• 제목/요약/키워드: 측정값

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공정 플라즈마에서 실시간 유전박막두께 측정법의 보상연구

  • 이영호;최익진;김유신;장성호;정진욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.442-442
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    • 2010
  • 공정 플라즈마 장치에서 이중 주파수법을 이용하여 실시간 유전박막 두께 측정법에 대한 보상연구를 하였다. 이중 주파수법은 유전박막과 플라즈마 쉬스를 간단한 전기적인 등가회로로 모델링하여 유전박막의 두께를 측정하는 방법이다. 이중 주파수법의 문제는 측정탐침의 인가전압에 따른 유전박막의 두께 측정치가 다르다는 점이다. 플라즈마 쉬스를 선형 저항만으로 등가하였기 때문에, 쉬스의 인가전압에 상관없이 쉬스 저항의 값이 일정하다는 가정이 존재한다. 그러나 쉬스 저항은 쉬스의 인가전압에 종속적이면서 비선형적인 특성을 갖는다. 측정 탐침에 출력 전압이 인가될 때 쉬스 양단에서 인가전압에 따른 쉬스의 등가저항의 비선형성을 고려하여 측정 탐침에 증착된 유전박막의 커패시턴스성분에 대한 방정식을 Numerical analysis로 풀어 유전박막의 두께 측정값을 보상하였다. 보상된 위의 방법으로 다양한 RF파워, 압력에 따라 $Al_2O_3$박막의 두께를 실시간으로 측정하여 비교하였다. 그 결과 이 방법은 낮은 플라즈마 밀도(${\sim}10^9cm^{-3}$)에서도 인가전압에 따른 유전 박막두께측정의 오차를 줄일 수 있었다.

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방사성탄소연대측정법의 불확실성에 대한 베이지안 분석 (Bayesian Analysis for Uncertainty of Radiocarbon Dating)

  • 이영선;이재용;김장석
    • 응용통계연구
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    • 제28권3호
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    • pp.371-383
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    • 2015
  • 본 연구는, 방사성탄소연대측정방법에 내재되어 있는 변동성을 유발하는 요인과 그 크기를 파악하고, 측정치들을 기반으로 한 고고학적 연대의 합의값을 도출하는 것에 그 목적이 있다. 이를 위해 동일한 샘플을 서로 다른 기관에 보내어 얻는 실험을 시행하였고, 실험을 통해 얻은 자료는 베이지안 방법을 이용해서 분석하였다. 분석결과로부터 측정기관, 메가샘플의 종류가 방사성탄소연대측정방법의 변동성을 야기하는 요인이 될 수 있음을 판단할 수 있었으며, 각 요인으로 인한 변동성의 크기는 약 10년 내외임을 확인했다. 기관 내에 존재하는 탄소연대측정의 변동성은 각 기관에서 보고하는 측정오차로 간주해도 무방하다는 사실 또한 밝혀냈다. 자료의 실제 연대를 알고 있다는 가정 하에서, 여러 개의 탄소연대측정치로부터 도출된 합의값은 실제 샘플의 연대와 일치했으며, 합의값의 변동성은 개별적인 탄소연대측정치의 변동성보다 훨씬 줄어드는 현상을 관찰할 수 있었다.

백색광 간섭계를 이용한 안구 돌출 값 측정 (Exophthalmometric values using White-light Scanning Interferometer)

  • 장중수;김영길
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제21권12호
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    • pp.2341-2346
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    • 2017
  • 안와 내에서 안구의 상대적 위치는 여러 병적인 상태를 짐작할 수 있는 하나의 기준이 될 수 있다. 특히 안와골절, 갑상선 안질환, 안와 종양 등의 진단과 이에 약물 및 수술적 치료의 결과를 판단하는데 유용하다. 현재 안구 돌출 값을 측정하기 위해 주로 사용되는 대표적 측정 기기인 Hertel과 Naugle 안구돌출계 등은 검사자가 다를 경우, 같은 검사자가 반복적으로 측정하더라도 검사할 때마다 안와의 고정부위가 달라지는 등 측정자에 의한 오차가 필연적이다. 또한 동일한 안구 돌출 계라고 하더라도 제조 회사가 다르다면 안와의 고정부위 디자인이 달라 검사자에의한 측정 오차가 발생한다. 본 논문에서는 안구돌출값의 측정을 3차원 영상 측정기술인 백색광 간섭계를 이용하여 검사 정밀도 및 반복 정도를 크게 올릴 수 있는 자동 측정 방법에 대한 연구를 제안하고자 한다.

SI 엔진의 정상유동장치에서 충격식 스월미터와 입자영상유속계의 스월비 측정에 대한 비교 연구 (Comparison of Swirl Ratio Measured by Impulse Swirl Meter and Particle Image Velocimetry in a Steady Flow Bench of SI Engine)

  • 이석종;엄인용;성재용
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제39권4호
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    • pp.437-442
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    • 2015
  • 본 연구에서는 SI 엔진의 정상유동장치에서 충격식 스월미터로 측정한 스월비와 PIV(입자영상유속계) 속도장을 적분하여 구한 스월비를 비교 고찰하였다. PIV 속도장으로부터 스월비를 산출하는 방식에 있어서는 토크를 실린더의 기하학적 중심과 스월 중심에서 각각 계산하여 비교하였다. 또한, 정상유동장치에서 토크의 측정 위치를 변화하여 그에 따른 영향도 고찰하였다. 그 결과, 와류가 안정화되지 못한 상류에서는 충격식 스월미터의 측정값이 PIV로 측정한 값보다 크게 나타났다. PIV 측정에 있어서는 유동 상류에서 실린더 중심을 기준으로 산출한 값이 스월 중심으로 산출한 값보다 작게 나타났다. 측정위치가 하류로 이동하여 스월이 안정화되면서 측정방법에 따른 차이점이 줄어든다.

검출기 측정방법에 따른 PAE값의 변화 (Change of PAE according to Detector Measurement Method)

  • 임인철
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제10권6호
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    • pp.307-311
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    • 2010
  • 본 연구는 검출기 측정방법에 따라 관전압 정확도 검사결과인 PAE값이 어떻게 달라지는지 알아보고자 한다. 실험방법으로는 측정거리와 X선관 각도, 방향에 따른 PAE값의 변화실험에서는 초점과 측정기간의 거리를 100cm, 80cm, 60cm에 위치시킨 상태에서 관전압지시치는 70kVp, X선관 각도는 음극, 양극측으로 $5^{\circ},\;10^{\circ},\;15^{\circ},\;20^{\circ},\;25^{\circ},\;30^{\circ}$로 맞추어 측정하고, 관전압지시치에 따른 PAE값의 변화실험에서는 관전압 60kVp, 70kVp, 80kVp, 90kVP, 100kVp를 설정하고 소초점과 대초점을 전환하며 측정하였다. 측정거리와 X선관 각도, 방향에 대한 PAE값의 결과를 보면 100cm일 경우에는 음극측에서 전체적으로 PAE값이 높게 나타났으며 80cm, 60cm일 경우에는 양극측에서 높게 나타났다. PAE값의 변동율은 100cm일 경우 음, 양극측 모두 안정적으로 나타났으며 80cm, 60cm일 경우에는 불균형적으로 나타났다. 관전압지시치에 따른 PAE값의 결과로는 대초점보다는 소초점이 높게 나타났으며, 지시치가 클수록 높게 나타났다. 오차 범위는 지시치가 클수록 적게 나타났다.

345[kV] 송전철탑 주변에서 전장과 자장의 측정과 분석 (Measurement and Analysis of Electric and Magnetic Fields near 345[kV] Transmission Tower)

  • 이복희;이승칠;안창환;길형준;전덕규;길경석
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제12권3호
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    • pp.14-21
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    • 1998
  • 본 논문에서는 평판형 전장센서와 멀티턴 루우프형 자장센서를 이용하여 2회선 345[kV] 송전선로에서 발생하 는 극저주파 영역(ELF)의 전장과 자장의 값을 측정하고, 이들의 크기를 3차원 그립으로 나타내었다. 또한, 자장 은 부하전류에 비례하므로 부하변동에 따른 자장의 값올 예측할 수 있도록 그 송전선로의 대표적인 일부하 전류 곡선을 나타내었다 선로 중심점으로부터 횡방향 거리에 대한 측정값을 FIELDS 프로그램에 의해 계산된 이론 값과 비교하였다. 전장의 세기는 송전 철탑 내부와 주변에서 낮게 나타났고, 자장의 경우 최대값이 나타난 지점 은 중부하 회선쪽으로 이동하였으나, 대체로 철탑의 중심부분에서 최대치가 나타나는 경향을 보였다. 송전철탑 주변에서 최대 전장과 자장의 값은 각각 3.5[kV/m]와 $20[{\mu}T]$ 를 초과하지 않았으며, 본 연구에서 측정된 전장과 자장의 값은 관련 여러 국제기관에서 제시한 제한.권고치를 만족시키고 있다.

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$CaSO_4:Dy$ 열형광선량계의 소자보정인자(ECF) 산출 (Measurement of ECF for $CaSO_4:Dy$ Thermoluminescent Dosimeters)

  • 임길성;김장렬
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제30권4호
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    • pp.231-236
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    • 2005
  • 열형광선량계의 TL 소자는 동일한 제조공정에 의해 생산되지만 소자의 반응도가 선량계 별로 편차가 있고, 반복사용 또는 외부로부터의 물리적 자극에 의해 반응도가 조금씩 감소한다. 이러한 반응도 감소를 기준선량제의 평균반응값에 맞추어지도록 보정해 주는 인자가 소자보정이자(ECF)이다. 열형광선량계(TLD)의 ECF 측정절차에 대해 자세히 기술하였으며 319개의 기준선량계, 교정용선량계, 현장선량제의 ECF를 3회 측정하여 평균값을 구하였다. 또한 3회 측정에 대한 %CV를 구하여 ECF 측정값을 검증하였다. 선량계 종류별 용도별로 ECF값의 부포를 구했으며, %CV값의 분포도 나타내었다. 현장선량계는 지난 3년동안 6회정도 사용되었는데 ECF값의 변화가 거의 없었고, 보다 빈번하게 사용된 교정용선량계의 ECF값은 평균 4.7% 증가하였다.

대면적 전도성 박막의 면저항 정밀측정 (Principle Measurement for Sheet Resistance of Large Size Conductive Thin Films)

  • 강전홍;유광민;이상화
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2015년도 제46회 하계학술대회
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    • pp.1515-1516
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    • 2015
  • Touch panel 및 Touch screen 등의 투명전극으로 많이 사용되고 있는 ITO(Indium Tin Oxide)나 CNT(Carbon Nano Tube) 등 전도성 박막의 면저항을 쉽고 빠르게 측정하기 위하여 van der Pauw method를 이용한 면저항 측정기를 개발하였다. 이 면저항 측정기는 대면적 시료의 면저항을 측정 할 수 있어 매우 편리하다. 면저항 측정은 주로 Four Point Probe method로 측정하는 것이 일반적이나 본 연구에서는 van der Pauw method를 이용한 측정값과 Four Point Probe method로 측정한 결과를 비교한 결과 1 % 이내에서 일치하였다. 개발된 측정기의 측정 정확도는 지시값의 1.0 % 이하이고, 측정범위는 $2{\Omega}/{\square}{\sim} 5k{\Omega}/{\square}$이다.

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고온 초전도 트랜지스터의 채널 식각 두께에 따른 임계 특성 자동 측정장치 구축 (Implementation of Automatic measurement system for a Change of channel etching thickness with a HTS Transistor)

  • 현종옥;강형곤;고석철;한병성
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
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    • pp.561-564
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    • 2003
  • 본 연구는 고온 초전도 자속 흐름 트랜지스터의 채널 식각 두께에 따른 임계 특성의 자동 측정을 위해 나노옴/마이크로 볼트 미터 와 전원공급기 등 측정에 필요한 장비들을 GPIB 인터페이스 보드를 통해 PC와 연결하여 측정 장치를 구축후 직접 제작한 측정 프로그램을 통해 자동으로 시편에 전류, 전압을 가한후 임계 특성값을 효율적인 방법으로 측정하고 측정 결과값들을 시간순서 및 측정 대상에 따라 데이터 베이스화 하는 방법에 대하여 소개한다. 부수적으로 임계 특성의 정확한 측정을 위해 실험에 변수가 되는 요소들을 찾아내고 실험 데이터값들로부터 오차를 발견, 오차의 원인이 되는 식각 방법 및 실험 환경등의 부가적인 요소들을 고려하여 개선된 측정 장치를 구축하는데 경제적, 시간적인 효율성 측면에 대해 언급했다.

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스트레인 게이지를 이용한 응력 측정 및 응용 (Stress Measurements Using Strain Gages)

  • 강대임
    • 기계저널
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    • 제33권7호
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    • pp.661-670
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    • 1993
  • 스트레인 게이지를 이용한 응력측정 방법 및 응력 측정시의 오차 발생의 원인에 대해서 설명하 였고 현재 많이 사용되고있는 스트레인 게이지식 로드셀의 원리 및 구조에 대해서도 설명하였다. 스트레인 게이지를 이용하여 변형도를 측정할 경우 1% 이내의 정확도를 유지하는 것이 가능하나 측정된 변형도로부터 응력을 계산할 경우 재료상수들의 부정확성으로 인하여 5% 정도의 오차가 발생할 수 있다. 스트레인 게이지를 이용한 응력 측정값은 부착위치에서의 값이므로 구조물의 최대 응력을 측정하고자 할 경우 구조물의 응력 상태를 제대로 파악하지 못하면 큰 오차가 발 생할 수 잇다. 따라서 정확한 측정을 위해서는 정확한 게이지 작업 기술과 함께 하중에 대한 대상물의 거동을 파악하는 기술 습득이 요구된다. 스트레인 게이지식 로드셀을 직접 설계 및 제작하기 위해서는 용량, 정밀도, 설치 공간, 사용조건 등을 고려하여 감지부의 형상, 감지부의 재질, 스트레인 게이지의 종류, 부착 방법, 보상회로 구성방법, 보호 케이스의 부착 여부 등을 결정하여야 하고 제작이 완료된 후 힘 표준기 등으로 교정검사를 실시하여 사용하여야만 정확한 측정을 기대할 수 있다.

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