• 제목/요약/키워드: 펨토초 기술

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펨토초 레이저 펄스를 이용한 환원된 그래핀의 최소 선폭 패턴 구현에 관한 연구 (The study of optimal reduced-graphene oxide line patterning by using femtosecond laser pulse)

  • 정태인;김승철
    • 한국융합학회논문지
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    • 제11권7호
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    • pp.157-162
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    • 2020
  • 최근 레이저를 이용하여 환원된 친환경 그래핀 패턴 기술(Laser Induced Graphene, LIG)은 간단하고 효율적으로 원하는 형태로 다양한 기판 위에 패터닝하는 것이 가능하여 신축 유연 전자 소자, 박막 형태의 에너지 저장 소자 등과 같이 새로운 친환경 전자 소자 제작에 많이 활용되고 있다. 이러한 그래핀 패턴 구조를 이용한 전자 소자의 성능과 효용성을 높이기 위해서는 그래핀 고유의 2차원 특성을 유지하면서 가능한 최소한의 선폭을 구현할 수 있는 최적화된 레이저 패터닝 조건에 대한 연구가 필수적이다. 본 논문에서는 최근 레이저 그래핀 패턴 연구에서 많이 사용되는 Ti:sapphire 펨토초 레이저를 이용해서 그래핀 광-열 산화반응을 분석하여 최적화된 그래핀의 최소선폭을 구현하였다. 레이저 에너지의 확산 효과를 최소화하기 위하여 레이저 광강도와 레이저 스캔 속도를 조절하여 최적의 그래핀 특성을 나타내는 패턴을 연구하였으며 18 ㎛의 집속된 빔을 이용하여 최소 30 ㎛의 이차원 그래핀 선폭을 구현하였다.

펨토초 레이저를 이용한 실리카 내부의 다층 회절격자 가공 기술 (Direct writing of multi-layer diffraction grating inside fused silica glass by using a femtosecond laser)

  • 최훈국;김진태;손익부;노영철
    • 한국레이저가공학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.17-20
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    • 2011
  • We fabricated a multi-layer diffraction grating inside fused silica glass by using a femtosecond laser direct writing method. The femtosecond laser with a wavelength of 515 nm, a pulse width of 250 fs, a repetition rate of 100 kHz, and an average output power of 6 W was used. Two layer diffraction grating with a grating period of $6{\mu}m$ was successfully fabricated with the layer gap of 0.5, 1, 2, 3, and $5{\mu}m$, respectively. Also, we investigated the diffraction pattern by illuminating a He-Ne laser beam. Finally, we demonstrated the diffraction grating with a grating period of $3{\mu}m$ by adjusting the gap of each layer with a grating period of $6{\mu}m$. Femtosecond laser direct writing technology of multi-layer has a potential to fabricate the diffraction grating with a grating period of below $1.5{\mu}m$.

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주파수 위상 간섭계를 이용한 펨토초 레이저 펄스의 시간적 특성 연구 (Temporal Characterization of Femtosecond Laser Pulses using Spectral Phase Interferometry for Direct Electric-field Reconstruction)

  • 강용훈;홍경한;남창희
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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    • pp.240-241
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    • 2001
  • 주파수 위상 간섭계를 이용한 전기장 재구성 방법(SPIDER)은 현재의 전자장치로 분해 해낼 수 없는 짧은 펄스의 시간적 특성을 광학적 방법을 사용하여 분해 해내는 기술이며, 다음과 같은 순서로 시간 영역의 펄스를 재구성한다 : 1)주파수 간섭계(spectral inteferometry)를 사용하여 일정한 시간지연을 갖는 동일한 펄스 쌍을 만든다. 2)분산이 큰 물질(highly dispersive material)이나 에돌이 발 쌍(pairs of gratings)을 사용하여 크게 chirping되며 200배 전후로 펄스폭을 늘인 펄스를 생성한다. (중략)

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