• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.92-92
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• 2012

최근 반도체 산업 경기의 활황에 따라 반도체 생산 설비 또한 꾸준히 증설되어가는 추세이며 고진공 펌프의 수요 또한 점차적으로 증가하고 있는 현실이다. 하지만, 국내 기술의 부족으로 고진공 펌프는 대부분 해외로부터의 수입에 의존하고 있다. 반도체 생산 설비는 매우 보수적인 설비로써 새로 개발되는 고진공 펌프가 반도체 생산 설비에 사용되기 위해서는 원천기술, 상품화 기술 및 신뢰성 기술을 확보해야 하며, 특히 한미/한일/한-EU FTA 등에 대비하여 제품의 국산화가 시급한 실정이다. 이에 고진공펌프의 수입이 급증할 것으로 예상되어 국내 진공업체에서도 크라이오펌프의 개발이 진행되고 있다. 본 연구에서는 지식경제부 제조기반 산업원천기술개발사업에 주관기관으로 수행하여 한국기계연구원 및 한국원자력연구원과 급속재생형 저진동 크라이오펌프의 기술 개발을 통해 전량 수입하는 크라이오펌프를 국산화를 도모 하고자 한다. 크라이오펌프의 주요 생산업체는 미국기업의 CTI사이며, 상품화 기술의 성능 확보를 위한 CTI사의 GM 극저온 냉동기와 현재 개발 및 상용화 준비를 하는 극저온 맥동관 냉동기에 대해 성능평가 지표를 제시하며, 신뢰성 확보를 위한 한국과학기술원 나노종합팹센터의 스퍼터 공정장비에 대한 CTI사 크라이오펌프와 상용화를 위한 개발품의 공정 현장시험에 대해 소개하고자 한다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2011.12b
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• pp.521-524
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• 2011

본 논문에서는 냉간단조된 연료펌프와 다이캐스팅된 연료펌프에 대한 성능 실험을 수행하였다. 수행결과 냉간단조와 다이캐스팅으로 가공된 하부하우징으로 제작된 연료펌프는 회전수마다 미미한 차이를 보이지만, 전체적으로 동등한 성능을 보이고 있다.

• Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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• 1995.05a
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• pp.94-99
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• 1995

본 연구는 태양열 열펌프시스템에 의한 약 6평 규모의 실내의 난방방법으로서 간접 난방인 온수순환난방과 직접난방인 복사난방의 성능을 분석하였다. 태양열 열펌프의 최대의 열적성능을 나타낼 수 있도록 알루미늄 롤 본드형 태양열 집열기의 면적을 조절하였으며 집열효과를 극대화하기 위하여 온도감응 자동팽창밸브의 용량을 변화시켰다. 본 실험에서 적용된 태양열 열펌프 난방은 서울지방 봄 가을철의 외기온도에서 실내온도가 18~2$0^{\circ}C$로 유지되도록 설계제작되었다. 태양열 열펌프시스템에 적용된 작용유체는 온수순환 난방에는 R-12냉매. 그 대체냉매는 R-134a 및 혼합냉매, 복사난방에는 R-22냉매이었다.

• The Magazine of the Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea
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• v.29 no.9
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• pp.38-45
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• 2000

펌프 및 송풍기의 성능시험방법은 한국산업규격 등에 상세히 나타나 있으나 실제 현장에 설치된 기기는 규격에서 정한 시험조건과 차이가 많아 성능을 평가하는데 애로가 있다. 여기에서는 현장에서 수행 가능한 성능평가방법을 소개하고자 한다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.34 no.2
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• pp.105-111
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• 2010

Two types of electro-osmotic pumps were prepared: with anodized and DRIE porous silicon. The pump performance was characterized for both types in terms of flow rate and flow rate per current using organic solvents. Both types of electro-osmotic pumps showed a better performance compared to porous glass electro-osmotic pumps. The DRIE porous silicon electro-osmotic pump especially demonstrated an excellent flow rate and flow rate per current performance. The DRIE porous silicon electro-osmotic pump is expected to help in the development of electro-osmotic pumps and micropumps in general due to the recently widespread availability of DRIE processes.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.38 no.2
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• pp.147-153
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• 2014

This study was performed to evaluate the effect of surface roughness on pump performance. To this end this, using commercial codes, ANSYS CFX and BladeGen, we simulated pump performance in terms of efficiency, head and shaft power, both with and without surface roughness. Finally simulation and experiment results were compared for a quantitative analysis. The results of this comparison showed that surface roughness led to an about 7% reduction in pump efficiency.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.37 no.11
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• pp.1031-1036
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• 2013

The motor-driven water pump boiler for a water circulating mattress generates noise and vibration as it supplies a large water flow rate. A non-pump boiler can reduce such noise and vibration, however, the water circulation flow rate becomes lesser than that in motor-driven water pump boilers, and a large temperature deviation occurs between the inlet and the outlet of the mattress. In this research, a new non-pump boiler for water circulating mattress is developed and its performance is experimentally validated and compared with the existing non-pump boilers. The experimental results show that temperature response time is improved and temperature deviation is reduced.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.12 no.2
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• pp.79-85
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• 2003

Experimental investigations are performed for the rarefied gas flows in a multi-stage disk-type drag pump. The pump considered in the present study consists of grooved rotors and stators. The flow-meter method is adopted to calculate the pumping speed. Compression ratios and pumping speeds for the nitrogen gas are measured under the outlet pressure range of 0.13∼533 Pa. The present experimental data show the leak-limited value of the compression ratio in the molecular transition region. The rotational speed of the pump is 24,000rpm, and nitrogen is used as a test gas. The pumping characteristics of various drag pumps are performed. The inlet pressures are measured for various outlet pressures of the test pump. The ultimate pressures for zero throughput are measured for three-stage, two-stage and single-stage disk-type, respectively.

• 유체기계공업학회:학술대회논문집
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• 2004.12a
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• pp.655-659
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• 2004

Performance tests of the fuel pump for a turbopump unit have been successfully carried out in water environment. The tests are performed to evaluate the hydraulic and cavitation performances. The head and volute pressure distribution of the fuel pump followed the conventional similarity rule - unlike this, the secondary passage pressure distribution showed a small deviation from the conventional similarity rule. Also, critical cavitation number decreased as the rotational speed of the pump increased.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.97-97
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• 2012

반도체 및 디스플레이 공정등에서 고진공 및 급 배기 환경을 제공하기 위하여 사용되는 터보분자펌프 (Turbomolecular Pump, TMP)는 다층의 회전깃을 갖는 로터를 회전시켜 분자를 배출시키는 방식을 사용하는 진공펌프이다. 또한 최근에는 디스플레이 및 반도체 공정에서 높은 진공도뿐만 아니라, 높은 배기속도를 요구하는 추세에 따라, 터보 펌프와 드래그 펌프부분을 동시에 가지고 있어 상대적으로 작동 진공도 영역이 넓은 복합 분자펌프(Compound Turbomolecular Pump, CMP)의 활용도가 넓어지고 있다. 이러한 분자펌프가 장시간의 고속회전에 적합하고, 베어링에서의 오염을 없앨 수 있는 비접촉 방식인 자기부상 방식이 주로 적용된다. 자기베어링 시스템은 하드웨어와 소프트웨어로 나누어질 수 있는데, 하드웨어는 회전하게 되는 블레이드 로터 및 자기베어링 로터, 모터 로터 등이 포함된 축과 고정되어 있는 자기베어링 코어와 코일, 변위센서 등의 펌프 하우징 부분, 또한 이를 제어하기 위한 전력 증폭 시스템 등의 기전적인 요소들이 이루어져 있다. 소프트웨어라 할 수 있는 제어시스템에 있어서 자기 베어링이 불안정한 특성을 갖는 개루프계를 갖고 있으므로 안정화를 위한 능동제어 시스템이 필수적이며 진동제어 등의 기능을 갖도록 적용된다. 따라서 이러한 복합분자펌프의 성능은 이러한 시스템을 구성하는 개별 요소의 성능과 이를 통합한 제어시스템의 성능이 결정한다고 할 수 있다. 본 논문에서는 현재 개발중인 2,500 l/s급의 자기부상형 고진공 복합분자펌프의 시작품에 대하여 고속회전의 안정성에 대한 연구를 수행한 내용을 보고하고 있다. 디지털 제어시스템을 적용한 시작품의 최대 26,000 rpm까지의 고속회전시의 회전 응답 및 진동 특성을 측정 분석하였으며, 로터의 고유진동수 및 진동 모우드를 분석하였다. 또한 연속 작동시의 발열특성과 각 부분의 온도와 회전 안정성과의 관계를 평가하였다.