미소면적 광학이방성 정밀 측정을 위한 수직반사형 타원계의 광소자 편광특성 및 측정정밀도 향상 연구 (Study on Polarization Characteristics of Optical Device and Improvement of Measurement Precision of Normal Incidence Ellipsometer for Measuring Optical Anisotropy of a Micro Spot)
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- 한국광학회지
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- 제23권6호
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- pp.274-280
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- 2012