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기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 연구

  • Heo, Jung-Sik;Im, Jong-Yeon;In, Sang-Ryeol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.16-16
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    • 2010
  • 반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A 17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.

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기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 연구

  • Heo, Jung-Sik;Im, Jong-Yeon;In, Sang-Ryeol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.328-328
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    • 2010
  • 반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태 보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.

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Vaporization of Hydrocarbon Fuel Droplet in Supercritical Environments (아임계 및 초임계 탄화수소 연료 액적의 기화 특성 연구)

  • Lee,Gyeong-Jae;Lee,Bong-Su;Kim,Jong-Hyeon;Gu,Ja-Ye
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • 제31권7호
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    • pp.85-93
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    • 2003
  • Droplet vaporization at various ambient pressures is studied numerically by formulating one dimensional evaporation model in the mixture of hydrocarbon fuel and air. The ambient pressure ranged from atmospheric conditions to the supercritical conditions. The modified Soave-Redlich-Kwong state equation is used to account for the real gas effects in the high pressure condition. Non-ideal thermodynamic and transport properties at near critical and supercritical conditions are considered. Some computational results are compared with Sato's experimental data for the validation of calculations. The comparison between predictions and experiments showed quite a good agreement. The droplet lifetime increases with increasing pressure at temperature lower than the critical temperature, however, it decreases with increasing pressure at temperature higher than the critical temperature. The solubility of nitrogen can not be neglected in the high pressure and it becomes higher as the temperature and the pressure go up.

A Study on Combustion Characteristic with Chamber Pressure in Hybrid Rocket (하이브리드 로켓에서의 압력에 따른 연소특성에 관한 연구)

  • Cho, Jung-Tae;Kim, Gi-Hun;Lee, Jung-Pyo;Kim, Hak-Chul;Park, Seon-Woo;Park, Joon-Hyng;Han, Hee-Soo;Hwang, Jae-Woong;Moon, Hee-Jang;Sung, Hong-Gye;Kim, Jin-Kon
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 한국추진공학회 2008년도 제31회 추계학술대회논문집
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    • pp.243-246
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    • 2008
  • The combustion characteristic of solid fuel with chamber pressure were experimentally studied in hybrid combustion. This paper was experimental confirmed whether solid fuel affected not only oxidizer mass flux but also chamber pressure. Poly-Ethylene(PE) was used as fuel, GOX was used as oxidizer. Chamber pressure was controled by nozzle throat diameter 6mm and 9mm. In low oxidizer mass flux, solid fuel regression rate was affected not only oxidizer mass flux but also chamber pressure. As well, the regression rate increase as chamber pressure increase with same oxidizer mass flux.

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Effect of Aspect Ratio of Flat Tube on R410A Evaporation Heat Transfer and Pressure Drop (납작관의 종횡비가 R-410A 증발열전달 및 압력손실에 미치는 영향)

  • Kim, Nae Hyun;Lee, Eul Jong;Byun, Ho Won
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • 제37권4호
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    • pp.395-404
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    • 2013
  • In this study, R-410A evaporation heat transfer tests were conducted in flattened tubes made from 5-mm round tubes. The test range covered a saturation temperature of $15^{\circ}C$, heat flux of $5{\sim}15kW/m^2K$, and mass flux of $200-400kg/m^2s$. The results showed that both the condensation heat transfer coefficient and the pressure drop increased as the aspect ratio increased, with a pronounced increase for an aspect ratio of 4. A comparison of the flattened tube data with existing correlations revealed that the heat transfer coefficients were reasonably predicted by the Shah correlation, and the pressure drops were reasonably predicted by the Jung and Radermacher correlation.

A Study of Bulk Modulus of Beryl Using Water as a Pressure-Transmitting Medium (물을 압력 매개체로 이용한 녹주석의 체적탄성률 연구)

  • Hwang, Gil Chan;Kim, Hyunho;Lee, Yongjae
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • 제30권3호
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    • pp.83-91
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    • 2017
  • In-situ high-pressure and ex-situ high temperature-pressure experiments of natural beryl ($Be_3Al_2Si_6O_{18}$, P6/mcc) from two different localities (beryl-A and beryl-B) were studied using pure water as pressure transmitting medium. Compared to the previous study using a mixture of methanol:ethanol medium in 4 : 1 by volume, pressure- and temperature-induced chemical and structural changes under water medium are expected to be different. The derived bulk moduli are 111(7) GPa, $K{_0}^{\prime}=73(7)$; 110(9) GPa, $K{_0}^{\prime}=65(8)$ for beryl-A and beryl-B, respectively. We observe densifications in volume compression, which appear to be attributed to the phase transitions of water to ICE VI and ICE VII around 1.0 GPa and 2.5 GPa, respectively.

Steady and Unsteady State Characteristics of Length Effects about Linear Pintle Nozzle (직선형 핀틀 노즐의 길이비에 따른 정상상태와 비정상상태 특성 연구)

  • Jeong, Kiyeon;Kang, Dong-Gi;Jung, Eunhee;Lee, Daeyeon;Kim, Dukhyun
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • 제22권3호
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    • pp.28-39
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    • 2018
  • In this study, numerical simulations were performed for steady and unsteady state characteristics of length effects on linear pintle nozzles using the overset grid method. Nozzles and pintles are created separately by an auto grid generation program to use the overset grid method. Appropriate turbulent models and numerical methods are selected for the validation of simulations. Pintle shapes are chosen from five types, with differences in the ratio of length and diameter. The longer the pintle length, the greater the thrust and thrust coefficient. The chamber pressure tendency of steady-state and unsteady-state are different for various pintle velocities. The thrust of the nozzle exit responds to changes in the nozzle throat in the unsteady-state, and the speed of pressure propagation wave generated by movement of the pintle is considered to predict the major factor of performance.

Reexamination of the combustion instability of solid propellant with radiative heat transfer (복사 열전달을 고려한 고체 추진제의 연소 불안정 현상에 관한 재해석)

  • 이창진;변영환;이재우
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 한국추진공학회 1997년도 제9회 학술강연회논문집
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    • pp.10-11
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    • 1997
  • 고체 추진제를 사용하는 추진 시스템을 개발하는데 가장 커다란 문제로 인식되고 있는 것은 추진제의 연소 특성을 이해하는 일이다. 그 중에서도 연소실의 압력 진동과 추진제 벽면으로 흡수되는 복사 열전달에 의한 연소율(burning rate)의 변화로 인하여 발생하는 연소 불안정에 대한 이해는 아직도 완전히 규명되지 않고 있다. 고체 추진제의 연소 불안정에 대한 이론적 해석은 준-정상 1차원 해석(Quasi-Steady Homogeneous One-Dimension) 방법에 의하여 단순화된 지배방정식을 해석하는 것이 일반적으로 잘 알려져 있는 방법이다. 이 가정은 고체 추진제가 연수되는 영역을 두께가 매우 얇은 영역의 표면반응영역(surface reaction layer)과 화학반응이 없는 응축상태영역(condensed phase zone) 그리고 기체상태의 연료와 화염이 존재하는 기체상태영역(gas phase zone) 등의 3영역으로 구분하며, 기체상태영역에서 발생하는 교란에 대한 응축상태영역의 반응시간 크기(response time scale)가 매우 크기 때문에 응축상태영역의 반응은 준 정상적으로 일어난다고 가정하는 것이다.그러나, 연소실의 온도가 $3000^{\circ}K$ 정도의 높은 온도이어서 복사 열전달에 의한 고체 추진제의 가열이 중요한 열전달 방법으로 작용하게 되므로 이를 무시한 이론적 해석은 물리적인 중요성이 약하여질 수밖에 없다. 본 연구에서는 기체영역으로부터 전달되는 복사 열전달은 투명(transparent)한 표면반응영역을 통과하여 응축상태영역에서 모두 흡수되며 추진제 표면에서의 복사열방출(emission)을 고려하였다. 또한 연소불안정 현상을 해석하기 위하여 표면반응영역에서의 경계조건은 선형교란량으로 대치하는 Zn(Zeldovich-Novozhilov) 방법을 사용하였다. 이 방법은 기체상태영역에 대한 구체적인 해석없이도 연소불안정 현상을 해석할 수 있는 장점이 잇다. 즉 응축상태영역에서의 연소율과 표면온도는 각각 기체영역으로부터 전달되는 온도구배와 연소압력, 그리고 복사 열전달의 함수관계이므로 선형교란에 의한 추진제표면에서의 교란경계조건을 얻을 수 잇으며, 응축영역의 교란지배방정식과 함께 사용하여 압력교란과 복사 열전달의 교란에 대한 연소율의 교란 증감 여부를 판단하여 연소 불안정 현상을 해석할 수 있다.

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Pump operation based on pressure sensors for the damage reduction of water distribution system (상수도관망의 피해저감을 위한 센서기반 펌프운영)

  • Kwon, Hyuk Jae;Kim, Hyeong Gi
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 한국수자원학회 2019년도 학술발표회
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    • pp.200-200
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    • 2019
  • 본 연구에서는 실제 가압장 및 가압장후단부의 상수도관망에 발생가능한 수충격해석을 수행하고 신뢰성해석을 수행하여 파괴확률을 정량적으로 산정하였다. 이를 위해 가압장의 펌프운영조건을 다르게 적용하였고 관말단부의 압력센서를 이용하여 토출압을 선택적으로 운영하면 수충격의 규모도 작아지고 파괴확률도 대폭 줄어드는 것을 확인할 수 있었다. 가압장의 토출압을 선택적으로 운영하기 위해서는 관말단부에 필수적으로 충분한 수압이 존재해야하며 이를 위해서 실시간 모니터링이 가능한 압력계를 설치하게 된다. 이 압력계로부터 수신되는 데이터를 통하여 펌프의 운영이 이루어지고 최소한의 에너지 사용을 통해 효율을 증대하고 피해율도 저감하게 된다. 본 연구에서 개발된 센서기반 펌프운영시스템이 적용된 실제 상수도관망은 현재 가압장의 운영조건으로 24시간 75m의 펌프 토출압을 유지하고 있으며 관말단부의 수용가에 충분한 수압이 전달되고 있다. 가압장의 고압유지는 관말단부에 충분한 수압을 전달하기 위한 것이지만 상수도관망에서 누수와 시설물에 대한 많은 피해를 유발할 수 있다. 따라서 본 연구에서는 가압장의 펌프토출압을 75m와 60m로 선택적 운영을 할 수 있도록 프로그램을 개발하였다. 기존 가압장의 운영조건과 선택적 운영조건을 사용하여 수충격해석을 수행하였고 신뢰성해석모형을 사용하여 파괴확률을 정량적으로 산정할 수 있었다. 가압장의 운영조건을 최적화하여 효율은 증대하고 피해율을 저감할 수 있는 방법을 찾을 수 있었다. 이를 위해서 가압장의 인버터 설치는 물론이고 펌프의 최적운영을 위해 개발된 펌프운영 프로그램을 가압장 배전반에 장착하여 경제적인 운영이 될 수 있을 뿐만 아니라 실제 상수관망에서 과도한 수압으로 인해 발생할 수 있는 여러 가지 피해를 최소화할 수 있을 것으로 판단된다. 또한, 본 연구에서는 기존의 펌프장 토출압으로 운영되었을 때와 비교하여 에너지 절감율을 정량적으로 산정하여 비교분석하였다. 가압장 후단의 작은 마을을 대상으로 하여 절감된 전기요금은 적은 양이라 할 수 있겠으나 개발된 시스템을 전국에 적용한다면 에너지 절감으로 인한 경제적 파급효과는 크다고 할 수 있다.

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Hydrodynamic Analysis on Shock-induced Detonation in Pyrotechnic Initiator (파이로테크닉 착화기의 충격파 전달에 의한 폭굉 반응 해석)

  • Kim, Bohoon;Kang, Wonkyu;Jang, Seung-gyo;Yoh, Jai-ick
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • 제20권5호
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    • pp.19-30
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    • 2016
  • We presented a hydrodynamic modeling necessary to accurately reproduce shock-induced detonation of pyrotechnic initiator. The methodology for such numerical prediction of shock propagation is quite straight forward if the models are properly implemented and solved in a well-formulated shock physics code. A series of SSGT(Small Scale Gap Test) and detailed hydrodynamic simulation are conducted to quantify the shock sensitivity of an acceptor that contains 97.5% RDX. A TBI(Through Bulkhead Initiator) system, consisting of a train configuration of Donor(HNS+HMX) - Bulkhead(STS) - Acceptor(RDX), were investigated to further validate the interaction between energetic and non-reactive materials for predicting the detonating response for successful operation of such small pyro device.