• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.113-113
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• 2012

플라즈마 내에서 발생하는 입자는 플라즈마 내 전기적 및 화학적 특성으로 인해 응집이 적고 균일한 특성을 가진다. 이에 따라 도포성이 좋으며 낮은 응력을 가지는 박막의 형성이 가능하다. 이러한 특성을 가지는 나노입자는 메모리, 고효율 박막형 태양전지 등에 이용될 수 있다. 특히, PECVD (Plasma enhanced chemical vapor deposition) 공정 중 플라즈마가 켜져있는 동안 수소 가스를 펄스형태로 추가 주입하는 방법은 실리콘 이온 사이의 결합을 통한 표면 성장을 일부 방해하여 이를 통해 최종적으로 생성되는 실리콘 입자의 크기제어를 가능하게 한다. 이러한 과정으로 PECVD내에서 생성된 입자의 입경 분포는 기존의 경우 공정 중 포집을 한 후 전자현미경을 이용하였지만 실시간 측정이 불가능한 한계가 있었고, 레이저를 이용한 실시간 측정은 그 측정범위의 한계로 인해 적용에 어려움이 있었다. 이에 따라 본 연구에서는 저압에서 실시간으로 나노입자 크기분포 측정이 가능한 PBMS (particle beam mass spectrometer)를 이용하여 PECVD 내에서 수소가스 펄스를 이용하여 발생되는 실리콘 입자를 공정 변수별로 측정하여 각 변수에 따른 입자 생성 경향을 분석하였다. 실리콘 나노 입자의 측정은 PBMS 장비의 전단 부분을 PECVD 장치 내부에 연결하여 진행하였다. 수소 가스 펄스를 이용한 실리콘 입자 생성의 주요 변수는 RF pulse, $H_2$ pulse, 가스 유량 (Ar, $SiH_4$, $H_2$), Plasma power, 공정 압력 등이 있다. 이와 같이 주어진 변수들의 제어를 통해 생성된 나노입자의 입경분포를 PBMS에서 실시간으로 측정하고, 동일한 조건에서 포집한 입자를 TEM 분석 결과와 비교하였다. 측정 결과 각각의 변수에 대하여 생성되는 입자의 크기분포 경향을 얻을 수 있었으며, 이는 추후 생성 입자의 응용 분야에 적합한 크기 분포 특성을 가지는 실리콘 입자를 제조하기 위한 조건을 정립하는데 중요한 역할을 할 것을 기대할 수 있다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.12 no.1
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• pp.20-23
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• 2002

The local coercivity distribution of CoCrPt alloy films prepared by dc magnetron sputtering has been investigated by means of a magneto-optical microscope magnetometer (MOMM) capable of simultaneously measuring the local properties on 400 nm spatial resolutions. Serial samples of CoCrPt alloy films were prepared with the Pt composition of a range from 6 to 28 at. %. We find that the local coercivity distribution crosses over from Gaussian to non-Gaussian distribution in CoCrPt alloy films with increasing Pt composition, with increasing trends in the width of the distribution as well as the average local coercivity. Transmission electron microscopy (TEM) studies reveal that our findings are closely correlated with the dependences of the grain size distribution and its average size on Pt concentration.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.38 no.1
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• pp.1-8
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• 2001

선택적 가스분리를 위한 분자체탄소(Molecular Sieve Carbon: MSC)로서의 활용을 위해 제조된 활성탄소섬유의 흡착능과 분자체 특성이 다양한 분자크기를 갖는 가스 흡착실험을 통해 조사되었다. 각 활성화 조건별 세공크기분포와 세공발달 전개과정을 유추함으로서, 세공크기분포의 조절이 가능하게 되었으며 활성탄소섬유의 분자체 탄소로서 활용을 용이하게 할 수 있었다. 800, 85$0^{\circ}C$의 온도로 수증기에 의해 활성화한 활성탄소섬유의 경우 burn-off가 각각 50, 40% 정도를 가진 활성탄소섬유가 비교적 작은 분자크기(0.3~0.4nm)의 흡착질에 대한 분자체 특성을 나타냈다. 또한, 다양한 분자크기의 흡착질을 포함하는 혼합가스의 유속과 흡착온도의 조절로서 원하는 흡착질의 선택적 분리를 위해 활성탄소섬유가 갖는 분자체 특성 향상을 보였다.

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2005.11a
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• pp.94-96
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• 2005

Acetone vapor흡착에서는 활성탄의 BJH 비표면적과 탈착량을 비교했을때 10${\AA}$이하에서는 다층흡착이 일어나며 그 이상의 세공크기에서는 단층 흡착이 일어나는 것으로 판단된다. 동일한 특성을 가진 MEK vapor흡착에서도 활성탄의 BJH 비표면적과 탈착량을 비교했을때 15 ${\AA}$이하에서는 다층흡착이 일어나며 그이상의 세공크기에서는 단층 흡착이 일어나는 것으로 판단된다. 위 실험을 통해 흡착질의 크기와 흡착제의 세공크기 분포에 Knudsen diffusion의 영역을 고려하여 흡착제를 사용하는 것이 좋은 것으로 판단된다.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.7 no.1
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• pp.111-120
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• 1987

A frequency analysis procedure for the multi-year drought severity/magnitude is developed using observed duration-dependent deficit properties. A standardization of the deficit with the decimated monthly deficit statistics and a data pooling procedure are performed to identify the change of mean deficit. The reproductive properties of the Gamma family of distribution for the deficit are utilized to estimate the parameters of drought magnitude and severity. Compounding of these distributions with the duration distribution and an implication of the results for the realtime forecasting are discussed.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.210-210
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• 1999

그리드 전압을 +20V에서 -20V까지 변화시켜 줌을 이용해 확산 영역의 전자의 온도를 2-0.6eV까지 제어할 수 있었으며, 전자 밀도는 1010cm-3 - 1011cm-3, 플라즈마 전위는 3-25V까지 제어할 수 있었다. <그림1>은 실험결과이다. 그 외 전자의 온도는 입력 전력의 주파수 및 크기에는 거의 무관하나 압력에 반비례하였으며, 밀도는 전력의 크기에 비례하고, 압력에 반비례하나, 전력의 주파수에는 무관하였다. 그리드 전압이 20V에서 -20V로 변함에 따라 전자의 온도가 떨어져 높은 에너지를 가진 전자들이 줄어들게 되어 CF3+의 양은 많아지고 CF2+와 CF+의 양은 상대적으로 줄어들어 CF3+와 CF2+ 비는 4-18 CF3+와 CF+ 비는 2-5까지 변화하였으며, 변화모양은 전자 온도에 크게 의존하였다. <그림2>는 결과를 나타낸 것이다. 그 외 CF3+ / CF2+ 와 CF3+ / CF+는 입력 전력의 크기에 반비례하며, 압력, 가스 주입량에 따라서도 이온들의 분포 변하였다. 그러나 입력 전력의 주파수와는 무관하였다. Appearance mass spectrometry를 이용한 결과 CF, CF 중성종의 분포도 그리드 전압에 따라 변하여 그리드 전압이 높은 경우 더 많이 존재하였다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2002.04a
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• pp.39-40
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• 2002

대기 중 초미세입자 (0.1 마이크론 이하)들을 최근 건강 위해성에 대한 연관성이 추정됨에 따라 도시지역 초미세입자에 대한 다각적인 연구의 필요성이 증대하고 있다. 초미세입자들은 전체 질량농토에 대한 그 기여도가 매우 낮아 수 농도와 크기분포에 의하여 보다 잘 표현되지만 도시지역 초미세입자의 수 농도 크기분포에 대한 자료는 아직 부족한 실정이다. (중략)

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1995.05b
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• pp.609-615
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• 1995

Chip machining에 의한 U$_3$Si 분말제조시 절삭가공조건이 분말 입도 분포에 미치는 영향을 조사하기 위하여 U$_3$Si ingot를 선반에서 초경공구를 사용하여 절삭속도 및 이송속도를 변화시키면서 chip을 가공하였고, 가공된 chip의 형상을 광학현미경으로 관찰하고 칩의 크기를 측정하였다. 모든 절삭조건에서 톱니모양의 칩(saw toothed chip)이 형성되었으며, 일정한 절삭속도에서 공구의 이송속도를 변화시켰을 때 이송속도가 증가함에 따라 칩 두께의 증가와 함께 chip segment의 폭도 증가하여 chip segment 의 크기가 뚜렷이 증가함을 보였다. 또한 chip segment의 크기는 절삭속도 보다는 공구의 이송속도에 크게 영향을 받는 것을 알 수 있었고 분말의 입도 분포에도 크게 영향을 미치는 것으로 나타났다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.7 no.4
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• pp.186-190
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• 1997

We measured an anisotropy inhomogeniety and dispersion of rf sputterd permalloy thin films by TBP(Transverse Biased Permeability) measurement method. Angular distribution function had a shape similar to the Lorentzian distribution, but magnitude distribution function deviates from the sysmetric Lorentzian distribution because of long tail to the region of a high Hk value. With increasing film thickness, the angular and magnitude anisotropy dispersion increased. The increase of angular dispersion was due to both the increase of grain size and local anisotropy in thicker films.

• Analytical Science and Technology
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• v.24 no.4
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• pp.249-255
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• 2011

Swelling of starch granules by water-sorption causes a progressive or sometimes abrupt change in sorption behavior as a result of structural alterations and the possible exposure of new sites with high affinity for water. It is thus of interest to examine the time-dependent change in the size or shape of the starch granules. Gravitational field-flow fractionation (GrFFF) utilizes the earth's gravity as the external field, and is useful for separation of micron-sized particles with larger particles eluting earlier than smaller ones. In this study, GrFFF was used to monitor the swelling of two starch granules, potato starch and sweet potato starch during contact time of 11-12 days at room temperature in water. Results from GrFFF were compared with those obtained from optical microscope (OM). For both starch granules, the mean sizes were increased with time spent in water.