In this paper, we have studied on the effects of annular and quadrupole illuminations by changing their conditions for enhancing the pattern resolution and depth of focus (OaF) in the optical lithography system using KrF Eximer laser 0.248$\mu$m and 0.65 NA. As a result, it is revealed that each illumination condition to optimize the resolution and the OaF for the mask containing the assistance pattern is different under the annular illumination. And in case of quadrupole illumination, we could ascertain that the resolution and the OaF would be enhanced through changing the arrangement of each pole from the conventional X type (45 degrees) to some proper type according to the main pattern direction. ction.
Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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2007.05a
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pp.1701-1705
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2007
국부세굴은 수공구조물 주변에서의 국부적인 흐름변화가 그 원인이라 할 수 있으며 이러한 변화는 교각 또는 교대의 하상재료를 굴착하여 이동시키는 침식작용의 결과이다. 이러한 교량의 교각 또는 교대, 그리고 교각을 지지하는 구조물에서 발생하는 국부세굴은 교량의 수명과 안정성에 좋지 않은 영향을 미쳐 재산상의 피해를 줄뿐만 아니라 교량 붕괴 사태 등으로 인한 대형 인명사고를 초래하는 원인이 될 수도 있다. 따라서 국부세굴의 경향을 예측하고 분석하는 것은 교량 구조물이나 수중 구조물의 설계에 있어서 매우 중요한 과업이다. 이러한 국부세굴을 예측하고 분석하는데 있어서 국내에서는 일정한 흐름조건에 대한 최종세굴심을 예측하는데 초점이 맞추어져 있다. 하지만 국부세굴은 하상재료에 따라 세굴이 진행되는 속도가 다르며 세굴의 진행은 시간 의존적인데 반해 국내에서의 국부세굴의 예측과 분석은 최종세굴심 산정에 초점이 맞추어져 있다. 이에 본 연구에서는 보다 실질적이고 경제적인 국부세굴 경향을 예측할 수 있도록 다양한 하상재료에 대한 시간에 따른 세굴 변화의 특성을 파악하고 분석하였다. 이를 위해 하상재료에 따라 수리실험을 실시하였고, 이를 통해 하상재료에 따른 세굴심의 시간적 변화 곡선을 구하였다. 이렇게 구한 하상재료에 따른 세굴심의 시간적 변화 곡선을 통해 하상재료별 평형세굴심 산정하였고, 산정한 평형세굴심과 기존 세굴심 산정공식을 이용하여 입자별 세굴심을 산정하여 비교 분석하였다.
Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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1995.06a
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pp.59-67
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1995
부분간섭조명과 central obscuration의 Optical Transfer Function(OTF) 에의 영향을 조사해보고, 이의 programing 기법을 소개하며, 모든 3차 수차와 5차 구면수차가 제거된 5반사광학계에 적용하여 축소배율(M = +1/5)을 갖는 리소그래피용 광학계로서의 가능성을 알아보았다. 이렇게 하여 얻어진 광학계 central obscuration이 약 31%이고 과월을 ArF excimer 레이저( 파장 0.193$\mu$m) 로 하는 nearly inchorent illumination($\sigma$ = 1.0)인 경우 NA가 0.45이며 분해능이 50% MTF 기준치와 초점심도 0.8$\mu$m에 대해 약 600cycles/mm 정도인 성능을 갖는 시스템이 되었다.
Optical microscopes integrated with CCD cameras are widely used for automatic inspection of precision circuit patterns fabricated on glass masks and silicon wafers. For this application it is important to position the object always is focus so that the image appears in good quality while the microscope scans the object. However, as the magnification of the microscope is taken large for fine resolution the depth of focus becomes small, often in submicron ranges, requiring special care in focusing. This study proposes a new auto-focusing method, which can be readily incorporated in existing optical configuration of microscope. This method is based on optical triangulation using a separate beam of laser and two photodiodes, eliminating focus errors caused by surface roughness and waviness. Experimental results prove that the method can produce focus error signals which are very sensitive with a resolution of 5 nm within 0.5 ${\mu}{\textrm}{m}$ accuracy.
In this paper, we propose a novel focus measure that determines in-focus and out-of-focus region in an image. In addition, we achieved extended depth of field by blending the acquired image and Wiener filtered image using a decision map based on the designed focus measure. Since conventional focus measures are based on the amount of high frequency components in an acquired image, the measures may not be accurate if there exist high frequency components in out-of-focused region. To overcome the problem, we designed the novel focus measure based on effective band pass filtering. In simulations and experiments, the proposed method showed better performance than existing methods.
연구윤리 문제를 거론하는 일은, 지금까지 행해진 연구 부정행위를 어떻게 처리할 것인가가 아닌 예방적 차원에서 어떻게 연구 부정행위를 방지할 것인가에 초점이 모아져야 한다. 얼마 전 발생한 '줄기세포 조작 사건'도 구성원들의 도덕적 해이에서 비롯된 것이라는 지적이다. 국력이 신장되고 연구역량이 커진 것과 비례하여 연구윤리에 대한 경각심과 경계심도 키워 나가야 한다. 연구를 시작하는 단계에서부터 연구윤리의 중요성을 깨닫고 생활화 할 수 있어야 하며, 이러한 변화는 또한 앞으로의 연구의욕을 꺾거나 과거의 연구성과를 무차별적으로 불신하게 되는 부작용을 잉태하지 말아야 한다.
In order to simulate a depth-of-field effect in real world, there have been several researches in computer graphics field. It can represent an out-of-focused scene by calculating focal plane. When a point in a 3D coordinate lies on further or nearer than focal plane, the point is presented as a blurred circle on image plane according to the characteristic of the aperture and the lens. We can generate a realistic image by simulating the effect because it provides an out-of-focused scene like human eye dose. In this paper, we propose a method to calculate a disparity value of a viewer using a customized stereoscopic eye-tracking system and a GPU-based depth-of-field control method. They enable us to generate more realistic images reducing side effects such as dizziness. Since stereoscopic imaging system compels the users to fix their focal position, they usually feel discomfort during watching the stereoscopic images. The proposed method can reduce the side effect of stereoscopic display system and generate more immersive images.
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SP
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v.48
no.2
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pp.65-73
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2011
In this paper, we present a novel digital multifocusing approach using adaptive region-based histogram equalization for the multiple color-filter aperture (MCA) system with insufficient amount of incoming light. From the image acquired by the MCA system, we can estimate the depth information of objects at different distances by measuring the amount of misalignment among the RGB color planes. The estimated depth information is used to obtain multifocused images together with the process of the region-of-interests (ROIs) classification, registration, and fusion. However, the MCA system results in the low-exposure problem because of the limited size of the apertures. For overcoming this problem, we propose adaptive region-based histogram equalization. Based on the experimental results, the proposed algorithm is proved to be able to obtain in-focused images under the low light level environment.
A phase-retardation function which was derived from Wigner distribution function (WDF) is used to increase a focal depth of a radially symmetric optical system. The WDF for one-dimensional signal is represented as a two-dimensional function of phasespace ($\chi,\zeta$), and a normalized irradiance is described as a form of the Strehl ratio (SR). The increase in the focal depth is accomplished by delivering a shearing tilt a that represents a characteristic of free space propagation with simple manipulation in the WDF space. In this paper we propose a method for evaluating the focal depth quantitatively by representing the phaseretardation function in terms of the focal depth term. In order to verify the validity of the proposed method, we compared the numerically analyzed result with that of J. Sochki's study. study.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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