• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2000.07a
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• pp.247-249
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• 2000

본 연구에서는 double rectangular spiral형 공심 인덕터를 제조하고, 인덕터 특성에 미치는 자성막의 특성 인자에 대해 연구하였다 공심 인덕터의 전류의 방향과 자성 박막의 자화 용이축의 방향이 수직일 경우 인덕터의 인덕턴스가 향상되었고, 도체막과 자성막 사이 절연막이 없는 경우 자성막의 자속 집속효과가 증가하여 절연막이 있는 경우보다 인덕턴스는 높고, 저항의 증가율이 높았으며, 자성막의 투자율이 높을수록 인덕터의 인덕턴스에 기여하는 부분이 증가하므로 인덕턴스는 향상되었다. 또한 인덕터의 주파수 특성은 공심 인덕터의 특성에 지배적인 영향을 받으므로 인덕터의 주파수 특성을 향상시키기 위해서는 자성막의 특성보다 공심 인덕터의 특성을 향상시키는 것이 바람직하다

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.13 no.9
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• pp.4126-4130
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• 2012

In this paper, we proposed planar spiral inductors based on AC coupling for high-frequency wireless signal transmission. Design and characteristics of various structures of the inductor were analyzed. Capacitance between the inductors can be reduced by positioning two thin-film inductors in parallel. So two structures were proposed. First structure is inter-diagonal structure. This structure was made not to overlap the wire part of the paralleled two inductors. Second structure is On-chip type structure that the two thin-film inductors were in parallel but located on diagonal line not to face each other. The resonance in this structure was reduced from twice to once by increasing horizontal distance between the two thin-film inductors, because the capacitance effect between the two thin-film inductors decreases when the distance between the two inductors increases.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 2002.12a
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• pp.216-217
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• 2002

최근의 반도체 제조기술의 급속한 발달로 인하여 시스템의 소형화ㆍ경량화의 추세가 증가하고 있다. 특히 휴대용 전화기, PCS 등 정보통신기기의 소형화 및 경량화의 추세가 두드러지게 나타나고 있다. 또한 각종 부품의 동작 가능 주파수 대역이 종전의 kHz 또는 MHz 대역에서 GHz 대역으로 옮겨지고 있는 추세에 있다[1]. 이러한 추세 중 인덕터의 소형화ㆍ경량화 기술은 반도체 제조기술을 이용해 실리콘기판 등의 위에 평면 모양의 코일을 만드는 박막 인덕터가 이용되고 있다. (중략)

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.15 no.4
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• pp.2330-2334
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• 2014

In this study, we confirmed the frequency characteristics of planar spiral inductor based on non-contact method AC coupling for wireless signal transmission. The dielectric constant variation of the substrate does not directly effect the inductance of device but effect the electrostatic capacity of device. Therefore, its change self-resonance frequency. The thickness increment of the substrate increase inductance but decrease self-resonance frequency. Because, the thickness decrement of the substrate make the inside electrostatic capacity increment.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 1996.05a
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• pp.64-65
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• 1996

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1998.02a
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• pp.51-52
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• 1998

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 1998.05a
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• pp.60-61
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• 1998

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1998.11a
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• pp.74-74
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• 1998

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07c
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• pp.1679-1681
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• 2000

휴대 전화 및 캠코더 등의 휴대기기의 보급이 급격히 확산됨에 따라 기기의 소형화와 경량화가 제품 개발의 가장 큰 과제로 떠오르게 되었다. 특히 전자기기들은 기능이 다양해질수록 필요로 하는 부품이 늘어나게 되고, 그 결과로 불가피하게 일차로 공급되는 단일 저압의 전원으로는 구동시킬 수 없는 부분이 생기게 된다. 따라서 그들 개별 소자 또는 부품들이 구동되기 위해서는 그에 필요한 전력이 공급되어야 한다. 이러한 역할을 담당하는 것이 SMPS이며 본 연구에서는 SMPS의 전원 안정화를 담당하는 인덕터의 평면화를 구현하고자 고주파 대역에서 우수한 자기적 특성 및 높은 포화 자화 값으로 소자의 load current를 증가시킬 수 있는 PeTaN 자성 박막과 전기 저항을 낮추기 위한 MEMS 기술을 응용한 높은 aspect을 지닌 Cu 코일부, 전기적 절연을 담당하는 절연막을 사용한 평면형 인덕터를 제조하였으며, 인덕터의 특성인 인덕턴스는 약 5MHz까지 1.5${\mu}H$를 나타내며 낮은 전기 저항($2\Omega$)을 보여주었다. 특히 최근 사용되어지는 전자 부품들의 저전력, 저전압, 높은 구동전류의 실현을 위해서는 높은 load current를 지녀야 한다. 측정된 인덕터의 load current에 따른 효율은 약 200mA까지 78%의 효율을 보여 주었다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.11 no.5
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• pp.222-225
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• 2001

The planar type inductors have a good potential for the application of miniaturized low power DC-DC converters. For those high quality application, the reduction of coil loss and also magnetic films which have good high frequency properties are required. Fabricated inductor was consisted of FeTaN/Ti magnetic film and electroplated Cu coil thickness of 100$\mu\textrm{m}$ and $SiO_2$ as a insulating layer. The inductor was designed double rectangular spiral shape for magnetic field highly confining within the device. The measured value of inductance and resistance were 980 nH and 1.7 $\Omega$ at 1 MHz as operating frequency of device. The Q factor is 3.55 at 1 MHz.