Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.238-238
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2010
최근 전자산업의 발전은 형상 면에서 경박 단소화로 급속하게 진행되고 있으며, 전자소자 내부에서의 배선재료로 사용되고 있는 알루미늄(Al) 박막의 두께 역시 얇아지고 있다. 두께가 20 nm 이하로 작은 극박막 범위에서 박막의 두께 증가에 따라 전기가 잘 흐르기 시작하는 박막의 최소두께로 정의 되는 유착두께를 실시간으로 측정하는 방법을 구현하고 임의의 금속박막과 기판의 조합에 있어서 각각의 재료에 대한 유착두께를 제공함으로써 향후 미세전자소자의 제작시 배선 재료의 선택에 대한 기초자료를 축적할 수 있다. 또한 금속박막의 증착공정 직전에 기판을 표면처리 하여 기판을 활성화시킬 때 표면처리가 박막의 유착두께에 미치는 영향에 대해 박막의 미세구조 변화 관점에서 연구함으로써 여러 가지 금속박막에 대한 유착두께를 줄일 수 있는 방법을 도출 할 수 있다. 본 연구에서는 유리 기판 위에 사진 식각 공정으로 패턴을 형성하고 패턴이 형성된 유리 기판은 스퍼터에 연결된 4 point probe에 구리 도선으로 연결한 후 DC 마그네트론 스퍼터법으로 Al을 증착하면서 실시간으로 시간에 따른 전기저항을 측정을 하였다. 이때 스퍼터 내부 진공도는 $4.6\;{\times}\;10^{-5}\;torr$ 까지 낮춰준 후 Al을 증착 할 때 진공도는 $1.1\;{\times}\;10^{-2}\;torr$로 맞춰주고 Ar 가스를 20 sccm 넣어준다. 1초 간격으로 전기저항을 측정한 결과 25초대에 전기저항이 급격히 감소하였으며 이때 Al 박막의 두께는 $120{\AA}$ 이고 이 두께에서부터 전류의 흐름이 좋은 것을 알 수 있다. 박막 두께에 따른 특성을 알기위해 UV 영역의 빛을 사용하는 광전자 분광기(Photoelectron Spectrometer)를 이용해 일함수를 측정하였다. Al 의 일반적인 일함수는 4.28 eV 이며, 두께가 $120{\AA}$일 때의 일함수는 4.2 eV로 거의 비슷한 값을 얻었다. 전류가 잘 흐르기 전인 12초대에서 두께가 $60{\AA}$일 때 일함수는 4.00 eV 이고 전류가 흐르기 시작한 후 50초대에서 Al 박막 두께가 $200{\AA}$ 일 때 일함수는 4.28 eV 로 일반적인 Al의 일함수와 같은 값을 얻을 수 있었다. 광전자 분광기술은 전자소자에서 중요한 전자의 성능예측에 도움을 줄 수 있으며 물질의 표면에서 더욱 다양한 정보를 얻을 수 있다. 또한 실시간 전기저항 측정을 통한 금속박막의 전기전도 특성과 미세구조에 대한 기초 자료를 제공함으로써 신기술 발전에 공헌할 것이다.
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers D
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v.53
no.3
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pp.145-153
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2004
A nonlinear adaptive speed observer is designed for the sensorless control of induction motors. In order to design the speed observer, the measurements of the stator currents and the estimates of the rotor fluxes are used. The sliding mode cascade observer is designed to estimate the time derivatives of the stator currents. The open-loop observer is designed to estimate the rotor fluxes and its time derivatives using the stator current derivatives. The adaptive observer is also designed to estimate the rotor resistance. Sequentially, the rotor speed is calculated using these estimated values. It is shown that the estimation errors of the corresponding states and the parameters converge to the specified residual set. It is also shown that the speed controller using these estimates is performed well. The simulation examples are represented to investigate the validity of the proposed observers for the sensorless control of induction motors.
본 논문에서 취급한 제동권선이 없는 철극선의 3상단락현상을 해명하는데 있어 우선 임의력율의 전류를 횡축분과 직축분으로 분리해서 취급하는 소위 Blonde의 2반작용법(two reaction method)를 썼고, 각종 Reactance를 표시하는데는 편리한 단위법(perunit notation)을 사용했으며, 전기자의 1상저항은 각종 Reactance ( $X_{x}$, $X_{q}$ )의 어느것 보담도 극소치임으로 실제계산에는 무시했으나 과도전류의 변화를 좌우하는 감쇠정수[decrement factor)에는 큰 영향을 준다는 것이 규명되었다. 해석결과로서 3상단락전류의 초기치는 특수치보다 훨씬 큰 이유로서 단락전류가 계자자속을 약하게 만들어 그 반동으로 계자회로에 일정자속을 유지하기 위하여 부문적으로 개자전류가 증대함을 알게되었고, 단락전류의 직축분과 횡축분의 구성분이 규명검토되었고, 발전기의 돌발단락저류는 일반적으로 직류분, 기본파교류분 및 제2조파등을 포함하나 그 전부가 시정수의 역수인 감쇠정수에 지배되어서 지수함수곡선에 따라 감쇠되어 결국에는 지속단락전류에 귀착한다는 사실과 3상단락은 평형단락사고임으로 영상전류는 영이며 각상과도전류의 위상차가 120.deg.라는 것엔 변함이 없다는 것과 끝으로 철극기를 정격속도로 운전해 놓고 이것을 여자해서 무부하전압을 수기시켜 그의 3상전단자를 돌연 단락해서 그의 과도전류의 파형을 Oscillograph로 촬영하면 본론에서 해석한 결과식의 그것과 일치하게 됨을 알 수 있을 것이다.것이다.
In this paper, the solutions of TM (transverse magnetic) scattering problems by perfectly conducting strip grating on two dielectric layers are analyzed by applying the FGMM (Fourier Galerkin moment method) as a numerical method. For the TM scattering problem, the induced surface current density is expected to the very high value at both edges of the strip, then the induced surface current density on the strip is expanded in a series of the multiplication of the functions of appropriate edge boundary condition and the Chebyshev polynomials of the first kind. The numerical results are obtained for the magnitude of induced current density, the normalized reflected power and transmitted power. The numerical results using proposed functions were improved the convergence faster than existing exponential functions, and the numerical results shown the good agreement compared to those of the existing papers.
The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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v.12
no.4
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pp.575-584
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2017
It is suggested the circuit network to analyze the time response of control system. And it is analyzed the interrelation for classical control and modern control by the transfer function and the state equation. Without complicated integration of state transition equation, it is suggested to possible time response by combining the state transition matrix and the transfer function. A source program is coded to display the time response according to the unit-step and the sinusoidal input. Transient response is analyzed in the unit-step input and phase difference between current and voltage is analyzed in sinusoidal input. As writing the suggested contents in transient response or state-space analysis, it is improved the understanding for control engineering and ability for system design.
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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1999.11a
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pp.278-281
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1999
In this paper, Squential circuit was implemented by decision diagram that can analyze and test large amount of functions easily. First of all, Memery device of multiple valued squential circuit was used D F/F, implemented with CMOS current mode. The opreation property of this circuit involved by PSPICE simulation. The result of Decision Diagram sequential circuit is simple and regular for selecting wire routing and posesses the property of analyze, testing. so it suitable for VLSI implementation.
본 논문은 LCL 필터를 사용하는 계통연계형 인버터의 전류제어 안정도 향상을 위해 수동댐핑 기법을 적용하였으며, 안정도 해석기법을 기반으로 댐핑저항을 산정하였다. 전류제어기는 동기좌표계 PI 제어를 적용하였고, 인버터 $1.5T_s$ 시지연 특성을 고려한 전류제어 모델링을 수행하였다. 개루프 함수의 이득특성을 통해 필터공진을 0dB로 저감하는 최소 댐핑저항을 도출하였으며, 보드선도와 근궤적법을 기반으로 전류제어 안정도를 보장할 수 있는 적용 가능한 댐핑저항을 산정하였다. 댐핑저항을 적용한 7kW 인버터 시뮬레이션 및 실험을 통해 안정도 향상 및 댐핑저항 산정의 타당성을 검증하였다.
Journal of the Institute of Convergence Signal Processing
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v.19
no.2
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pp.77-88
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2018
This paper proposes a RBFNN(Radial Basis Function Neural Network) based decentralized adaptive tracking control scheme using PSO(Particle Swarm Optimization) for an uncertain electrically driven robot system with input saturation. Practically, the magnitudes of input voltage and current signals are limited due to the saturation of actuators in robot systems. The proposed controller overcomes this input saturation and does not require any robot link and actuator model parameters. The fitness function used in the presented PSO scheme is expressed as a multi-objective function including the magnitudes of voltages and currents as well as the tracking errors. Using a PSO scheme, the control gains and the number of the RBFs are tuned automatically and thus the performance of the control system is improved. The stability of the total control system is guaranteed by the Lyapunov stability analysis. The validity and robustness of the proposed control scheme are verified through simulation results.
Proceedings of the Korea Society for Industrial Systems Conference
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2000.05a
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pp.125-134
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2000
In this paper, we proposed a new circuit construction method that reduced the number of CMOS devices of singleton fuzzy controller(SFC) through the proposing a new membership function circuit(MFC) which uses the language variable selecting and the coefficient selecting circuit. According to the range of input values, we can choose the language variables beforehand which will be used in the inference. So we proposed the new MFC which generates the only necessary language variables. Also, we removed all rules of which adapting degree of their antecedents is zero through proposing the coefficient selecting circuit which beforehand selects the coefficients which will influence the inference result. Though this method, we simplified the structure of SFC and reduced the size of hardware. And to solve the problem in the current mode with respect to the restriction of the fan-out number, voltage-input and current-out membership function circuits are constituted of operational transconductance amplifiers. A membership function circuit which includes the language variable selecting circuit, a minimum operation circuit we implemented by current mode CMOS devices. As a result of applying proposed method, total numbers of blocks and devices wave decreased. If the number of variables and antecedents are getting larger, this method is more efficient.
Proceedings of the Korea Society for Industrial Systems Conference
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2000.11a
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pp.357-365
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2000
In this paper, we proposed a new circuit construction method that reduced the number of CMOS devices of singleton fuzzy controller(SFC) through the proposing a new membership function circuit(MFC) which uses the language variable selecting and the coefficient selecting circuit. According to the range of input values, we can choose the language variables beforehand which will be used in the inference. So we proposed the new MFC which generates the only necessary language variables. Also, we removed all rules of which adapting degree of their antecedents is zero through proposing the coefficient selecting circuit which beforehand selects the coefficients which will influence the inference result. Though this method, we simplified the structure of SFC and reduced the size of hardware. And to solve the problem in the current mode with respect to the restriction of the fan-out number, voltage-input and current-out membership function circuits are constituted of operational transconductance amplifiers. A membership function circuit which includes the language variable selecting circuit, a minimum operation circuit we implemented by current mode CMOS devices. As a result of applying proposed method, total numbers of blocks and devices wave decreased. If the number of variables and antecedents are getting larger, this method is more efficient.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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