Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference (한국자기학회:학술대회 개요집)
- 2002.12a
- /
- Pages.216-217
- /
- 2002
- /
- 2233-9485(pISSN)
- /
- 2233-9574(eISSN)
Characteristics of spiral thin film inductors in the GHz bandwidth range.
나선 박막 인덕터의 GHz 대역 특성
Abstract
최근의 반도체 제조기술의 급속한 발달로 인하여 시스템의 소형화ㆍ경량화의 추세가 증가하고 있다. 특히 휴대용 전화기, PCS 등 정보통신기기의 소형화 및 경량화의 추세가 두드러지게 나타나고 있다. 또한 각종 부품의 동작 가능 주파수 대역이 종전의 kHz 또는 MHz 대역에서 GHz 대역으로 옮겨지고 있는 추세에 있다[1]. 이러한 추세 중 인덕터의 소형화ㆍ경량화 기술은 반도체 제조기술을 이용해 실리콘기판 등의 위에 평면 모양의 코일을 만드는 박막 인덕터가 이용되고 있다. (중략)
Keywords