에어베어링을 이용한 초정밀 회전 스테이지의 반경방향 오차 분석 (The Analysis of Radial Error Motion in Precision Rotary Stage Using Air-Bearing)

• 김진호;한창수;신동익;윤덕원;이융기
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.33-34
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  • 2007
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와전류 감쇠기를 고려한 정밀 스테이지용 반발력 보상 장치의 최적 설계 (Optimal design of reaction force compensation device for precision stage considering eddy current damper)

• 유요한;;안형준;최동수;조규중
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.1095-1096
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  • 2012
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압전소자를 이용한 2축 정밀 스테이지의 적응제어 (Adaptive control of the precise two axes stage using piezoelectric actuator)

• 박흥석;김영식;김인수;김기범;김준식
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.179-180
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  • 2012
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초정밀 스테이지용 전단형 MR 댐퍼의 설계 및 성능 평가 (Design and Performance Evaluation of the Shear Type MR Damper for Ultra-Precision Stage)

• 성민상;최승복;김철호
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.739-740
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  • 2013
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초정밀 스테이지 개발을 위한 동역학 및 제어 시뮬레이션 (Dynamics and Control Simulation for Development of High Precision Stage)

• 정완희;권용욱;서종규;신수근
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.741-742
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  • 2013
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과구동 4축 스테이지의 정밀도 향상에 대한 연구 (A Study on accuracy enhancement of 4-axis stage with Over-actuator mechanism)

• 최용석;노기훈;원종진;정재일
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.563-564
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  • 2010
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Flexure 기구를 채용한 초정밀 스테이지의 설계 (Design of an ultra precision stage of flexure mechanisms)

• 안일혁;최우천
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.537-538
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  • 2006
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초정밀 이송 스테이지용 수정압 베어링 모세관 설계에 관한 연구 (Water Hydrostatic Bearing Capillary Design for Precision Motion Stages)

• 심종엽;오정석;박천홍
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.585-586
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  • 2009
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초정밀 위치제어 스테이지의 온도드리프트 보상을 위한 측정보조링크 설계에 대한 연구 (A Study on the Design of the Sensing-assistant Linkage for Compensation of Thermal Drift of Ultra-precision positioning stage)

• 이경수;김수현;곽윤근
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.345-346
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  • 2007
• PDF

XY 스테이지의 고속 정밀 위치결정을 위한 입력성형명령 생성 기법에 관한 연구 (A Study on Input Shaping Command Generation Method for High-Speed and Precise Positioning of XY Stage)

• 장준원;박상원;홍성욱
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.355-356
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  • 2007
• PDF

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