Operating Characteristics of Low Vacuum Pumps

For evaluation of durability of low vacuum pumps, it is required to examine the performance and degradation of low vacuum pumps. Pump degradation may result from abnormalities associated with the performance in many areas of pump operation. The diagnostics method can be used to monitor the pump performance in the semi-conductor process line. Based on the mechanical defect of the pump, the dynamic response and reliability of the system for performance test, and the dynamic characteristics of the pump were experimentally assessed. The theoretical work rate for the compression process in the pump was calculated, and then the efficiency of the pump associated with the power consumption was evaluated. This analysis will be useful in detecting pump degradation with increasing the power consumption. To determine the predominant factors of pump degradation, it is important to evaluate the entire pumping system. We studied vibration, dynamic pressure, pumping speed, and power consumption of low vacuum pumps. Our results can be utilized for the future research on the evaluating technology of durability of low vacuum pumps.

저진공 펌프의 운전 특성

저진공펌프의 내구성평가와 관련하여 펌프의 성능이나 상태의 저하에 관한 기술적 근거를 확보함으로써 펌프의 운전상태를 진단할 수 있는 기초기술을 확보할 수 있으며, 이는 진공펌프의 기계적 결함 및 성능평가 장치의 동적 응답과 신뢰도 구축에 중점을 두고 신호 분석을 통하여 실험적으로 기계적인 동적 특성을 확인하는 과정을 통하여 수행할 수 있다. 저진공펌프의 압축일에 소요되는 전력을 이론적으로 규명하고 펌프의 압축일을 계산하였으며, 소비전력에 대한 진공펌프의 에너지 효율을 예측하여 펌프 노화에 따르는 소비전력의 증가 원인을 규명하는 자료로 활용할 수 있다. 또한 저진공펌프의 가동 중에 측정한 진동, 압력신호, 배기속도 및 소비전력을 측정하고 분석하여 펌프 운전상태를 감시하는데 매우 유용한 인자가 무엇인지 확인하였으며 추후 연구의 방향과 내구성평가의 기초기술을 확보하였다.