Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.1095-1096
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Optimal design of reaction force compensation device for precision stage considering eddy current damper

와전류 감쇠기를 고려한 정밀 스테이지용 반발력 보상 장치의 최적 설계

유요한 (숭실대학교 기계공학과) ;
;
안형준 (숭실대학교 기계공학과) ;
최동수 ((주)저스텍 기술연구소) ;
조규중 ((주)저스텍 기술연구소)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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