Park, Dong-Hyuck;Jung, Hye-Man;Kim, Jong-Hyun;Yoo, Dong-Wook;Song, Eui-Ho
Proceedings of the KIPE Conference
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2008.06a
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pp.363-365
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2008
탄소나노튜브를 이용한 이미터 전계방출 면광원용 안정기를 제안한다. 안정기는 고전압 직류전압 부분과 양극의 펄스를 생성하는 부분으로 구성되어 있다. 탄소나노튜브를 이용한 전계방출 램프는 3가지의 전극 (애노드, 게이트, 캐소드)으로 구성되어 있는데, 애노드와 게이트 사이에는 고전압 직류가 공급되고 게이트와 캐소드 사이에는 양극의 펄스가 공급된다. 램프 및 안정기를 보호하기 위하여 과전류, 과전압, 과온도에 대한 보호 기능을 추가하였고, 실험을 통하여 제안된 방식이 탄소나노튜브 램프 구동을 위한 적합함을 검증하였다.
The fabrication process and emission characteristics of gated silicon field emitter arrays(FEAs) using chemical-mechanical-polishing (CMP) method are described. Novel fabrication techniques consisting of two-step dry etching with oxidation of silicon and CMP processes were developed for the formation of sharp tips and clear-cut edged gate electrodes, respectively. The gate height and aperture could be easily controlled by varying the polishing time and pressure in the CMP process. We obtained silicon FEAs having self-aligned and clear-cut edged gate electrode opening by eliminating the dishing problem during the CMP process with an oxide mask layer. The tip height of the finally fabricated FEAs was about 1.1 $\mu$m and the end radius of the tips was smaller than 100 $\AA$. The emission current meaured from the fabricated 2809 tips array was about 31 $\mu$A at a gate voltage of 80 V.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.6
no.1
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pp.65-73
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1999
Si-tip FEAs were fabricated by a lift-off based process and their operating properties were evaluated. The dependence of emission current on applied gate and anode voltages, maximum emission current, hysteresis phenomena, MOSFET-type curves, current fluctuation, light emission from the emitted electrons, and failure mechanism of the device were widely discussed based on the experimental results.
Metal coating with several nanometer thickness was applied on the carbon nanotubes (CNTs) in order to improve electron emission characteristics and emission reliability for the potential applications in the area of various electron sources and displays. CNTs were grown on the 2-nm thick Invar (52% Fe, 42% Ni, 6% Co alloy)-catalized Si substrate by using plasma-enhanced chemical vapor deposition at $450^{\circ}C$. In order to reduce the spatial density of densely packed CNTs, as-grown CNTs were partly etched back by $N_2$ plasma and subsequently coated with 5~150 nm thick Ti by a sputtering method. 5 nm thick Ti-coated CNTs produced four times higher emission current density at the electric field of 6 V/${\mu}m$ and much lower emission current fluctuation, compared with the as-grown CNTs. These improved emission properties are mainly due to not only the work function of Ti (4.3 eV) lower than that of pristine CNTs (5 eV), but also lower contact resistance and better adhesion between CNT emitters and substrate accomplished by Ti coating.
We have succeeded in synthesizing vertically aligned thin multi-walled carbon nanotubes (VA thin-MWCNTs) by a catalytic chemical vapor deposition (CCVD) method onto Fe/Al thin film deposited on a Si wafers using an optimum amount of hydrogen sulfide ($H_2S$) additive. Scanning electron microscope (SEM) images revealed that the as-synthesized CNT arrays were vertically well-oriented perpendicular to the substrate with relatively uniform length. Transmission electron microscope (TEM) observations indicated that the as-grown CNTs were nearly catalyst-free thin-MWCNTs with small outer diameters of less than 10nm. The average wall number is about 5. We suggested a possible growth mechanism of the VA thin-MWCNT arrays. The VA thin-MWCNTs showed a low turn-on electric field of about $1.1\;V/{\mu}m$ at a current density of $0.1\;{\mu}A/cm^2$ and a high emission current density about $2.5\;mA/cm^2$ at a bias field of $2.7\;V/{\mu}m$. Moreover, the VA thin-MWCNTs presented better field emission stability without degradation over 20 hours (h) at the emission current density of about $1\;mA/cm^2$.
A new triode type Ti-silicided Si FEA(field emitter array) was realized by Ti-silicidation of Ti coated Si FEA and its field emission properties were investigated. In the fabricated device, the field emission properties through the unit pixel with $200{\mu\textrm{m}}{\times}200{$\mu\textrm{m}}$ tip array in the area of $1000{\mu\textrm{m}}{\times}1000{$\mu\textrm{m}}$ were as follows : the turn-on voltage was about 70V under high vacuum condition of $10^8Torr$, and the field emission current and steady state current degradation were about 2nA/tip and 0.3%/min under the bias of $V_A=500V\;and\;V_G=150V$. The low turn-on voltage and the high current stability during long term operation of the Ti silicided Si FEA were due to the thermal and chemical stability and the low work function of silicide layer formed at the surface of Si tip.
Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.24
no.2
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pp.101-105
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2010
We fabricated FEDs(Filed emission devices) based on ZnO nanowires. The ZnO nanowires were synthesized on Au thin films by hydrothermal method at the temperature of 90[$^{\circ}C$] on hot plate. In order to form tips of the ZnO nanowire, SDS(Sodium Dodecyl Sulfate) was mixed in O.05-0.3[wt%] solution as capping material. After 2 hour growth, we obtained nanowires of chain form The high-purity nanowires showed sharp tip geometry with a wurtzite structure. The field emission properties of the ZnO nanowires were investigated in high vacuum chamber. The turn-on field for the ZnO nanowires was found to be about 4.1[V/${\mu}m$] at a current density of 0.1[${\mu}A/cm^2$].
Park, Dong-Hyuck;Ha, Seok-Jin;Jung, Hye-Man;Kim, Jong-Hyun;Baek, Ju-Won;Yoo, Dong-Wook;Song, Eui-Ho
The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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v.14
no.1
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pp.31-37
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2009
Hybrid ballast for field emission lamp with CNT (carbon nano tube) emitter is proposed. Hybrid ballast consists of a high voltage dc part and hi-polar pulse generation part. Field emission lamp with CNT lamp is composed of three electrodes (anode, gate, and cathode). High voltage dc part is for anode and gate and hi-polar pulse generation part is for gate and cathode in CNT triode respectively. The experimental results demonstrate that the proposed topology is good for driving CNT lamp. To protect the lamp and ballast, OCP (Over Current Protection), OVP (Over Voltage Protection), and OTP (Over Temperature Protection) are added and the experimental results demonstrate that the proposed method is good for driving field emission lamp with CNT emitter.
In this study, carbon nanotubes (CNTs) were grown on glass substrates coated with Ni/Cr by an atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition(AP-PECVD) and their structural and electrical characteristics were investigated as a possible application to the field emitter of field emission display (FED) devices. The substrate temperature ($400{\sim}500^{\circ}C$) were varied and the grown CNTs were multi wall CNTs (at $500^{\circ}C$, 15 - 20 layers of graphene sheets, distance of each layer : 0.3nm, inner diameter: 10 - 15nm, outer diameter: 30 - 40nm). The ratio of defective carbon peak to graphite carbon peak of the CNTs grown at $500^{\circ}C$ (C measured by fourier transform(FT)-Raman was 0.772 $I_D / I_G$ ratio. When field emission properties were measured, the turn-on field was $2.92V/{\mu}m$ and the emission field at $1mA/cm^2$ was $5.325V /{\mu}m$.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.26
no.3
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pp.71-74
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2019
In this study, we fabricated two standard and inverted quantum dot light emitting diodes (QLEDs) using $TiO_2$ nanoparticles (NPs) with lower electron mobility than ZnO NPs as inorganic electron transport layer to suppress electron injection into the emitting layer. Current density was much higher for the inverted QLEDs than the standard ones. The inverted QLEDs were brighter, but showed low current efficiency due to the high current density. In addition, as the current density was higher, the driving voltage was higher, and the red shift was confirmed in the emission wavelength spectrum. The low current density in the standard structured devices showed that the possibility that $TiO_2$ NPs could suppress the electron injection in the QLEDs.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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