• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.345-345
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• 2012

최근 의료산업에서는 고해상도 및 동영상 구현이 가능한 직접 방식의 X-선 검측센서에서 X-ray 흡수효율이 좋은 반도체 센서(CdTe, CdZnTe 등)와 성숙된 기술, 집적효율이 뛰어난 CMOS 공정을 이용한 제품을 출시하여 대면적화 및 고집적화가 가능하게 되어 응용분야가 점차 확대되고 있는 추세이다. 하지만 이 역시 고 성능의 X-선 동영상 구현을 위해서는 고 해상도 문제, 검출효율 문제, 대면적화의 어려움이 있다. 기존의 X-선 광 도전층의 증착은 증착 속도와 박막 품질에서 우수한 Evaporation 법이 사용되고 있다. 한편, 대면적에 균일한 박막형성이 가능하기 때문에 양산성에서 우월성을 가지는 sputtering법의 경우, 밀도가 높은 소결체 타겟의 제조가 힘들뿐만 아니라 증착 속도가 낮아 장시간 증착 시 낮은 소결밀도로 인한 타겟 Particle 영향으로 인해서 대 면적에 고품질의 박막을 형성하기가 어렵다. 하지만 최근 소결체 타겟 제조기술 발달과 함께, 대면적화와 장시간 증착에 대한 어려움이 해결되고 있어 sputtering 법을 이용한 고품질 박막 제조 기술의 연구가 시급한 실정이다. 본 연구에서는 $50{\times}50$ mm 크기의 non-alkali 유리기판(Corning E2000) 위에 Evaporation과 RF magnetron sputtering을 사용하여 다양한 기판온도 (RT, 100, 200, 300, $350^{\circ}C$)에서 $1{\mu}m$의 두께로 CdTe 박막을 증착하였다. RF magnetron sputtering의 경우 CdTe 단일 타겟(50：50 at%)을 사용하였으며 Base pressure는 약 $5{\times}10^{-6}$ Torr 이하까지 배기하였고, Working pressure는 약 $7.5{\times}10^{-3}$ Torr에서 증착하였다. 시편과 기판 사이의 거리는 70 mm이며 RF 파워는 150 W로 유지하였다. CdTe 박막의 미세구조는 X-ray diffraction (XRD, BRUKER GADDS) 및 Field Emission Scanning Electron Microscopy (FE-SEM, Hitachi)를 사용하여 측정하였다. 또한, 조건별 박막의 조성은 Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS, Horiba, 7395-H)을 사용하여 평가하였다. X-선 동영상 장치의 구현을 위해서는 CdTe 다결정 박막의 높은 흡수효율, 전하수집효율 및 SNR (Signal to Noise Ratio) 등의 물성이 요구된다. 이러한 물성을 나타내기 위해서는 CdTe 박막의 높은 결정성이 중요하다. Evaporation과 RF magnetron sputtering로 제작된 CdTe 박막은 공정 온도가 증가함에 따라 기판상에 도달하는 스퍼터 원자의 에너지 증가로 인해서 결정립이 성장한 것을 확인할 수 있었다. 따라서 CdTe 박막이 직접변환방식 고감도 X-ray 검출기 광도 전층 역할을 수행할 수 있을 것으로 기대된다.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.12 no.2
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• pp.68-72
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• 2002

The $\beta$-$FeSi_2$ and $\alpha$-$FeSi_2$ single crystals were synthesized by chemical vapour transport (CVT) using iodine as a transporting agent from the commercially available $FeSi_2$ powder. The $FeSi_2$ powder together with iodine were sealed in an evacuated quartz ampoule and the ampoule then being placed in two-zone electrical furnace for growing crystal. The CVT of $FeSi_2$ with iodine yielded $\beta$-$FeSi_2$ and $\alpha$-FeSi$_2$ single crystals at deposition temperature of 750 and $950^{\circ}C$ respectively. The source temperature was $1050^{\circ}C$ in both cases. The crystals of the $\alpha$-FeSi$_2$ phase were typically plate shaped with dimensions of about $10\times 10 \textrm{mm}^2$, whereas the crystals of orthorhombic $\beta$-$FeSi_2$ phase grew predominantly in the fonts of thin needle of about 10 mm in length. The composition of$\alpha$-FeSicrystal determined by electron probe microanalysis (EPMA) resulted in Si-rich $FeSi_{2.58}$ . 57. Furthermore, the CVT $\beta$-$FeSi_2$ crystal was found to be transformed to the high temperature $\alpha$-$FeSi_2$phase above $930^{\circ}C$.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.21 no.6
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• pp.52-60
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• 2017

In diffusion process exhaust line during semiconductor manufacturing process, In order to improve the transportation efficiency in the piping by removing "The reaction by-product, $ZrO_2$ and The unreacted material, TEMAZ, TMA, $O_3$, etc" and "Powder being deposited", the piping temperature was raised to $80^{\circ}C$ or more by using the heater jacket, and the bellows at the rear end of the vacuum pump ruptured. So conducted a case study and try to prevent the similar accidents from occurring through case studies. The causes of the accident were analyzed as follows: the inflow of outside air due to the generation of a gap on the suction side of the vacuum pump and heating the pipe with the heater jacket resulted in the overpressure in the pipe due to the volumetric expansion of the gas generated by decomposition of the unreacted TEMAZ, It can be assumed that the most vulnerable bellows of the piping has been ruptured. In order to prevent such accidents, This study is aimed to identify the cause of pipeline rupture accident and to establish safety measures for the prevention of similar accidents by evaluating physical hazards of TEMAZ, which is assumed to be the cause of pipe rupture accident.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.1 no.2
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• pp.215-223
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• 1990

The effects of sulfur on the catalytic reaction between CO and NO on polycrystalline Pt surface, which is very important in the development of catalyst for automobile exhaust gas control, have been studied using thermal desorption spectrometry(TDS) under ultra-high vacuum(UHV) conditions. Sulfur weakened both the adsorptions of CO and NO by direct site blocking and indirect electronic effect. S(a) desorbing below 800 K gave little effect on reaction activity whereas S(a) desorbing above 800 K, which adsorbs as an atomic state, gave much effect on it. The adsorbed sulfur existed on the surface of platinum in the form of islands, and also reduced the adsorption energies of adsorbates by the long-ranged electronic effect. The platinum catalyst in the reaction between CO and NO was poisoned selectively by S(a), poisoning firstly the active sites of this reaction.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.1 no.2
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• pp.207-214
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• 1990

The catalytic reaction between CO and NO on polycrystalline Pt surface, which is very important in the development of catalyst for automobile exhaust gas control, has been studied using thermal desorption spectrometry(TDS) and steady-state experiment under ultra-high vacuum(UHV) conditions. With the pressures of CO and NO of each $1{\times}10^{-7}Torr$, the $CO_2$ formation rate showed a maximum at 560K. At the reaction temperature of 560K and the NO pressure of $1{\times}10^{-7}Torr$, the production of $CO_2$ was first order in $CO_2$ was first order in CO pressure below $1.35{\times}10^{-7}Torr$ of CO pressure whereas at higher CO pressures the rate became minus 0.3 order in CO. But the efforts of reactant pressure on the reaction was understood in consideration of the surface concentrations of adsorbates. With the results, we proposed a new reaction mechanism for this reaction.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2018.06a
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• pp.120-120
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• 2018

반도체 소자나 디스플레이 패널 제조 공정에 가장 많이 사용되는 진공 펌프인 터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않고, 설치 방향이 자유로우며 넓은 작동 압력 영역을 가지고 있어서 고가임에도 불구하고 점점 더 사용 영역을 넓혀 가고 있다. 상하의 두 곳에 회전축을 지지하는 베어링이 필요한데, 기계식 금속 베어링을 채용하는 경우에는 반드시 윤활유를 공급해 주어야 하고, 고온, 부식성 또는 산화성 가스의 배기 시에는 퍼지 가스로 비활성인 질소나 알곤등을 이용하여 보호를 해주어야 한다. 반면, 자기 베어링을 채택한 모델은 윤활의 걱정에서 자유로울 수 있기 때문에 채용이 늘어나고 있다. 동일극의 반발력이나 반대극의 인상력을 이용한 구조를 갖게 되는데 갑작스러운 입구 쪽 압력의 증가 시에는 자석 끼리 부딪치는 일이 발생하고 이로 인해서 로터 모듈 전체에 큰 손상을 갖게 되므로 한 곳 정도에 비상용 터치 다운 베어링을 기계식으로 윤활제 없이 설치하기도 한다. 기본적으로 자기 베어링 방식은 로터 모듈의 부상과 제어를 위해서 3축 또는 5축 제어를 하게 되는데 여기에는 전자석의 전류를 미세하게 조정하여 피드백 하는 시스템을 활용하기 때문에 외부에서의 자기장이 일정값 이상 침투하게 되면 제어 회로의 기능에 문제를 일으키게 된다. 또한 축 방향에 수직인 자기장의 강도가 높아지면 고속으로 회전하는 금속 블레이드가 자속을 자르게 되므로 표면에 와전류가 발생하여 문제가 된다. 터보 분자 펌프는 회전자와 고정자 간격이 1 mm 이내로 작아서 약간의 진동이라도 발생하면 회전자와 고정자 간에 충돌이 일어나고 이는 곧 파손으로 이어진다. 그림 1에는 파손 원인 분석을 위한 회전자 모듈의 수치 해석용 모델의 일부를 나타내었고, 그림 2에는 실제로 외부 자기장에 의한 파손이 발생한 사례의 자기 베어링 모듈의 사진을 나타내었다. 본 발표에서는 외부 자기장의 형태에 따라 제어 자기장에 미치는 영향을 CFD-ACE+(ESI corp)를 활용하여 해석하였다.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.27 no.1
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• pp.112-118
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• 1995

The effect of various packaging methods on kimchi quality was investigated in order to develop the packaging techniques for preventing commercial kimchi products from inflation and explosion, due to fermentative gas evolved during storage and distribution. Kimchi was packaged in different methods; 1) atmospheric packaging(AP), 2) check valve packaging(CV), 3) double packaging(DP), and 4) vacuum packaging(VP). The quality of kimchi during storage at $10^{\circ}C$ was evaluated in terms of gas composition, free volume, pH, titratable acidity color index and sensory properties. The gas composition inside packages showed different curves according to the packaging methods. Due to fermentative gas accumulation in both AP and CV, $CO_2$ concentration increased by 2 stepwise pattern, while $O_2$, concentration decreased exponentially. In DP, $O_2$ concentration remained constant, but $CO_2$ concentration increased by 2 stepwise pattern and then decreased. In contrast, VP produced low $O_2$ and high $CO_2$ concentrations only at the end of storage. The free volume in both AP and CV showed typical sigmoidal curves similar to $CO_2$ concentration changes. It remained constant in DP, but started to increase at the late stage of storage in VP. There was no significant effect of packaging methods on pH changes of kimchi. In titratable acidity, DP maintained relatively higher than others. Regarding to the color change of crushed kimchi juice in all packages, L and b values decreased exponentially but a value remained constant during storage. Color index(L b/a) of crushed kimchi juice decreased exponentially and remained constant at the end of storage. The growth of lactic acid bacteria was VP, CV, AP, DP in increasing order. In sensory test, the sourness scores of DP were fairly higher than those of others, but the texture was not significantly affected by the packaging methods. The preference for kimchi showed VP>AP, CV>DP in order of score. In this study, it could be proposed to employ DP and VP method as the effective packaging techniques for preventing commercial kimchi products from inflation.

• The Korean Journal of Nuclear Medicine Technology
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• v.22 no.2
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• pp.84-87
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• 2018

Purpose The radiopharmaceutical used in the nuclear medicine department is used only for the specific patient according to the prescription or instruction of the doctor without selling, so it is dispensed and it is distributed and used for the examination. Radiopharmaceuticals administered to patients should be managed appropriately as well as radiation safety management during dispensation. The purpose of this study is to investigate microbial contamination during dispensation of radiopharmaceuticals Materials and Methods This study distinguished between general workbench and clean workbench and performed three tests. First, microbial cultivation test of radiopharmaceutical prepared and dispensed in general workbenches and sterile workbenches were carried out five times, respectively. The second test was performed settle plate method three times before and after the use of the exhaust filter. Finally, Adenosine Triphosphate (ATP) measurement was performed in each workbench to measure bacterial counts. In addition, ATP measurement were carried out by designating locations and items that may be contaminated during dispensation. Results In the microbial culture test, no microorganisms were detected in both samples. In the settle plate method, it was detected without using of the exhaust filter in a general workbench once. In the ATP measurement test, it was measured at the level of 400 RLU or less, which is the standard value of contamination, in both workbenches surface. In additional ATP measurement test, the refrigerator handle in the distribution room was measured above the reference value of 1217 RLU, the vacuum vial shield of the Tech Generator at 435 RLU, and the syringe holder at 1357 RLU. After environmental disinfection, the results were reduced to 311 RLU, 136 RLU, and 291 RLU. Conclusion No contamination by bacteria was found in both workbenches. However, microbial contamination may occur if the use of an exhaust filter or proper hand hygiene is not achieved. Regular inspections and management for aseptic processing themselves will be necessary.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.03a
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• pp.94-94
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• 2003

최근, 새로운 전자재료로서 GaN 분말의 합성과 응용에 관한 연구가 많이 이루어지고 있다. CaN 분말은 열처리 과정 중 분해를 방지하기 위한 표면 보호용 소재, CaN 박막 또는 벌크 결정을 성장하기 위한 precursor 및 대면적 평판표시소자 제작을 위한 전기발광소자용 소재 등에 적용되고 있다. 일반적으로 100$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서Ga과 NH$_3$를 반응시키거나, Ga이 포함된 화합물반도체 또는 산화물 및 질산염 등을 NH$_3$ 분위기에서 가열시켜 GaN 분말을 합성시키고 있다. 본 논문에서는 출발물질로서 GaOOH를 채택하고, 이를 NH$_3$ 가스를 흘리면서 가열 반응시켜 GaN 분말을 합성하고 X선 회절분석 방법을 사용하여 GaN의 합성에 대한 반응기구를 조사하였다. GaN 분말을 합성하기 위하여 GaOOH 분말 1g을 석영 용기에 담아 석영 반응관 내에 위치시키고, 반응관 내부를 $10^{-3}$ torr의 진공으로 배기한 후 $N_2$를 주입하면서 전기로의 온도를 1$0^{\circ}C$/min으로 승온시켰다. 반응온도는 300~l17$0^{\circ}C$의 범위에서 변화시켰고, 반응시간은 10분부터 24시간까지 변화시켰으며, NH$_3$의 유량은 300~700 sccm의 범위에서 변화시켰다. GaN의 반응역학을 조사하기 위하여 X선 회절도에서 특정 성분의 회절강도는 시료 내에 포함된 특정 성분의 량에 직접 비례한다고 가정하고, 2$\theta$=37$^{\circ}$부근에서 관찰되는 GaN의 (101)면에 의한 회절강도를 측정하고, 이를 GaN의 생성량으로 고려하였다.}C$로 소결 하였다. coating 결과 박리현상은 없었으나, 표면과 단면의 SEM분석결과 다소 porous한 박막층이 형성되었으며, Ca이온이 지지체로 permeation되는 현상이 발생하였다. 이와 같은 결과로부터 보다 치밀한 박막생성을 위해, slurry 제조조건을 변화시켰으며, Ca이온의 migration을 막기 위해 barrier layer를 이용하였다 완전 소결된 지지체는 가스투과도와 전기전도도측정을 통하여 특성을 평가하였다.였다.다.m이하의 NH$_3$ 가스를 검출할 수 있었다.기 화강암 관입 이전에 좌수향 전단 운동에 의해 부분적으로 재활성 되었으며, 후기 화강암의 관입 이후에 재차 우수향 전단운동으로 활성화 되었음을 알 수 있다. 이상의 결과를 종합하면 호남전단대는 쥬라기 중기에 발생한 광역적인 우수향의 연성전단운동이나, 운동 특성은 연속적이기 보다는 단속적으로 일어난 것으로 생각된다.리 폐 관류는 정맥주입 방법에 비해 고농도의 cisplatin 투여로 인한 다른 장기에서의 농도 증가 없이 폐 조직에 약 50배 정도의 고농도 cisplatin을 투여할 수 있었으며, 또한 분리 폐 관류 시 cisplatin에 의한 직접적 폐 독성은 발견되지 않았다이 낮았으나 통계학적 의의는 없었다[10.0%(4/40) : 8.2%(20/244), p>0.05]. 결론: 비디오흉강경술에서 재발을 낮추기 위해 수술시 폐야 전체를 관찰하여 존재하는 폐기포를 놓치지 않는 것이 중요하며, 폐기포를 확인하지 못한 경우와 이차성 자연기흉에 대해서는 흉막유착술에 더 세심한 주의가 필요하다는 것을 확인하였다. 비디오흉강경수술은 통증이 적고, 입원기간이 짧고, 사회로의 복귀가 빠르며, 고위험군에 적용할 수 있고, 무엇보다도 미용상의 이점이 크다는 면에서 자연기흉에 대해 유용한 치료방법임에는 틀림이 없으나 개흉술에 비

• Journal of Periodontal and Implant Science
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• v.31 no.4
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• pp.651-659
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• 2001

후박추출물은 치주병인균에는 항균효과가 있고, 치은섬유아세포에는 세포독성이 적은 것으로 알려져 있으며 홍아씨 추출물은 골아세포를 활성화시키는 효과가 있어 골조직재생에 효과가 있는 것으로 알려져 있다. 이 실험의 목적은 비글견에 인위적으로 치주염을 유도하고 후박추출물과 홍화씨추출물의 혼합물을 투여함으로써, 이 두 가지 혼합물이 치주염 진행에 예방효과가 잇는지, 또, 치료효과가 있는지 알아보는 것이다. 후박과 홍화씨를 구입하여 에탄올에서 추출하여 정제하고 진공상태에서 건조시켜 농축하였다. 후박추출물과 홍화씨 추출물을 1:5의 질량비로 혼합하고 250㎎씩 캡슐에 넣었다. 비글견의 상하악 소구치와 하악 제1대구치를 8주 동안 철사와 견사로 결찰하여 치주염을 유발하였다. 8주 후에, 실험군 비글견에게는 미리 후박추출물과 홍화씨추출물 혼합물을 매 12시간마다 하루에 1,500㎎ 씩 12주 동안 투약하였다. 대조군 비글견에는 투약을 하지 않았다. 투약을 시작한 후에 치은지수, 부착수준을 매 4주마다 측정하였다. 매 4주마다 치주낭에서 페이퍼포인트를 이용하여 혐기성세균과 호기성세균을 채취, 배양하여 각각의 집락 수를 세었다. 그 결과 실험군의 치은지수는 8주, 12주에서 대조군보다 유의하게 낮았고(p<0.05)), 임상적으로도 상당한 치은염의 개선을 보였다. 실험군의 혐기성세균 집락수는 감소하여 4, 8, 및 12주에서 대조군에 비해 유의하게 낮았고(p<0.001), 호기성 세균 집락수는 4, 8, 및 12주에서 대조군에 비해 유의하게 낮았다.(p<0.05)이 실험 결과, 후박 추출물과 홍화씨 추출물 혼합물이 치주질환의 예방 및 치료에 이용되어질 수 있을 것으로 생각된다.