Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.10a
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  • Pages.585-586
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Water Hydrostatic Bearing Capillary Design for Precision Motion Stages

초정밀 이송 스테이지용 수정압 베어링 모세관 설계에 관한 연구

  • 심종엽 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
  • 오정석 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실)
  • Published : 2009.10.26
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Abstract

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