Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2010.05a
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- Pages.563-564
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
A Study on accuracy enhancement of 4-axis stage with Over-actuator mechanism
과구동 4축 스테이지의 정밀도 향상에 대한 연구
- Published : 2010.05.26