• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.583-583
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• 2013

화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition)이나 플라즈마 식각(Etch) 등의 반도체 공정에서 챔버 내벽의 상태에 대한 모니터링은 매우 중요하다. 챔버 벽면에 증착된 유기 또는 무기 물질이 다시 떨어져 나와 불순물 입자 형성의 원인이 되며, 플라즈마를 원하지 않는 상태로 바꾸어 놓아 공정 조건이 달라질 수도 있기 때문에 반도체 제조 수율 저하를 초래하기도 한다. 본 연구에서는 챔버 벽면이 증착되는 환경에서 평판형 탐침을 삽입하여, 증착된 박막의 두께측정 기술을 개발하였다. 전기적으로 부유된 평판 탐침에 정현파 전압을 인가하고 이 경우 플라즈마로부터 들어오는 전류의 크기 및 위상차 측정을 통해 대략적인 증착 박막 두께를 측정 하였다. 플라즈마와 챔버 벽 사이에 존재하는 쉬스의 회로 모델을 적용하여 플라즈마 상태에 무관하고, 가스 종류 및 유량, 입력 전력, 챔버 내부 압력등의 외부 변수에도 독립적으로 측정이 가능하였다. 본 연구는 반도체 장비에서 내벽 모니터링을 통해, PM 주기 조정을 최적화 시키는 잣대의 역할을 할 수 있을 것이다. 더 나아가, 반도체생산 수율 향상에 많은 도움이 될 것이다.

• Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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• 2012.05a
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• pp.37-38
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• 2012

개인 컴퓨터의 보급과 중앙집중식 처리의 한계로 인해 P2P 기술에 대한 관심이 부각됨에 따라 피어들에 대한 평판을 관리하는 방법들이 연구되고 있다. 본 논문에서는 피어들의 평가와 더불어 피어가 포함하는 아이템들에 대한 평가를 위한 모델을 제안한다. 제안하는 기법은 P2P 환경에서 아이템 공유를 위한 평판 관리 기법 과 악의 피어 검출 방법으로 구성된다. 제안하는 기법은 아이템을 공유하는 피어들 간에 악의 피어에 대한 정보를 상호 교환하여 악의 피어 검출의 정확성을 향상시킨다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2020.05a
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• pp.385-388
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• 2020

선거 기간 때마다 유권자들은 어떤 후보자에게 투표권을 행사해야 올바른 선택을 하게 될지 고민하게 되며, 후보자의 선거캠프에서는 후보자에 대한 유권자의 평판에 관심을 가지게 된다. 이러한 고민을 해결하기 위하여 본 논문에서는 TF-IDF 기법과 양방향 LSTM 기계학습모델을 활용해 특정 정치인의 분야별 행보와 여론에 대해 시계열 파악이 가능한 프로파일 보고서를 생성한다. 이를 통해 유권자는 후보자의 정치 철학과 경륜에 대한 이해가 쉬워져 올바른 투표권을 행사할 수 있으며 선거캠프에서는 데이터 기반 평판에 대한 올바른 선거전략을 수립할 수 있게 된다.

• Journal of the Korean Society for Railway
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• v.2 no.3
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• pp.26-35
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• 1999

The acoustic power reduction method can be used to design a quiet structure. To calculate the acoustic power radiated from a vibrating structure, the dynamic responses have to be determined. It is not easy to analyse the structure composed of the corrugated panels because of the structural complexity and the long analysing time. To make up for these defects, the equivalent orthotropic panel is presented. Also the acoustic power prediction method of the vibrating structures is proposed. As examples, the equivalent material properties of the corrugated plates are obtained and the acoustic powers of the floor structure are calculated at several frequency regions for the Korean High Speed Train.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.16 no.6
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• pp.108-113
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• 1999

For cylindrical shells, the closed-form solutions are confined to the specific boundary and/or loading conditions. Though the finite element method is certainly a powerful solution approach for the structural dynamics problems, it has been well known to provide the solution reliable only in the low frequency region due to the inherent high sensitivities of structual and numerical modeling errors. Instead, the spectral element method has been proved to provide accurate dynamic characteristics of a structure even at the ultrasonic frequency region. Since the wave characteristic of a cylindrical shell becomes identical to that fo a flat plate as the frequency increases, an equivalent plate model (EPM) representing the high-frequency dynamic characteristics of the cylindrical shell is introduced herein. The EPM-based spectral element analysis solutions are compared with the known analytical solutions for the cylindrical shells to confirm the validity of the present modeling approach.

• Proceedings of the KSR Conference
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• 2006.11b
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• pp.31-34
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• 2006

A new continuum damage theory (CDT) has been proposed by Lee et al. (1996) based on the SEEP. The CDT has the apparent advantage over the other related theories because the complete constitutive law can be readily derived by simply replacing the virgin elastic stiffness with the effective orthotropic elastic stiffness obtained by using the proposed continuum damage theory. In this paper, the CDT is evaluated by the numerical experiment comparing the mode shapes and natural frequencies of a square plate containing a small line-through crack with those of the same plate with a damaged site replaced with the effective orthotropic elastic stiffness computed by using the CDT.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2008.11a
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• pp.17-17
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• 2008

3차원 입자 모델을 이용하여 $12\;mm{\times}625\;mm$ 크기의 평판형 마그네트론 스퍼터링용 음극에서 전자의 운동을 해석하였다. 전자와 중성 가스 입자의 충돌은 모두 세 가지를 고려하였으며 Runge-Kutta 4th order 방법을 이용하여 전자의 궤적을 계산하였다. 400 eV의 전자는 5 mTorr의 압력에서 알곤과 평균 8 - 12회 이온화 충돌 후 집중 방전 영역에서 벗어났으며 문헌에 보고된 2차원 실린더형 마그네트론에서 보고된 값보다 작았다. 마그네트론의 집중 방전 특성은 전자와 중성의 소각 산란에 의해서 주로 발생되었으며 이온화 충돌에 의해서 발생되는 2차 전자는 충돌 위치에서의 자기장 값에 의해서 궤적이 결정되었다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.43 no.2 s.308
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• pp.1-10
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• 2006

This paper is concerned with $H_2$ control design for active vibration control of a plate vibration system. We construct a plate vibration system with a plate, PZT ceramics actuators and sensors. The plate titration system is MIMO system and its transfer matrix is obtained by system identification experiments. We design a $H_2$ controller using the state space model obtained from system identification. Effectiveness and performance of the designed controller are verified by both simulation and experiment results.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.11 no.5
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• pp.800-809
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• 1987

For precise stress analysis of pressure vessel nozzle junction area, it should be modelized as a cylindrical shell with a cylindrical outlet attached on it, but because of its geometrical complexity, exact analysis and solution is very difficult to obtain. So, when the nozzle diameter is small compared to that of vessel, it is general to simplify the model as a flat plate with a cylinder. As the current nozzle shape is manufactured as "Through Type" to reduce the stress concentration around the nozzle junction part of pressure vessel, a theoretical analysis on the cylinder with finite length should be performed to accomodate this fact. In this paper, the general solutions which were obtained by applying Fulgge's theory to the finite length cylinder, membrane and bending theory to the flat plate were superposed to analyze the model. Each theoretical optimal values were obtained through the analysis of stress concentration caused by the variation of cylinder length and thickness, and these results were estimated by performing model experimentation.mentation.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.16 no.6
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• pp.12-18
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• 1997

Beamforming method has a limited spatial resolution because of finite aperture size, so that the estimated source distributions are smoothed within the resolution. Especially for low frequency noise such as mechanical noise, this limitation often diminishes the direct use of beamforming method. In this study, the relation between smoothed beamforming and radiation power distribution of plate has been addressed. By adjustment of aperture size of array, the smoothed beamforming power shows radiation power distribution of plate. Numerical simulations are carried for simply supported plate.