Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.33-34
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

The Analysis of Radial Error Motion in Precision Rotary Stage Using Air-Bearing

에어베어링을 이용한 초정밀 회전 스테이지의 반경방향 오차 분석

김진호 (한양대학교 대학원) ;
한창수 (한양대학교 기계공학과) ;
신동익 (한양대학교 대학원) ;
윤덕원 (한양대학교 대학원) ;
이융기 (한양대학교 대학원)

Published : 2007.11.08

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Abstract

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