• 제목/요약/키워드: 특성선 방법

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Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Film from Ru (cymene) (1,5-hexadiene) and O2

  • 정효준;정은애;한정환;박보근;이선숙;황진하;김창균;안기석;정택모
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.357.2-357.2
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    • 2014
  • Ruthenium (Ru) 박막은 우수한 화학적 열적 안정성 및 높은 일함수(4.7eV) 특성으로 인해 20 nm급 이하의 차세대 DRAM capacitor의 전극 물질 및 Cu metalization을 위한 seed layer로 각광을 받고 있다. Ru박막의 나노스케일 정보전자소자로의 적용을 위해서는 두께제어가 용이하고 3D 구조에서 우수한 단차 피복 특성을 갖는 atomic layer deposition (ALD)을 이용한 박막 형성이 필수적이다. 이에 본 연구에서는 ALD 방법을 이용하여 0가의(cymene) (1,5-hexadiene) Ru (0) (C16H24Ru) 전구체를 합성, ALD 방법을 이용하여 우수한 초기성장거동을 갖는 Ru 박막을 증착 하였다. 형성된 Ru 박막의 표면 형상, 두께, 밀도를 주사전자현미경(Scanning electron microscopy)과 X-선 반사율 측정(X-ray reflectometer)으로 조사하였다. 또한 전기적 특성을 4침법(four-point-probe)으로 측정하였고, 박막의 화학적 조성과 결정성의 정보를 X-선 광전자분광법(X-ray photoelectron spectroscopy)과 X-선 회절(X-ray diffraction)을 이용하여 확인하였다.

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유전알고리듬을 이용한 차동신호선의 등가회로 모델링 (A Modeling for Equivalent Circuit of Bent Differential Structures using Genetic Algorithm)

  • 변용기;박종강;김종태
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제20권6호
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    • pp.81-86
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    • 2006
  • 회로 전송선 배선 시 신호선은 직선의 형태와 방향을 바꾸기 위한 구부러지는 형태를 가진다. 차동 신호선의 정확한 등가회로는 이러한 전송선 구조의 시 공간 영역에서의 신호적 특성과 인접 신호선들 간의 영향을 평가할 수 있게 해준다. 이를 위해 기존의 몇 몇 CAD Tool들이 등가 회로 모델과 그 파라미터 값들을 추출 해주기도 하지만, 이는 큰 연산량과 시간을 요구한다. 본 논문에서는 구부러진 차동 신호선의 등가회로를 모델링하기 위해 기본적 모델인 RLC-모델의 파라미터 값을 유전 알고리듬을 이용하여 추출하는 방법을 제시한다. 본 방법에 의해 더욱 빠르게 물리적 구조를 갖는 차동 신호선의 등가회로를 모델링 할 수 있다.

원형 객체의 기하학적 특성을 이용한 고속 동공 검출 (A Fast Pupil Detection Using Geometric Properties of Circular Objects)

  • 곽노윤
    • 디지털융복합연구
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    • 제11권2호
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    • pp.215-220
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    • 2013
  • 현의 수직이등분선은 원의 중심을 지나고 임의의 두 현의 수직이등분선들의 교점은 중심이라는 것은 잘 알려진 원의 기하학적 특성이다. 본 논문은 홍채 분할을 위해 동공 영역을 검출할 시, 이러한 원의 기하학적 특성을 이용하여 동공의 중심과 반경을 고속으로 검출할 수 있는 고속 동공 검출 방법에 관한 것이다. 제안된 방법은 인간의 안구 영상에서 수리 형태학 연산을 통해 동공의 원형 윤곽 후보점들을 추출한 후, 원형 윤곽 상의 네 점을 이용하여 두 개의 현을 구하고 이 두 현의 수직이등분선들 간의 교점을 원의 중심으로 삼음으로써 동공의 중심과 반경을 고속으로 검출할 수 있는 것이 특징이다. 제안된 방법은 안구 영상에서 고속으로 동공의 반경과 중심을 검출할 수 있을 뿐만 아니라 부분적으로 가려진 동공도 검출할 수 있다.

MBE 성장된 InAs 나노선의 열전 물성

  • 전성기;유진;박동우;이상준;송재용
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.470.1-470.1
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    • 2014
  • InAs는 high mobility를 갖는 III-V 화합물 반도체로 최근 InAs 나노선 기반 electronic transport에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한, InAs는 n-type의 중온 영역대의 열전물질로서 나노선이나 나노박막과 같은 저 차원 구조의 열전 특성에 대한 보고가 이루어 지고 있다. 대부분의 InAs 나노선의 성장 방법은 화학기상증착법에 의한 것으로, 상온에서 $100{\mu}V/K$ 이하의 낮은 Seebeck 계수 값을 나타내고 있다. 본 연구는 무촉매 상태에서 MBE (Molecular beam epitaxy) 성장시킨 InAs 나노선의 열전 특성을 측정하였다. MTMP (Microfabricated Thermoelectric measurement platform)를 이용하여 50 K에서 300 K까지의 온도 영역에서 전기전도도, Seebeck 계수의 측정을 진행하였다. 그 결과 Seebeck 계수 값은 상온에서 대략 $200{\mu}V/K$로 높게 나타나고 있으며, 동일한 나노선의 상온 전기전도도는 대략 9800 S/m로 많은 보고들과 비슷한 수준의 수치가 나타나고 있다. Transconductance 측정을 통한 field-effect mobility와 carrier 농도를 평가한 결과가 Mott formula에서 계산된 carrier 농도와 유사한 결과를 나타내었다. 매우 큰 Seebeck 는 carrier 농도가 낮은 것에 기인한 것으로 판단된다.

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휘진성 형광체 (BaFBr:$Eu^{2+}$)를 이용한 영상의학분야에서 산란선 특성에 관한 평가 (Evaluation of Scatter Radiation in Digital Radiological Condition by using Photostimulated Luminescence (BaFBr:$Eu^{2+}$))

  • 민정환;한성규;김정민;이주아;김기원;정회원
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제37권2호
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    • pp.85-91
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    • 2014
  • 본 연구는 휘진성 형광체를 이용하여 디지털 의료영상시스템의 환경에서 산란선에 의한 영상 특성을 연구하였다. 아크릴 팬텀을 사용하여 관전압 (50 kVp부터 120 kVp까지), 조사야($4{\times}4cm^2$부터 $26{\times}26cm^2$까지), 팬텀의 두께 (1 cm부터 25 cm까지)를 각각 변화시켜 실험을 실시하였다. 실험 방법은 영상을 ImageJ와 특성곡선을 사용하여 분석하였다. 관전압은 50 kVp ~ 70 kVp에서는 관전압이 증가하면서 일차선에 대한 산란선의 비율도 증가하지만, 80 kVp부터는 일정한 비율을 나타내었다. 조사야가 증가함에 따라 일차선에 대한 산란선의 비율은 증가한다. 팬텀 두께가 증가함에 따라 산란선이 증가한다.

실리콘 기판 효과를 고려한 VLSI 인터컨넥트의 전송선 파라미터 추출 및 시그널 인테그러티 검증 (Transmission Line Parameter Extraction and Signal Integrity Verification of VLSI Interconnects Under Silicon Substrate Effect)

  • 유한종;어영선
    • 전자공학회논문지C
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    • 제36C권3호
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    • pp.26-34
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    • 1999
  • 실리콘 집적회로 인터컨넥트에서 전송선 파라미터를 추출하는 새로운 방법을 제시하고 이를 실험적으로 고찰 한다. 실리콘 기판 위에 있는 전송선에서의 신호는 PCB (printed circuit board)혹은 MCM (multi-chip module)의 인터컨넥트와 같은 마이크로 스트립 구조에서 가정하는 quasi-TEM 모드가 아니라 slow wave mode (SWM)로 대부분의 에너지가 전송되기 때문에 기판의 효과를 고려하여 전송선 파라미터를 추출한다. 실리콘 기판에서 전계 및 자계의 특성을 고려하여 커패시턴스 파라미터의 계산을 실리콘 표면을 그라운드로 설정하고 계산하고 인덕턴스는 단일 전송선 모델로부터 추출한 실효 유전상수를 도입하여 계산한다. 제안한 전송선 파라미터 추출 방법의 타당성을 검증하기 위하여 테스트 패턴을 제작하여 실험적 파리미터 추출 값이 제시한 방법의 결과와 약 10% 이내에서 일치한다는 것을 보여 계산 방법의 타당성을 입증한다. 또한 고속 샘플링 오실로스코프(TDR/TDT 메터) 측정을 통하여 제시한 방법이 크로스톡 노이즈를 정확히 예측 할 수 있는 반면 흔히 사용하고 있는 기판의 효과를 고려하지 않는 RC 모델 혹은 ? 모델은 약 20∼25% 정도 과소 오차(underestimation error)를 보인다는 것을 보인다.

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3선 3포트 대역통과/대역소거 필터의 해석과 설계 (An Analysis and Design of Three-Line Three Port Bandpass / Bandstop Filter)

  • Jang, Sang-Gun;Chin, Youn-Kang
    • 한국전자파학회지:전자파기술
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    • 제5권2호
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    • pp.39-45
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    • 1994
  • 본 논문에서는 3선 마이크로스트리으로 구성된 3선 3포트 대역통과/대역소거 필터를 해석하는 방법과 설계 예를 제시하였다. 실제로 제작한 대역통과/대역소거 필터의 측정 결과는 이론적인 특성과 잘 일치함을 보였다.

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X-선 산란 잡음 제거 필터의 성능 비교

  • 이후민
    • 대한방사선협회지
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    • 제28권1호
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    • pp.241-241
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    • 2002
  • 영상 데이타는 전송, 검출 및 처리과정에서 여러 잡음에 의해 훼손될 수 있다. 적응성 가중 메디안 필터라는 공간변화 필터를 사용하여 X-선 산란 잡음을 제거하였다. 제안된 필터는 처리 윈도우 내 각 픽셀의 국소 통계치의 변화에 따라 필터의 성능이 변화하여 에너지를 최대한 보존하면서 잡음만을 제거하고자 이러한 국소 통계값에 근거한 적응성 가중 메디안 필터(AWMF)를 제시한다. AWMF를 구현함에 있어 두 가지 방법으로 나뉘는데, 우선 국소 통계의 특성에

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배수량형 초고속선의 선형설계 및 저항특성 추정을 위한 체계적 연구 (Systematic Study on the Hull Form Design and the Resistance Predict Displacement Type Super High - Speed Ships)

  • 민계식;강선형
    • 대한조선학회논문집
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    • 제33권4호
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    • pp.32-47
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    • 1996
  • 배수량형 초고속선의 선형 설계방법 및 최적치수 선정과 저항특성 추정을 위한 체계적인 이론적, 실험적 연구를 수행하였다. 본 연구에서는 먼저 최소저항이론 및 단면변화 선형식에 의한 배수량형 초고속선의 선형 설계 방법을 정립한 후 개발된 방법을 활용하여 주요 설계변수의 체계적인 변화에 따른 60척의 계열선형(series hull form)을 설계하였으며 계열선형에 대한 모형시험을 수행하여 그 결과에 대한 회귀분석을 수행하였다. 초고속선에 대한 이와 같은 체계적인 다목적 연구는 세계 최초라고 생각되며 연구 수행이 성공적으로 완료되어 준비된 전산 프로그램은 배수량형 초고속선 설계를 위한 휼륭한 도구로써 현재 극히 유용하게 활용되고 있다.

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자외선 조사에 의한 PLA 직물의 광가교 (Photo-crosslinking of PLA Fabrics by UV Irradiation)

  • 윤득원;장진호
    • 한국염색가공학회:학술대회논문집
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    • 한국염색가공학회 2011년도 제44차 학술발표회
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    • pp.51-51
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    • 2011
  • PLA(Poly(lactic acid))는 옥수수, 사탕수수와 같은 천연재료에서 얻어진 젖산(lactic acid or lactide)을 원료로 하여 합성한 생분해성 고분자로서 석유자원의 고갈과 환경오염에 대한 관심이 고조됨에 따라 합성고분자를 대체할 재료로 각광받고 있다. 일반적인 PLA의 장점으로 투명성, 굽힘강성, 방수성, 가열밀봉성 등이 있으며, 단점으로는 열안정성, 내구성, 충격 강도 등이 있다. PLA를 섬유로 사용될 경우 농림 토목용 생분해성 소재 뿐 아니라 실크의 광택과 뛰어난 드레이프성, 감촉을 갖는 장점이 있다. 또한 수분을 신속하게 흡수하여 발산시키는 특성을 가지고 있고, 낮은 연소열과 가스량, 자기 소화성 등의 방염 특성 등을 지녀 의류 인테리어 소재로 매력적인 특성을 가지고 있다. PLA는 바이오고분자 중 비교적 높은 용융온도를 가지고 있지만 특히 염색 및 가공조건 등 고온 처리에 의해 기계적 강도가 저하되는 단점이 있어 내열성 및 기계적 강도의 향상이 필수적이다. 내열성 및 기계적 강도 향상을 위한 가장 손쉬운 방법은 고분자 사슬을 가교시키는 것으로서 열처리 또는 감마선, 전자선, 자외선 조사를 이용할 수 있는데 열에 의한 가교는 균일한 열전달과 고온이 필요하며 감마선 및 전자선 조사는 설비의 고비용과 방사성 노출 위험으로 인해 비친환경적이다. 따라서 다루기 쉽고 비용이 적게 들고 친환경적인 장점을 가진 자외선 조사법을 이용한 PLA의 광가교의 연구가 필요하다. 본 연구의 목적은 PLA 직물의 열안정성과 기계적 특성을 향상시키기 위해 광개시제와 자외선 조사를 이용하여 PLA 직물의 광가교를 수행하였다.

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