• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 1990.10a
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• pp.13-16
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• 1990

균일한 positive column의 상세한 이론이 충돌 단면적 곡선과 공진 방사 그리고 다단계 여기(multistage)와 이온화 과정을 고려하여 0.5에서 5mmHg 압력에서 수은과 희유가스(rare-gas)가 혼합되어 있는 D.C.형광 램프 방전에 대해 전개된다. 온도와 이온, 비여기원자, 여기원자의 밀도가 수치해석에 의하여 계산된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.1607_1608
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• 2009

LED를 조명용으로 사용하기 적합하도록 Lambertian Type의 백색 LED에 1차 렌즈를 씌어서 일정거리의 작업 면에서 균일한 조도를 얻고자, 광학 설계프로그램인 LightTools 를 이용하여 렌즈의 형태를 모델링하고 시뮬레이션을 통해 LED 광원의 배광분포 등의 광학적 특성을 비교분석함으로써 조도 균제도가 우수한 렌즈의 형태를 얻었다.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 1998.11a
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• pp.69-73
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• 1998

본 논문은 공동주택의 간선설계에서 단계적으로 굵기가 다른 일단 급전방식과 균일하게 부하가 분포되어 있는 방식을 실제 사례를 통하여 비교·분석한 것이다. 그 결과 후자의 방식이 즉 지하층에서 지상층까지 같은 굵기로 시설하는 방식이 경제적임을 알 수 있었다. 현재 사용되는 방식은 전압에 따른 상수를 적용하므로 전선의 종류에 따른 전압강하가 변하지 않는 문제를 가지고 있다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.108-108
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• 2011

최근 에너지 위기와 환경 규제 강화 및 친환경, 녹색성장 등의 이슈가 대두되면서 에너지 절감과 환경보호 분야에 그린 전력반도체 수요가 날로 증가되고 있다. 이러한 그린 전력반도체는 휴대용컴퓨터, 이동통신기기, 휴대폰, 조명, 자동차, 전동자전거, LED조명 등 다양한 종류의 전력소자들이 사용되고 있으며, 전력소자의 수요증가는 IT, NT, BT 등의 융복합기술의 발달로 새로운 분야에 전력소자의 수요로 창출되고 있다. 특히 환경오염을 줄이기 위한 고전압 대전류 전력소자의 에너지 효율을 높이는 연구 개발이 활발히 진행되고 있다. 종래의 전력소자는 평면형의 LDMOS나 VDMOS 기술을 이용한 소전류 주로 제작되어 수십 암페어의 필요한 대전류용으로 사용이 불가능하다. 반면 수직형 전력소자인 트렌치를 이용한 power 소자는 집적도를 증가 시킬 수 있을 뿐만 아니라 대전류 고전압 소자 제작에 유리하다. 특히 평면형 소자에 비해 약 30%이상 칩 면적을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 평면형에 비해 on-저항을 낮출 수 있기 때문에 수요가 날로 증가하고 있다. 트렌치 게이트 power MOS의 중요한 게이트 산화막 형성 기술은 트렌치 내부에 균일한 두께의 산화막 형성과 높은 신뢰성을 갖는 게이트 산화막 형성이 매우 중요하다. 본 연구에서는 전력소자를 제조하기 위해 트렌치 기술을 이용하여 수직형 전력소자를 제작하였다. 트렌치형 전력소자는 게이트 산화막을 균일하게 형성하는 것이 매우 중요한 기술이다. 종래의 수평형 소자 제조시 게이트 산화막 형성 후 산화막 두께가 매우 균일하게 성장되지만, 수직형 트렌치 게이트 산화막은 트렌치 내부벽의 결정구조가 다르기 때문에 $1000^{\circ}C$에서 열산화막 성장시 결정구조와 결정면에 따라 약 35% 이상 열산화막 두께가 차이가 난다. 본 연구는 이러한 문제점을 해결하기 위해 트렌치를 형성한 후 트렌치 내부의 결정구조를 변화 및 산화막의 종류와 산화막 형성 방법을 다르게 하여 균일한 게이트 산화막을 성장시켜 산화막의 두께 균일도를 향상시켰다. 그 결과 고밀도의 트렌치 게이트 셀을 제작하여 제작된 트렌치 내부에 동일한 두께의 게이트 산화막을 여러 종류로 산화막을 성장시킨 후 성장된 트렌치 내벽의 산화막의 두께 균일도와 게이트 산화막의 항복전압을 측정한 결과 약 25% 이상 높은 신뢰성을 갖는 게이트 산화막을 형성 할 수 있었다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.13 no.3
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• pp.173-181
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• 2002

The principle of an illumination system including fly-eyes lenses for a liquid crystal display (LCD) projector with 3-panels was presented and its optical system was designed by using the OSLO (premium edition 6.1) optical system design program. Two panels of the illumination system are well aligned for so that the illumination path length is the same, and the third panel has a longer pass length than the others. The two illumination types with the same or different illumination path lengths were derived by using the paraxial ray design method. Refraction powers and positions of each lens were analytically determined by the method, and the damped least square method was utilized to obtain the optimized uniform illumination system.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2009.10a
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• pp.240-240
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• 2009

오늘날 반도체 기술의 획기적인 발전에 의해서 마침내 에디슨의 탄소 필라멘트 백열전구를 대체할 수 있는 "반도체 필라멘트"라 불리는 고출력 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 공정은 기판의 온도 균일도를 향상시키는 것이 매우 중요하다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 둥이 장비의 설계 요소이다. 본 연구에서는 기관과 induction heater의 간격에 따른 온도를 thermal imaging camera (Fluke, Ti-10)을 이용하여 측정하였다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.16 no.1
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• pp.8-12
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• 2002

In this paper, we studied a flat fluorescent lamp with high luminance for LCD backlighting. The lamps have simple structures with ITO glass, insulator layer, phosphor layer, electrode layer and gas gap. The firing voltage was decreased with increasing the frequency. It was considered that this tendency was resulted from the space charge effect due to Xe and Ar positive ions trapped in gas gap. Decrease of uniform voltage at higher drive frequency is due to the remaining space charges which are produced by preceding period. As a result, luminance of 2700[cd/m$^2$] and maximum luminous efficiency of 51[m/W] were obtained with luminance uniformity of 96[%] in operation(700[V$\_$rms/], 80[kHz].

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 2009.10a
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• pp.73-76
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• 2009

The optical structure of edge-lit LED backlight has been optimized via simulation study in order to remove bright spots appearing on the entrance region of the light guide plate (LGP) and thus to improve the luminance uniformity. The density of scattering dots located on the back surface of LGP was adjusted according to the location of LED's. In addition, lenticular lenses or a diffuse transmissive surface were formed on the side surface of LGP facing the LED's, and the density of lenticular lenses was optimized for redistributing rays emitted from LED's into wider angles. The bright spots which could be seen from conventional LED backlight were removed by the combination of these two optical structures. The application of diffuse surface to the entrance face gave better uniformity than the application of lenticular lenses. However, dark regions still appear on the entrance region of LGP, which should be removed by more appropriate optical design for achieving better luminance uniformity on the LED backlight.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.23 no.5
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• pp.222-226
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• 2012

The design methods of the reflecting cup employed in an LED lamp are presented. The beam patterns of an LED lamp can be adjusted by functional segmentation of the reflector height. Thus, the reflecting angle of slope was designed according to the height. The analysis of the designed reflecting cup shows that precise adjustable beam patterns can be achieved.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.115-115
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• 2010

고휘도 고효율 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색 LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 에피웨이퍼공정은 에피층과 기판의 격자상수 차이와 열팽창계수차이로 인하여 생성되는 에피결함의 문제로 기판과 GaN 박막층 사이에 완충작용을 해줄 수 있는 버퍼층 (Buffer layer)을 만든다. 그 위에 InGaN/GaN MQW (Multi Quantum Well)공정을 하여 고휘도 고효율 백색 LED를 구현 할 수 있다. 이 공정에서 기판의 온도가 불균일해지면 wafer 파장 균일도가 나빠지므로 백색 LED의 yield가 떨어진다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 등이 장비의 설계 요소이다. 본 연구에서는 유도가열방식의 유도가열히터를 이용하여 기판과 히터의 간격에 차이에 따른 기판 균일도 측정했고, 회전에 의한 기판의 온도분포와 자기장분포의 실험적 결과를 상용화 유체역학 코드인 CFD-ACE+의 모델링 결과와 비교 했다. 또한 가스의 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도를 측정하였다. 본 연구에서 사용된 가열원은 유도가열히터 (Viewtong, VT-180C2)를 사용했고, 가열된 흑연판 표면의 온도를 2차원적으로 평가하기 위하여 적외선 열화상 카메라 (Fluke, Ti-10)를 이용하여 온도를 측정했다. 와전류에 의한 흑연판의 가열 현상을 누출 전계의 분포로 확인하기 위하여 Tektronix사의 A6302 probe와 TM502A amplifier를 사용했다. 흑연판 위에 1 cm2 간격으로 211곳에서 유도 전류를 측정했다. 유도전류는 벡터양이므로 $E{\theta}$를 측정했으며, 이때의 측정 방향은 흑연판의 원주방향이다. 또한 자기장에 의한 유도전류의 분포를 확인하기 위하여 KANETEC사의 TM-501을 이용하여 흑연판 중심으로부터 10 mm 간격으로 자기장을 측정 했다. 저항 가열 히터를 통하여 대류에 의한 온도 균일도를 평가한 결과 gap이 3 mm일때, 평균 온도 $166.5^{\circ}C$에서 불균일도 6.5%를 얻었으며, 회전에 의한 온도 균일도 측정 결과는 2.5 RPM일 때 평균온도 $163^{\circ}C$에서 5.5%의 불균일도를 확인했다. 또한 CFD-ACE+를 이용한 모델링 결과 자기장의 분포는 중심이 높은 분포를 나타냄을 확인했고, 기판의 온도분포는 중심으로부터 55 mm되는 곳에서 300 W/m3로 가장 높은 분포를 나타냈다. 가스 inlet 위치를 흑연판 중심으로 수직, 수평 방향으로 흘려주었을 때의 불균일도는 각각 10.5%, 8.0%로 수평 방향으로 가스를 흘려주었을 때 2.5% 온도 균일도 향상을 확인했다.