화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition)이나 플라즈마 식각(Etch) 등의 반도체 공정에서 챔버 내벽의 상태에 대한 모니터링은 매우 중요하다. 챔버 벽면에 증착된 유기 또는 무기 물질이 다시 떨어져 나와 불순물 입자 형성의 원인이 되며, 플라즈마를 원하지 않는 상태로 바꾸어 놓아 공정 조건이 달라질 수도 있기 때문에 반도체 제조 수율 저하를 초래하기도 한다. 본 연구에서는 챔버 벽면이 증착되는 환경에서 평판형 탐침을 삽입하여, 증착된 박막의 두께측정 기술을 개발하였다. 전기적으로 부유된 평판 탐침에 정현파 전압을 인가하고 이 경우 플라즈마로부터 들어오는 전류의 크기 및 위상차 측정을 통해 대략적인 증착 박막 두께를 측정 하였다. 플라즈마와 챔버 벽 사이에 존재하는 쉬스의 회로 모델을 적용하여 플라즈마 상태에 무관하고, 가스 종류 및 유량, 입력 전력, 챔버 내부 압력등의 외부 변수에도 독립적으로 측정이 가능하였다. 본 연구는 반도체 장비에서 내벽 모니터링을 통해, PM 주기 조정을 최적화 시키는 잣대의 역할을 할 수 있을 것이다. 더 나아가, 반도체생산 수율 향상에 많은 도움이 될 것이다.
개인 컴퓨터의 보급과 중앙집중식 처리의 한계로 인해 P2P 기술에 대한 관심이 부각됨에 따라 피어들에 대한 평판을 관리하는 방법들이 연구되고 있다. 본 논문에서는 피어들의 평가와 더불어 피어가 포함하는 아이템들에 대한 평가를 위한 모델을 제안한다. 제안하는 기법은 P2P 환경에서 아이템 공유를 위한 평판 관리 기법 과 악의 피어 검출 방법으로 구성된다. 제안하는 기법은 아이템을 공유하는 피어들 간에 악의 피어에 대한 정보를 상호 교환하여 악의 피어 검출의 정확성을 향상시킨다.
선거 기간 때마다 유권자들은 어떤 후보자에게 투표권을 행사해야 올바른 선택을 하게 될지 고민하게 되며, 후보자의 선거캠프에서는 후보자에 대한 유권자의 평판에 관심을 가지게 된다. 이러한 고민을 해결하기 위하여 본 논문에서는 TF-IDF 기법과 양방향 LSTM 기계학습모델을 활용해 특정 정치인의 분야별 행보와 여론에 대해 시계열 파악이 가능한 프로파일 보고서를 생성한다. 이를 통해 유권자는 후보자의 정치 철학과 경륜에 대한 이해가 쉬워져 올바른 투표권을 행사할 수 있으며 선거캠프에서는 데이터 기반 평판에 대한 올바른 선거전략을 수립할 수 있게 된다.
The acoustic power reduction method can be used to design a quiet structure. To calculate the acoustic power radiated from a vibrating structure, the dynamic responses have to be determined. It is not easy to analyse the structure composed of the corrugated panels because of the structural complexity and the long analysing time. To make up for these defects, the equivalent orthotropic panel is presented. Also the acoustic power prediction method of the vibrating structures is proposed. As examples, the equivalent material properties of the corrugated plates are obtained and the acoustic powers of the floor structure are calculated at several frequency regions for the Korean High Speed Train.
For cylindrical shells, the closed-form solutions are confined to the specific boundary and/or loading conditions. Though the finite element method is certainly a powerful solution approach for the structural dynamics problems, it has been well known to provide the solution reliable only in the low frequency region due to the inherent high sensitivities of structual and numerical modeling errors. Instead, the spectral element method has been proved to provide accurate dynamic characteristics of a structure even at the ultrasonic frequency region. Since the wave characteristic of a cylindrical shell becomes identical to that fo a flat plate as the frequency increases, an equivalent plate model (EPM) representing the high-frequency dynamic characteristics of the cylindrical shell is introduced herein. The EPM-based spectral element analysis solutions are compared with the known analytical solutions for the cylindrical shells to confirm the validity of the present modeling approach.
이 논문에서는 선관통형 균열을 포함하는 정사각형 평판과 선관통형 균열이 연속체 손상이론을 이용에서 구한 유효 직교 이방성 탄성 물성치의 등가 연속체 모델로 대체된 평판의 모드형상과 고유진동수를 비교하여 SEEP에 기반하여 Lee 등이 [5] 제안한 연속체 손상이론을 검증하였다.
3차원 입자 모델을 이용하여 $12\;mm{\times}625\;mm$ 크기의 평판형 마그네트론 스퍼터링용 음극에서 전자의 운동을 해석하였다. 전자와 중성 가스 입자의 충돌은 모두 세 가지를 고려하였으며 Runge-Kutta 4th order 방법을 이용하여 전자의 궤적을 계산하였다. 400 eV의 전자는 5 mTorr의 압력에서 알곤과 평균 8 - 12회 이온화 충돌 후 집중 방전 영역에서 벗어났으며 문헌에 보고된 2차원 실린더형 마그네트론에서 보고된 값보다 작았다. 마그네트론의 집중 방전 특성은 전자와 중성의 소각 산란에 의해서 주로 발생되었으며 이온화 충돌에 의해서 발생되는 2차 전자는 충돌 위치에서의 자기장 값에 의해서 궤적이 결정되었다.
본 논문에서는 압전세라믹 가진기와 검출기를 부착한 평판 진동 시스템을 구축하고 이를 효과적으로 제어하기 위한 $H_2$ 제어기 설계기법을 제시한다. 본 논문의 실험에서 사용한 평판 시스템은 2개의 입력과 2개의 출력이 있는 다변수 시스템이며 정확한 전달행렬을 구하기 위하여 시스템 식별 실험을 수행하였다. 시스템 식별로부터 얻어진 평판 진동 시스템의 상태 공간 모델을 이용하여 $H_2$ 제어기를 설계하고, 설계된 $H_2$ 제어기의 제어 성능은 시뮬레이션과 실제 실험을 통해 입증하였다.
본 연구에서는 원통에 대하여는 Donnel 식과 Flugge식을 사용하여 원통의 유 한길이에 대한 일반적인 해를 구하였고, 평판에 대하여는 막이론과 굽힘이론을 사용하 여 일반해를 구한 후 중첩하였다. 평판과 원통에 발생하는 미정력계를 구하기 위하 여 가장 합리적이라고 생각되는 접합부에 모든 미정력계가 집중하여 작용한다고 가정 하고, 이 부분에서 평판과 원통의 각각에 대한 하중, 모우멘트, 기울기, 변위 등이 연 속하도록 접한조건식을 세웠다.그리고 이론해석의 타당성을 알아보기 위하여 S 45C 강재로 플러시타잎의 모델을 제작하여 실험을 행하였다.
빔형성 방법은 측정 범위의 제한에 의해 분해능이 제한되므로, 공간상에 분포되어 있는 소음원에 적용할 경우 소음워싱 형상을 스므딩(smoothing)시켜 표현하는 문제점을 갖게 된다. 특히 기계소음과 같은 저주파수 소음에서는 분해능의 향상이 한계를 갖게 되므로, 빔형성 방법의 적용이 어렵다. 따라서, 본 연구에서는 이러한 빔형성 방법에서의 스므딩 현상과 평판의 음향파워 방사 형태와의 관계를 살펴 봄으로써, 낮은 분해능을 갖는 빔형성 방법의 적용가능성을 보이고자 한다. 이 경우 구면파를 가정한 빔형성 방법의 분해능을 조정하므로써, 빔형성 파워의 형태가 아음속(subsonic) 및 초음속(supersonic) 음향 방사의 형태를 따르는 평판에서의 음향 방사파워의 형태가 됨을 알 수 있으며, 단순지지된 평판의 방사음장에서 이를 수치적으로 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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