플라즈마 공정은 집적회로 제작을 위한 미세 박막의 증착과 패턴닝에 핵심적으로 이용되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마공정감시와 제어에 응용될 수 있는 모델을 제안한다. 본 모델은 광방사분광기 (Optical emission spectroscopy-OES)정보와 역전파 신경망을 이용해서 개발하였다. 제안된 기법은 Oxide 식각공정에서 수집한 데이터에 적용하였으며, 체계적인 모델링을 위해 공정데이터는 통계적 실험계획법을 적용하여 수집되었다. Raw OES 정보대신, Actinometric OES 정보를 이용하였으며, 신경망의 예측성능은 유전자 알고리즘을 이용해서 증진시켰다. OES의 차수를 줄이기 위해 주인자 분석 (Principal Component Analysis-PCA)을 세 종류의 분산(100, 99, 98%)에 대해서 적용하였다. 최적화한 모델의 예측에러는 323 $\AA/min$이었다. 이전에 PCA를 적용하고 은닉층 뉴런의 함수로 최적화한 모델의 예측에러는 570 $\AA/min$이었으며, 개발된 모델은 이에 비해 43% 증진된 예측 성능을 보이고 있다.
전력계통은 송전선로, 발전기, 변압기 등의 다양한 요소들로 구성된다. 이러한 전력계통 내에서 스위칭 또는 낙뢰 등에 의해 과도현상이 발생할 경우, 고려해야 할 정도의 과전압이 발생하며, 이의 분석은 매우 중요하다. 본 논문에서는 전력계통 과도해석 프로그램인 EMTP-RV를 사용하여 발전기와 주변압기 연계 계통을 모델링하고, 계통 내에서 발생하는 과전압을 모의하였다. 또한 발생한 과전압이 제어회로에 미치는 영향을 모의하고, 분석하였다.
전력계통에서 부하모델은 안정도 해석과 조류계산의 정도를 높이기 위하여 매우 중요하다. 전력계통의 모선은 전압/주파수 변화에 따라 소비형태가 다른 다양한 부하들로 구성되어 있다. 따라서 전압/주파수 변화에 따른 부하모델을 고려하지 않으면 안된다. 본 연구는 정도 높은 부하모델링을 위해 신경회로망을 사용하였다. 대표적인 주거용 부하를 선정하여 전압과 주파수를 변화시키면서 부하특성을 측정하였다. 실험에서 얻은 실적자료로 신경회로망을 이용한 개별부하모델을 구축하고, 개별부하모델과 부하구성비에 의한 집단부하 모델을 제시하였다. 또, 전력계통해석 프로그램에 적용하기 위한 수학적 모델로의 변환기법을 제시하였다.
Interruption of AC is easier due to natural occuring of zero crossings. In DC, zero crossings is achieved by Forced commutation technique. In this paper an alternative counter voltage(ACV) DC Hybrid Circuit breaker(DC-HCB) is modeled using EMTP/ATP tool, Results show that, ACV DC-HCB can interrupt DC with in 5ms with a source voltage of upto 1 KV.
We develop an analytical model of the static and the dynamic characteristics of amorphous silicon thin film transistors (a-Si TFTs) in order to incorporate into a widely used circuit simulator such as SPICE. The critical parameters considered in our analytical model of a-Si TFT are the power factor (XN) of saturation source-drain current and the effective channel length (L') at saturation region. The power factor, XN must not always obey so-called
집적회로 제조를 위하여 점차로 대면적, 고밀도 플라즈마 원이 요구됨에 따라 유도결합 플라즈마에 대한 관심이 다시 새로워지고 있다. 여기서는 몇가지 형태의 유도 결합 플라즈마원을 소개한다. 보통 0.5-28 MHz의 RF유도결합으로 mTorr 이하의 저압방전에서도 $10^{12}$$cm^{-3}$이상의 이온밀도를 얻을 수 있다. ICP는 플라즈마 공정의 미래 요구에 부응할 방법 중의 하나임에 틀림없으며 오래전부터 알려져 있었으나 아직 공정개발, 플라즈마 물성 및 모델링에 관한 연구가 많이 필요하므로 소개하고자 한다.
회로 구성 방법에 따라 등가 회로의 파형이 다르게 나타나는 경우가 있는데 본 논문에서 분석한 500kV 시스템에서 J.R. Marti가 제안한 주파수 의존 모델과 II-등가회로를 각각 이용했을 경우를 예로 들 수 있다. 본 논문에서는 각각의 파형을 비교 분석하고 500kV 시스템에서 스위치 개폐에 따른 전압, 전류 파형을 분석하므로서 JMarti line의 특성을 제시하였다.
전기자동차들을 수학적으로 모델링하고 시뮬레이션 하는 많은 방법들이 있다. 전기 자동차의 각 요소들은 다른 물리적인 배경과 모델들을 갖고 있으나, 하나의 수학적 모델로 구성하기란 어려우므로 다양한 물리적 모델이 요구된다. 시뮬레이션이 목적에 따라 수행할 시뮬레이션에 관한 디양한 레벨들이 있다. 즉, 개념 체계 레벨, 회로 레벨, 더 상세한 요소레벨로 구성된다. 본 연구에서는 전기 자동차에서 여러 가지 요소들에 대한 다양한 물리적 모델들과, 다중레벨 시뮬레이션에 관하여 연구하고자 한다. 또한, 본 시뮬레이션 방법은 공학교육에 학습효과를 향상 시킬 수 있다.
본 논문에서는 ESD 보호회로의 전류구동 특성을 향상시키기 위해 일반적인 저전압용 ESD 보호회로인 LVTSCR의 구조적 변경을 적용한 ESD 보호회로를 제안한다. LVTSCR 구조에서의 electric field와 ESD 전류 경로가 형성 되는 영역을 분리하여 전력 소모를 최소화 하였으며 이에 대한 전기적 특성을 분석하고 전류 구동 특성을 개선하였다. 시뮬레이션을 통한 System-level 특성 저하에 기인하는 구조적인 문제를 분석하였으며 이를 반영하여 특성을 검증하였다. 제안된 ESD 보호회로의 전기적 특성은 TCAD 시뮬레이션을 통해 검증하였으며 HBM 모델링 및 System-level 모델링을 통해 분석하였다. 또한, DB-Hitek사의 0.18um BCD 공정을 통해 silicon 제작 및 HBM 10kV 특성 검증하였다.
EHPS는 탈엔진형 조향기술로 BLDC 모터를 통해 유압펌프를 작동시켜 조향력을 보조하는 동력 조향장치이다. EHPS는 BLDC 모터, 기어펌프 및 유압회로, 파워 스티어링 등으로 이루어진 전기전자, 유압 및 기계시스템의 복합적 시스템으로 모델링이 어렵다. 본 논문에서는 EHPS 시스템의 구성 부품을 수학적 모델링 하였고, AMESim을 이용하여 multi-domain 시스템의 시뮬레이션 모델을 구축하였다. 이를 활용한 다양한 시뮬레이션을 통해 개발 초기단계에서의 시행착오를 줄이고 완성도 높은 EHPS 개발 업무를 수행하는 데 도움을 줄 수 있을 것으로 사료된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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