 양호한 제어 성능을 얻기 힘들다. 이를 해결하기 위해 주파수 하중 함수를 가지는 혼합감도최소화 문제를 설정하여 견실성을 보장하는 H/sup .inf./ 속도제어기를 설계한다. 이때 주파수 하중함수는 루프쉐이핑기법을 이용하여 주어진 구동기 플랜트에 적합하도록 선택한다. H/sup .inf./ 속도제어기 설계는 Pasek이 제시한 DC 모터의 모델링 방법에 의해 얻어진 모델을 포함하는 구동기 모델에서 속도제어기 부분을 제외한 모델을 대상으로 한다. 제안한 견실 속도제어기 설계방법은 파라미터 변화나 부하토크 변동 등의 외란에 대하여 폐루프 시스템의 견실안정성과 원하는 속도에 좋은 추적 성능을 보인다. 제어 대상인 포항제철 2열연공장의 열간압연 구동기에 대한 시뮬레이션을 통해 기준속도 추적성, 응답속도, 불확실성과 외란에 대한 견실성 등의 성능에 기존의 PI 속도제어기보다 양호함을 확인함으로써 제안한 견실 H/sup .inf./ 속도제어기 설계 방법의 타당성을 보인다.
This paper presents a design method of dynamic positioning control system for floating platform with rotatable and retractable thruster using $H_{\infty}$ control technique. The norm band of uncertainty is captured by multiplicative perturbation between nominal model and reduced order model. A controller robust to the uncertainty is designed applying $H_{\infty}$ synthesis. The control law satisfying robust stabillity and nominal performance condition is determined through the mixed sensitivity approach. The evaluation for the resultant controller obtained by $H_{\infty}$ synthesis is done through simulations of the closed loop system. The results of $H_{\infty}$ synthesis are compared to those of the traditional LQ synthesis method.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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1996.04a
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pp.437-442
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1996
The paper presents a design method of dynamic positioning control system for floating platform with rotatable and retractable thruster using $H_{\infty}$control technique. The norm band of uncertaintyis captured by multiplicative perturbation between nominalmodel and reduced order model. A controller robust to theuncertainty is designed applying $H_{\infty}$synthesis. The control law satisfying robust stability and nominal performance condition is determined through the mixed sensitivity approach. The evaluation for the resultant controller obtained by $H_{\infty}$synthesis is done through simulations of the closed loop system. The results of $H_{\infty}$synthesis are compared to those of the traditional LQ synthesis method. method.
바이오 마이크로 시스템 및 바이오 MEMS 분야, 특히 실리콘을 기질로 하는 바이오 센서 제작에서 반도체 공정 기술은 센서의 대량 생산과 초소형화를 위해서 반드시 필요한 기술이다. 그러나, 감지전극의 마이크로화에 따른 센서의 감도 및 안정성 저하 문제는 해결해야 할 과제이다. 최근, 다공질 실리콘이 갖는 대면적이 실리콘 기질과 생체 고분자 (예: 단백질, 핵산 등) 간의 결합력을 향상시킬 수 있음이 알려지면서, 바이오 센서 분야에서, 새로운 형태의 드랜스듀서 재료로서의 다공질 실리콘에 대한 논의가 활발히 전개되고 있으며 또한, ISFET (Ion-Selective Field-Effect Transistors) 와는 달리 다공질 실리콘 층은 저항이 크기 때문에 센서 제작 과정에서의 부가적인 절연막을 필요로 하지 않는다. 본 연구에서는, 백금을 증착한 다공질 실리콘 표면에 전도성 고분자로서 Polypyrrole (PPy) 필름과 생체 고분자 물질로서 Urease를 각각 전기화학적으로 흡착하였다. 다공질 실리콘 층의 형성을 위해 테플론 소재의 전기화학 전지에 불산 (49%), 에탄올 (95%), $H_2O$ 혼합 용액을 넣고 실리콘 웨이퍼에 일정시간 수 mA의 산화 전류를 흘려주었으며, 약 $200{\AA}$의 티타늄 박막과 $200{\AA}$의 백금 박막을 RF 스퍼터링하여 작업 전극을 제작하였고, 백금 박막 및 Ag를 기화 증착하여 제작한 Ag/AgCl 박막을 각각 상대 전극과 기준전극으로 하였다. 박막 전극의 표면 분석을 위해 SEM (Scanning Electron Microscopy), EDX (Energy Dispersive X-ray spectroscopy) 등을 이용하였다. 제작된 요소 센서로부터 요소 농도 범위 0.01 mmol/L ${\sim}$ 100 mmol/L에서 약 0.2 mA/decade의 감도를 얻었다.
실선로 전력 케이블의 부분방전 측정은 주위 전력설비의 신호들이 혼합되면 정확한 부분방전 진단이 어려운 면이 있다. 본 논문에서는 15kV급 EPR 난연 케이블을 대상으로 거리에 따른 부분방전 신호를 검출 및 감쇄 정도 확인 시험을 통하여 발생 위치 추정 기준을 마련하고자 한다. 이를 위해 길이 500m의 EPR 난연 케이블을 제작하여 모의 선로를 구성하였고, IEC60270에 적합한 Calibrator를 이용하여 신호를 인가한 후 HFCT 센서를 사용하여 일정한 거리를 두고 방전 신호를 검출하고, Techimp사(社)의 PDBASE와 OMICRON사(社)의 MPD600을 이용하여 부분방전 신호를 분류하였다. 전압 인가 지점에서 단계적인 거리증가에 따른 부분방전 신호 감쇄 현상 및 일정 길이(300[m])에 대한 주입 신호별 감도 측정을 분석하였다. 본 논문의 시험대상인 15kV급 EPR 난연 케이블은 원자력 발전소의 배전선으로 사용하기 위해 제작된 것으로, 포설 후 절연체 내에 B/D가 발생했다고 가정했을 때, PD신호의 검출 및 대략적인 위치의 추정은 안전을 최우선시 하는 원자력 발전 및 배전 부문에서 주요한 문제로 부각 될 것이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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