The Analysis of Radial Error Motion in Precision Rotary Stage Using Air-Bearing (에어베어링을 이용한 초정밀 회전 스테이지의 반경방향 오차 분석)

• Kim, J.H.;Han, C.S.;Shin, D.I.;Yun, D.W.;Lee, Y.G.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2007.11a
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  • pp.33-34
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  • 2007
• PDF

Optimal design of reaction force compensation device for precision stage considering eddy current damper (와전류 감쇠기를 고려한 정밀 스테이지용 반발력 보상 장치의 최적 설계)

• You, Y.H.;Pham, Minh Nha;Ahn, H.J.;Choi, D.S.;Cho, K.J.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2012.05a
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  • pp.1095-1096
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  • 2012
• PDF

Adaptive control of the precise two axes stage using piezoelectric actuator (압전소자를 이용한 2축 정밀 스테이지의 적응제어)

• Park, H.S.;Kim, Y.S.;Kim, I.S.;Kim, K.B.;Kim, J.S.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2012.10a
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  • pp.179-180
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  • 2012
• PDF

Design and Performance Evaluation of the Shear Type MR Damper for Ultra-Precision Stage (초정밀 스테이지용 전단형 MR 댐퍼의 설계 및 성능 평가)

• Seong, M.S.;Choi, S.B.;Kim, C.H.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2013.05a
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  • pp.739-740
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  • 2013
• PDF

Dynamics and Control Simulation for Development of High Precision Stage (초정밀 스테이지 개발을 위한 동역학 및 제어 시뮬레이션)

• Jeong, W.H.;Kwon, Y.U.;Seo, J.K.;Shin, S.K.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2013.05a
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  • pp.741-742
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  • 2013
• PDF

A Study on accuracy enhancement of 4-axis stage with Over-actuator mechanism (과구동 4축 스테이지의 정밀도 향상에 대한 연구)

• Choi, Y.S.;Noh, K.H.;Won, J.J.;Jeong, J.I.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2010.05a
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  • pp.563-564
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  • 2010
• PDF

Design of an ultra precision stage of flexure mechanisms (Flexure 기구를 채용한 초정밀 스테이지의 설계)

• Ahn, I.H.;Choi, W.C.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2006.10a
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  • pp.537-538
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  • 2006
• PDF

Water Hydrostatic Bearing Capillary Design for Precision Motion Stages (초정밀 이송 스테이지용 수정압 베어링 모세관 설계에 관한 연구)

• Shim, J.Y.;Oh, J.S.;Park, C.H.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2009.10a
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  • pp.585-586
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  • 2009
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A Study on the Design of the Sensing-assistant Linkage for Compensation of Thermal Drift of Ultra-precision positioning stage (초정밀 위치제어 스테이지의 온도드리프트 보상을 위한 측정보조링크 설계에 대한 연구)

• Lee, K.S.;Kim, S.H.;Kwak, Y.G.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2007.06a
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  • pp.345-346
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  • 2007
• PDF

A Study on Input Shaping Command Generation Method for High-Speed and Precise Positioning of XY Stage (XY 스테이지의 고속 정밀 위치결정을 위한 입력성형명령 생성 기법에 관한 연구)

• Jang, J.W.;Park, S.W.;Hong, S.W.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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  • 2007.06a
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  • pp.355-356
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  • 2007
• PDF

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