For evaluation of durability of low vacuum pumps, it is required to examine the performance and degradation of low vacuum pumps. Pump degradation may result from abnormalities associated with the performance in many areas of pump operation. The diagnostics method can be used to monitor the pump performance in the semi-conductor process line. Based on the mechanical defect of the pump, the dynamic response and reliability of the system for performance test, and the dynamic characteristics of the pump were experimentally assessed. The theoretical work rate for the compression process in the pump was calculated, and then the efficiency of the pump associated with the power consumption was evaluated. This analysis will be useful in detecting pump degradation with increasing the power consumption. To determine the predominant factors of pump degradation, it is important to evaluate the entire pumping system. We studied vibration, dynamic pressure, pumping speed, and power consumption of low vacuum pumps. Our results can be utilized for the future research on the evaluating technology of durability of low vacuum pumps.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.34
no.8
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pp.1059-1065
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2010
An analysis was conducted to predict the hydraulic performance of a reactor coolant pump (RCP) of SMART at the off-design as well as design points. In order to reduce the analysis time efficiently, a single passage containing an impeller and a diffuser was considered as the computational domain. A stage scheme was used to perform a circumferential averaging of the flux on the impeller-diffuser interface. The pressure difference between the inlet and outlet of the pump was determined and was used to compute the head, efficiency, and break horse power (BHP) of a scaled-down model under conditions of steady-state incompressible flow. The predicted curves of the hydraulic performance of an RCP were similar to the typical characteristic curves of a conventional mixed-flow pump. The complex internal fluid flow of a pump, including the internal recirculation loss due to reverse flow, was observed at a low flow rate.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.08a
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pp.11-11
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2010
고도의 진공 환경을 요구하는 반도체 생산 라인에 적용되는 고진공 펌프는 주로 복합 분자펌프와 크라이오 펌프가 사용되고 있다. 이 중 크라이오 펌프는 극저온으로 냉각되는 냉각판에 기체 분자를 응축 또는 흡착시켜 기체를 제거하는 방식으로 복합 분자 펌프로 무게가 가볍고 증발 온도가 낮은 네온, 수소, 헬륨 기체 제거에 장점이 있다. 본 연구에서는 현재 상용화된 크라이오 펌프에 적용되는 GM 극저온 냉동기를 대체하기 위한 2단 GM형 맥동관 냉동기를 개발하여 기초 성능 시험을 수행하였다. 1단과 2단 모두 U-자형 형상으로 제작되었으며, 압력과 질량 유동 사이의 위상 조절을 위하여 오리피스 밸브와 이중 유입 밸브를 사용하였다. 개발된 맥동관 냉동기의 냉각 성능 목표는 1단(80 K)과 2단(20 K)에서 각각 45 W와 5 W이다. 기초 시험에서는 위상 조절용 밸브들의 개도와 작동 조건에 대한 냉각 특성과 부하 특성 시험을 수행하였다. 특히, 본 연구에서는 로터리 밸브 및 위상 조절 기구의 배치로 인해 고온부 형상이 복잡한 맥동관 냉동기를 크라이오 펌프로의 적용 편의성을 위하여 고온부 외형 구조를 단순화하였으며, 개발된 맥동관 냉동기와 기존에 크라이오 펌프에 적용되는 GM 극저온 냉동기를 비교, 고찰하였다.
Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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v.34
no.6
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pp.35-41
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2006
In this paper, we focus on improving the performance of the piezoelectric diaphragms of valveless micropumps. A circular lightweight piezoelectric composite actuator (LIPCA) with a high level of displacement and output force has been developed for piezoelectrically actuated micropumps. We used numerical and experimental methods to analyze the characteristics of the actuator to select optimal design. With the developed circular LIPCA, we fabricated a valveless micropump by photo-lithography and PDMS molding techniques. The displacement of the diaphragm, the flow rate and the back pressure of the micropump were evaluated and discussed. With a semi-empirical method, the flow rate with respect to driving frequency was predicted and compared with experimental one. The test results confirm that the circular LIPCA is a promising candidate for micropump application and can be used as a substitute for a conventional piezoelectric actuator diaphragm.
Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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v.37
no.8
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pp.805-811
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2009
An oxidizer pump of a turbopump for a 30-ton class gas generator cycle engine was tested in the medium of liquid oxygen. The turbine was driven by cold hydrogen gas in the test. The oxidizer pump was operated stably at both design and off-design conditions, satisfying the performance requirements. The pump head coefficient from the liquid oxygen test was 2~3% lower than that from the water test. The power required to run the oxidizer pump was well balanced with the power produced by the turbine.
하수 처리장에 사용되는 펌프는 엄격한 사양 및 성능 보장이 필요하므로 펌프 효율이 높아야 하며, 실적에 의한 사양 제시, 엄격한 검사 제도 및 기준이 이루어져야 한다. 그러나 현재로서는 국내에서 설계 제작면에서 경험과 실적이 부족하나 앞으로 많은 하수처리장에서 펌프가 소요 되며, 상수도용 펌프와 비교할 때 중소형의 경우에는 고가인 것을 감안하면 볼류트형(volute type)의 슬러지 펌프는 상수용 펌프에서의 경험을 바탕으로 기술 개발에 힘을 기울이고 전무제 작자를 육성하여 기술 축적 및 적절한 설비가 구비되도록 하여 실질적인 품질보증이 이루어지 도록 하여야 한다. 또한 특수펌프인 프로그레싱 캐비티 펌프나 스크류우 펌프에 대하여는 경 험이 부족하므로 프로그레싱 캐비티 펌프의 경우 로우터(rotor)와 스테이터(stator)를 수입하여 조립하거나 스크류유 펌프의 경우 기술 제휴를 통한 기술 개발을 이룩하는 방법을 택할 수도 있을 것이다. 현재 중소제작소에서 일부 기종에 대하여 외국인에 의한 중소기업진흥공단 주관의 단기간 기술지도를 받고 있으나 이에 대한 기술개발을 위하여는 전문기관과 장기적인 기술협력과 기술양성에 대한 투자가 이루어지고 전문업체가 육성되어야 할 것이나 이로서 중요 설비인 펌 프의 국산화가 조기에 달성되고 외화절약 및 기술정착이 이루어질 것이다.
The cryopump of the pulse tube type has been developed successfully, and manufacturing of a prototype pump is finished under leading of Woosung Vacuum. The target pumping speed of the prototype pump is above 3,600 L/s for nitrogen with the intake port of 14 inches I.D (16 inches O.D). For designing optimally the pump structure including the charcoal array, thermal shield, and baffle, the pumping speed was simulated for various configurations through Monte Carlo method. Pumping performances of the protype cryopump manufactured on the basis of optimal design were conformed experimentally with a standard test system and procedures. The measured $N_2$ pumping speed of the prototype cryopump was 4,600 L/s which agreed well with simulated one and exceeded the target value.
Kim, Jeong-Hun;Kim, Jang-Huan;Kim, Kyong-Ha;Lee, Byung-Doo;Shin, Jae-Youn
Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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2011.11a
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pp.426-429
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2011
산불 발생 시 진화를 위해 사용되는 주력 지상 진화장비 중 동력펌프 2종과 진화 차량을 대상으로 수원지로부터 발화 지점까지 진화거리에 따른 주요 성능을 측정하였다. 성능 측정은 분당 토출량, 토출 최대압력, 수평 분사거리, 수직 분사거리의 4개 항목이었으며, 노즐의 종류에 따른 영향을 동시에 고려하였다. 산불 진화 시 적정 거리를 측정한 결과 소형펌프의 경우 600m, 중형펌프의 경우 800~1000m 정도인 것으로 나타났다. 또한 분당 토출량은 3가지 펌프 모두 50m에서 1000m로 연결할 경우 52~62% 감소가 일어나며, 최대 토출압력은 26~30% 상승되어 부하 발생시 고압호스의 파손 우려도 있는 것을 알 수 있었다. 실험을 통해 소형펌프의 경우는 주 산불진화에 적합하지 않으며, 중형펌프의 경우 고압호스의 성능에 따라서 1000m이상의 거리에서도 사용이 가능할 것으로 사료된다.
펌프는 최근 산업의 급속한 발달로 성능, 재질, 구조 등 여러 면에서 새로운 기술을 가미한 각종 펌프가 개발되어 여러 산업분야나 공공사업에 쓰이고 있다. 따라서 펌프계획시나 사용시 여러가지 경우에 대하여 검토하므로써 보다 경제적인 계획을 할 수 있으므로 다음과 같이 주로 물을 취급하는 펌프에 대한 기초적인 이론 및 경제성에 대하여 고찰해 보기로 한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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