• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.342.2-342.2
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• 2014

IZO, ITO, ITO 등의 투명전극들 중 Indium Tin Oxide (ITO) 다른 전극에 비해 높은 광투과도와 낮은 저항으로 인하여 다양한 부분에서 널리 이용되고 있다. 본 연구에서는 우수한 투과도의 멀티 layer 단열 창호를 위한 film 개발을 위해 RF magnetron system을 이용하여 Sodalime Glass와 polyethylene terephthalate (PET) substrate에 ITO를 증착함으로써 전기적 광학적 특성을 조사하였다. 실험은 power 변화와 Ar, O2의 가스 분압비, Working Pressure의 변화를 변수로 두어 진행하였다. 측정은 Ellipsometry를 이용하여 광학적인 두께와 굴절률을 조사하였고 UV visible spectrometer를 통해 광학적인 투과도를 확인하였다. Power는 100 Watt 늘려가며 진행하였고 O2 유량의 변화에 따라 투과도와 면저항, 굴절률 특성이 달라짐을 확인할 수 있었다. O2의 유량에 따라 면저항이 줄어들다가 어느 정도 이상이 되면 급격히 증가함을 확인할 수 있었다. Working Pressure 변화에 따른 전기적 광학적 특성 또한 확인 하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.11a
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• pp.316-317
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• 2015

무전해 도금은 금속이온을 수용액 상태에서 석출시키는 방법으로서 전기를 사용하지 않고 환원제의 자기촉매 방법에 의해 금속을 도금하는 방법이다. 두께를 확보하기 위한 화학적 무전해 도금에서는 환원제를 사용하지만 선택적 도금에서는 환원제를 사용하지 않는 치환도금법이 주로 사용되고 있다. 최근 전자파 차폐, 포장기술의 응용이 확대되면서 정보 통신 스마트폰, 전자기술과 자동차 산업에 많은 고분자 복합도금이 널리 확대되고 있다. 최근 해외에서도 고분자와 비금속재료의 복합도금 기술이 관심을 끌고 있다. 2013년 중국의 J. B. Fei 등은 Ag나노체인 합성물에 필요한 비대칭형의 공유결합으로써 나선형의 자기배열 $AgNO_3$와 멜라민 특성을 보고하였다. 무전해 니켈 복합도금은 내마모성, 내식성과 비금속재료의 선택적인 첨가로 다양한 고분자 첨가물을 적용할 수 있다. 유전상수가 낮고 열적 안정성이 우수하여 노트북 컴퓨터나 스마트폰 표면에 니켈-폴리이미드 복합도금도 개발되고 있다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2008.05a
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• pp.43-45
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• 2008

박막 제작공정은 반도체 제작 공정, 고정밀도의 하드디스크 및 레이저 디스크 기술, LCD/P에 DML평판 디스크 플레이어 제작 공정에 있어 중요한 기술이다. 더욱이, 이 공정은 이동 전화 커버의 증착 및 전자 차폐의 일반기술, 램프의 반사판, 화장품 용기, 몇몇 상품에 있어 카메라 렌즈의 광학 표면 코팅과 코팅 필름 제작에 사용된다. 본 연구의 주요목적은 반도체 제작 공정과 많은 산업 분야에서 기본 재료로 사용되는 전영저항의 개발에 있다. 개발 공정은 다음과 같다. 전자빔이 최상의 진공 분위기에서 텅스텐 필라멘트의 열에 의해 방출된다. 그때 전자는 높은 전압에서 가속화된다. 전자들은 반대 재료에 충돌되고, 반대편 재료는 발생 열에 의해 코팅된다. 1차년도 연구목적은 고성능 전열 저항체 개발을 위한 지름 당 필라멘트 선의 기계적 특성을 조사하고 CAE 해석을 수행하며, 2차 년도에는 대량 생산 라인 구축을 위한 자동검사 라인 개발에 초점이 맞추어져 있다. 만일, 본 연구를 통해 전열 저항체가 개발된다면, 그 제품은 고효율, 외국제품 대비 가격 경쟁력을 가지므로 제품 경쟁력을 가질 수 있을 것으로 생각된다.

• Progress in Medical Physics
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• v.26 no.4
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• pp.250-257
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• 2015

Multi-leaf collimator (MLC) systems are frequently used to deliver photon-based radiation, and allow conformal shaping of treatment beams. Many proton beam centers currently make use of aperture and snout systems, which involve use of a snout to shape and focus the proton beam, a brass aperture to modify field shape, and an acrylic compensator to modulate depth. However, it needs a lot of time and cost of preparing treatment, therefore, we developed the manual MLC for solving this problem. This study was carried out with the intent of designing an MLC system as an alternative to an aperture block system. Radio-activation and dose due to primary proton beam leakage and the presence of secondary neutrons were taken into account during these iterations. Analytical calculations were used to study the effects of leaf material on activation. We have fabricated tray model for adoption with a wobbling snout ($30{\times}40cm^2$) system which used uniform scanning beam. We designed the manual MLC and tray and can reduce the cost and time for treatment. After leakage test of new tray, we upgrade the tray with brass and made the safety tool. First, we have tested the radio-activation with usually brass and new brass for new manual MLC. It shows similar behavior and decay trend. In addition, we have measured the leakage test of a gantry with new tray and MLC tray, while we exposed the high energy with full modulation process on film dosimetry. The radiation leakage is less than 1%. From these results, we have developed the design of the tray and upgrade for safety. Through the radio-activation behavior, we figure out the proton beam leakage level of safety, where there detects the secondary particle, including neutron. After developing new design of the tray, it will be able to reduce the time and cost of proton treatment. Finally, we have applied in clinic test with original brass aperture and manual MLC and calculated the gamma index, 99.74% between them.

• Progress in Medical Physics
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• v.7 no.2
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• pp.57-65
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• 1996

Total Skin Electron Beam Therapy (TSEBT) is one of the most effective treatment methods for superficially disseminated skin cancer or cutaneous T-cell lymphoma. We have treated a patient with cutaneous T-cell lymphoma. We have used Stanford technique using six dual field. The nominal energy of electron beam was 4MeV. SSD was 390cm and the gantry angles of dual fields were 76$^{\circ}$ and 104$^{\circ}$. The dose profiles of single field and dual fields were measured with films and a Farmer type ion chamber. The field uniformity was 10％ over the patient's surface. During treatment, the patient was placed in six different positions for homogenous dose distribution over the body surface. The areas not directly exposed to the path of the electron beam (soles of feet, perineum and vertex of scalp) were boosted with 7MeV electron beam. During the treatment, lens, fingernails and toenails were shielded.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.79-79
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• 2010

최근, 차세대 디스플레이, 터치스크린, 전자파 차폐 및 흡수 등의 분야에 응용하기 위해서 현재 주로 사용되고 있는 ITO박막을 대체하기 위한 연구가 활발하게 진행 되고 있다. ITO 박막은 희소원소인 인듐에서 기인하는 높은 비용뿐만 아니라 매장량도 한계가 있어 대체 재료의 개발이 시급하게 요구되고 있다. 더구나, 다양한 차세대 응용에 있어서는 투명전도성 뿐만 아니라 휠 수 있는 유연성까지 요구되어 ITO박막을 대체할 새로운 투명전도성 유연 박막의 개발에 관한 연구들이 활발히 이루어지고 있다. 탄소나노튜브(CNT)는 금속을 능가하는 이론적인 전기전도도를 갖고 있으며, 높은 탄성등의 우수한 기계적 성질을 갖고 있어, 전도성 확보 및 유연성 구현이라는 투명전도성 플렉서블 박막소재에 요구되는 사항들을 충족시킬 뿐만 아니라, 최근의 대량 합성법등의 개발로 저가에 공급할 수 있다는 장점들이 있어 ITO대체 재료로서 주목을 받고 있다. 그러나, CNT는 튜브 사이에 강한 반데르발스 인력을 가지고 있어 용매 중에 분산하는데 많은 어려움이 있으며, 액상 분산과정을 통한 CNT기반의 플렉서블 박막 제작에 있어서 큰 과제로 남아있다. 본 연구에서는 플라즈마 기능화 처리를 통하여 CNT에 친수성을 부여하였고, 초음파 처리를 통하여 에탄올 중에 CNT를 균일하게 분산한 후, 스프레이 분사법을 이용해 투명 유연기판인 PET고분자 필름위에 균일 박막을 제작하였다. CNT는 아세틸렌 가스를 이용한 열화학증기증착법으로 1mm 이상의 길이를 갖는 수직배향 CNT를 합성하였으며, 이를 아르곤 및 암모니아 플라즈마로 기능화 처리를 실시하였다. 플라즈마 처리를 통해 기능화 된 탄소나노튜브는 플라즈마 처리되지 않은 탄소나노튜브와 분산 속도에서 현저한 차이를 보였다. 제작한 CNT 기반의 투명전도성 유연박막들은 막두께에 따른 전도도 및 투광도의 관계를 조사하였고, 기판에 분사된 CNT 박막의 표면 특성은 AFM, Raman, 접촉각 실험 등을 통하여 분석하였다.

• Progress in Medical Physics
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• v.14 no.1
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• pp.8-14
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• 2003

The spinal cord dose is the one of the limiting factor for the radiation treatment of the head ＆ neck or the thorax region. It is not an easy task to maintain the spinal cord dose below tolerance and to keep the clinically acceptable dose to the PTV in this region. To overcome this problem, the spinal cord partial block technique (PBT) with the dynamic Multi-Leaf Collimator (dMLC) has been developed. This technique is an extension of the conventional treatment planning. In the beginning the beam directions are selected as same as the conventional treatment planning to encompass the PTV, then the partial block are designed to shield the spinal cord. The plan comparisons between the conventional therapy plan and the PTB plan were performed to evaluate the validity of this technique. The mean dose and the dose volume histogram (DVH) were used as the plan comparison indices. A series of quality assurance (QA) was performed to guarantee the reliable treatment. The QA consisted of the film dosimetry for the verification of the dose distribution and the point measurements. The PBT plan generated better results than the conventional treatment plan and it was proved to be useful for the H＆N region.

• Asia-pacific Journal of Multimedia Services Convergent with Art, Humanities, and Sociology
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• v.9 no.6
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• pp.711-718
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• 2019

Spectrum analyzer and electromagnetic field meter were used to investigate the EM generation behaviour in different types of home electrical appliances. During microwave oven operation, the EM power measured at a point 30cm apart was measured in the range of 8~11mW/㎡, the strength of the low frequency magnetic field was 60~80mG and the electric field strength was measured at 150~160V/m. For smart phone wireless charging pad, it was measured at an electromagnetic power of 0.4mW/㎡, an electric field of 160 V/m and a magnetic field of 1mG at a point 10cm away. For microwave oven and wireless charging pad, if used within 10cm, the size of the electric field has been measured at a large value that exceeds the human body protection standard and may be hazardous to humans. On the other hand, home appliances such as TVs, hairdryers and refrigerators all showed very low levels of electromagnetic waves, electric fields and magnetic fields, with no harmful effects seen. For electromagnetic shielding, the metal Cu fabric and metal foil had a high level of EM shielding, while polymer films had a low EM shielding characteristic.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2011.05a
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• pp.205-206
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• 2011

Cu thin films for electromagnetic wave shielding were prepared on PET film and Ni-coated PET film by using Dry and Wet coating method, such as evaporation method, DC sputtering method and copper sulfate($CuSO_4$). After that, Zn thin film and Ni thin film were prepared onto the Cu thin films by using evaporation dry process and Ni electro plating wet process as a finishing treatment, respectively. The result of conductivity test and corrosion resistance test revealed Cu thin films which were formed with bigger grain size and high Cu composition rate have superior properties. Zn thin film by dry evaporation process and Ni thin film by wet electro plating process on Cu thin films were largely contributed to corrosion resistance. However, Ni thin film by wet process made conductivity of all specimen worse, the other hand, Zn thin film by dry process made it better to improve condictivity of specimens just prepared by dry process.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.28 no.1
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• pp.21-29
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• 2021

Recently, semiconductor chips and electronic components are increasingly being used in IT devices such as wearable watches, autonomous vehicles, and smart phones. As a result, there is a growing concern about device malfunctions that may occur due to electromagnetic interference being entangled with each other. In particular, electromagnetic wave emissions from wearable or flexible smart devices have detrimental effects on human health. Therefore, flexible and transparent electromagnetic interference (EMI) shielding materials and films with high optical transmittance and outstanding shielding effectiveness have been gaining more attention. The EMI shielding films for flexible and transparent electronic devices must exhibit high shielding effectiveness, high optical transmittance, high flexibility, ultrathin and excellent durability. Meanwhile, in order to prepare this EMI shielding films, many materials have been developed, and results regarding excellent EMI shielding performance of a new materials such as carbon nano tube (CNT), graphene, Ag nano wire and MXene have recently been reported. Thus, in this paper, we review the latest research results to EMI shielding films for flexible and transparent device using the new materials.