• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.162-162
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• 1999

초고주파 집적회로의 핵심소자로 각광을 받고 있는 GaAs MESFET(MEtal-emiconductor)은 게이트 형성 공정이 가장 중요하며, WNx 내화금속을 이용한 planar 게이트 구조의 경우 임계전압(Vth:threshold voltage)의 균일도가 우수할 뿐만 아니라 특히 Side-wall을 이용한 self-align 게이트는 소오스 저항을 줄일 수 있어 고성능의 소자 제작을 가능하게 한다.(1) 본 연구의 핵심이 되는 Side-wall을 형성하기 위하여 PECVD법에 의한 SiOx 박막을 증착하고, 건식식각법을 이용하여 SiOx side-wall을 형성하였다. 이 공정을 이용하여 소오스 저항이 낮고 임계전압의 균일도가 우수한 고성능의 self-aligned gate MESFET을 제작하였다. 3inch GaAs 기판상에 이온주입법에 의한 채널 형성, d.c. 스퍼터링법에 의한 WNx 증착, PECVD법에 의한 SiOx 증착, MERIE(Magnetic Enhanced Reactive Ion Etcing)에 의한 Side-wall 형성, LDD(Lightly Doped Drain)와 N+ 이온주입, 그리고 RTA(Rapid Thermal Annealing)를 사용하여 활성화 공정을 수행하였다. 채널은 40keV, 4312/cm2로, LDD는 50keV, 8e12/cm2로 이온주입하였고, 4000A의 SiOx를 증착한 후 2500A의 Side-wall을 형성하였다. 옴익 접촉은 AuGe/Ni/Au 합금을 이용하였고, 소자의 최종 Passivation은 SiNx 박막을 이용하였다. 제작된 소자의 전기적 특성은 hp4145B parameter analyzer를 이용한 전압-전류 측정을 통하여 평가하였다. Side-wall 형성은 0.3$\mu\textrm{m}$ 이상의 패턴크기에서 수직으로 잘 형성되었고, 본 연궁에서는 게이트 길이가 0.5$\mu\textrm{m}$인 MESFET을 제작하였다. d.c. 특성 측정 결과 Vds=2.0V에서 임계전압은 -0.78V, 트랜스컨덕턴스는 354mS/mm, 그리고 포화전류는 171mA/mm로 평가되었다. 특히 본 연구에서 개발된 트랜지스터의 게이트 전압 변화에 따른 균일한 트랜스 컨덕턴스의 특성은 RF 소자로 사용할 때 마이크로 웨이브의 왜곡특성을 없애주기 때문에 균일한 신호의 전달을 가능하게 한다. 0.5$\mu\textrm{m}$$\times$100$\mu\textrm{m}$ 게이트 MESFET을 이용한 S-parameter 측정과 Curve fitting 으로부터 차단주파수 fT는 40GHz 이상으로 평가되었고, 특히 균일한 트랜스컨덕턴스의 경향과 함께 차단주파수 역시 게이트 바이어스, 즉 소오스-드레스인 전류의 변화에 따라 균일한 값을 보였다. 본 연구에서 개발된 Side-wall 공정은 게이트 길이가 0.3$\mu\textrm{m}$까지 작은 경우에도 사용가능하며, WNx self-align gate MEESFET은 낮은 소오스저항, 균일한 임계전압 특성, 그리고 높고 균일한 트랜스 컨덕턴스 특성으로 HHP(Hend-Held Phone) 및 PCS(Personal communication System)와 같은 이동 통신용 단말기의 MMICs(Monolithic Microwave Integrates Circuits)의 제작에 활용될 것으로 기대된다.

• Geophysics and Geophysical Exploration
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• v.8 no.4
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• pp.251-261
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• 2005

The quality of MT (magnetotellurics) data highly depends on the level of artificial noise form industrial sources. We have conducted the feasibility study of MT noise modelling using digital spatial data and spatial modelling through the comparison between the predicted and the measured MT noises. A simple noise model predicting the intensity of electromagnetic field radiated from the latent noise sources, that is, the electric facilities in the building, road and high-voltage powerline, is developed in consideration of the propagation property of electromagnetic waves. From the analysis of correlation between the predicted and the measured noise power, the correlation coefficients of electric field are higher than those of magnetic field in whole frequency band. The magnetic field component has the high correlation in the narrow band near 60 Hz only. The spatial noise modelling proposed in this study would provide some useful informations for the MT surveys in the noisy environment like urban area.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.48 no.10
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• pp.39-45
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• 2011

This paper proposes a low power current-steering 10-bit DAC selecting clock enable signal. The proposed DAC reduces the clock power by cutting the clock signal to the current-source cells in wihich the data will not be changed. The proposed DAC was implemented using a 0.13${\mu}m$ CMOS process with $V_{DD}=1.2V$. Its core area is 0.21$mm^2$. It consumes 4.46mW at 1MHz signal frequency and 200MHz sampling rate. The clock power is reduced to 30.9% and 36.2% of a conventional DAC at 1.25MHz and 10MHz signal frequencies, respectively. The measured SFDRs are 72.8dB and 56.1dB at 1MHz and 50MHz signal frequencies, respectively.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.28 no.1
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• pp.55-60
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• 2021

In order to produce wearable displays with high adhesion while maintaining flexible characteristics, the adhesive method using electro plating method was carried out. Laser lift-off (LLO) transcription was also used to remove sapphire substrates from LEDs bonded to fibers. Afterwards, the SEM and EDS data of the sample, which conducted the adhesion method using electro plating, confirmed that copper actually grows through the lattice of the fiber fabric to secure the light source and fiber. The adhesion characteristics of copper were checked using Universal testing machine (UTM). After plating adhesion, the characteristics of the LLO transcription process completed and the LED without the transcription process were compared using probe station. The electroluminescence (EL) according to the enhanced current was measured to check the characteristics of the light source after the process. As the current increases, the temperature rises and the bandgap decreases, so it was confirmed that the spectrum shifted. In addition, the change in the electrical characteristics of the samples according to the radius change is confirmed using probe station. The radius strain also had mechanical strength that copper could withstand bending stress, so the Vf variation was measured below 6%. Based on these results, it is expected that it will be applied to batteries, catalysts, and solar cells that require flexibility as well as wearable displays, contributing to the development of wearable devices.

• Progress in Medical Physics
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• v.17 no.2
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• pp.89-95
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• 2006

The purpose of this study was to evaluate the radiation doses during CT transmission scan by changing tube voltage and tube current, and to estimate the radiation dose during our clinical whole body $^{137}Cs$ transmission scan and high quality CT scan. Radiation doses were evaluated for Philips GEMINI 16 slices PET/CT system. Radiation dose was measured with standard CTDI head and body phantoms in a variety of CT tube voltage and tube current. A pencil ionization chamber with an active length of 100 mm and electrometer were used for radiation dose measurement. The measurement is carried out at the free-in-air, at the center, and at the periphery. The averaged absorbed dose was calculated by the weighted CTDI ($CTDI_w=1/3CTDI_{100,c}+2/3CTDI_{100,p}$) and then equivalent dose were calculated with $CTDI_w$. Specific organ dose was measured with our clinical whole body $^{137}Cs$ transmission scan and high quality CT scan using Alderson phantom and TLDs. The TLDs used for measurements were selected for an accuracy of ${\pm}5%$ and calibrated in 10 MeV X-ray radiation field. The organ or tissue was selected by the recommendations of ICRP 60. The radiation dose during CT scan is affected by the tube voltage and the tube current. The effective dose for $^{137}Cs$ transmission scan and high qualify CT scan are 0.14 mSv and 29.49 mSv, respectively. Radiation dose during transmission scan in the PET/CT system can measure using CTDI phantom with ionization chamber and anthropomorphic phantom with TLDs. further study need to be peformed to find optimal PET/CT acquisition protocols for reducing the patient exposure with same image qualify.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.11 no.6
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• pp.441-446
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• 2000

Wigner functions and density matrices are computer simulated for various quantum mechanical states of light. Wigner function and density matrices are evaluated by filtered back projection which includes inverse Radon transform from the distribution function of the photocurrents, which are calculated in the balanced homodyne detection scheme. The density matrix is also directly obtained by using the pattern function from the simulated phase independent photocurrent distribution function. ction.

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2004.06a
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• pp.333-333
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• 2004

고온의 용융염 매질에서 전해 정련 또는 전해제련에 의해 원하는 물질을 회수하기 위한 공정에 있어서 정확한 산화/환원 전위 측정 및 안정된 전위를 인가하기 위해서는 재현성과 내구성이 확보된 기준 전극이 필요하다. 용융염 매질에서 많이 사용되는 기준 전극은 Ag/AgCl 전극으로서 온도 사이클에 대한 전위의 히스테리시스가 작고 고온에서도 전위가 안정하다. Ag/AgCl 기준전극으로 pyrex 봉 하단부를 수 마이크론 두께의 pyrex 박막으로 제작된 것은 고온 용융염에 접촉시 열 충격, 전극류와 충돌에 의한 물리적 취약성 및 고온의 용융염에 의한 부식과 같은 단점이 있다.(중략)

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.2107-2108
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• 2011

전력계통의 절연설계에 있어 뇌과전압을 정확하게 측정하고 분석하는 것은 매우 중요하다 할 수 있다. 유도뢰 해석의 일환인 수치해석은 계산식을 기반으로 유도뢰 차폐효과에 대해 해석이 가능하나 이러한 수치적 해석은 선로정수, 뇌격전류의 크기 또는 접지저항 값이 변경되었을 경우 재계산을 하는데 다소 복잡한 과정을 거쳐야하기 때문에 이를 일괄적으로 처리할 수 있는 프로그램의 개발 필요성이 대두되었다. 이에 유도뢰 차폐효과 계산 프로그램을 MATLAB을 사용하여 개발하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2005.07d
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• pp.2953-2955
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• 2005

생체전자기 역문제는 신체 외부에서 측정된 신호로부터 신체 내의 활동 전류원을 추정하기 위한 일종의 제한된 최적화 문제로써 목적함수가 수많은 국부해를 가지며, 또한 미분이 항상 가능하지도 않다는 단점을 가진다. 따라서 본 논문에서는 구현이 단순하고, 미분 값을 필요로 하지 않는 패턴 탐색 알고리즘을 사용하고, 비교적 계산 시간이 많이 소요되는 탐색 과정을 병렬화 하는 방법을 제안하였다. 그리고 생체 전자기 역문제에 적용하여 기존의 방식보다 더 빠르고 정확한 해를 얻음을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2006.05a
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• pp.63-65
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• 2006

A electrical fault is defined as any abnormal condition caused by a reduction in the insulation strength. To define the potential risk of the electric installation, measurement of leakage current has been getting considered, but because the measured leakage current value also contained leakage current by capacitance, the measured value could not be adapted to absolute reference to the installation. Therefore, in this paper, the correlation between the condition of electric installation and leakage current were analyzed. The result focuses on to detect them in a cost efficient way.