Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘(${\mu} c-Si:H$ ) 박막 증착
(The Hydrogenated Micro-crystalline Silicon(${\mu} c-Si:H$ ) Films Deposited by Hot Wire CVD Method)
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- 대한전자공학회논문지SD
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- 제37권8호
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- pp.17-27
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- 2000