• 한국콘텐츠학회논문지
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• 제13권3호
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• pp.65-75
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• 2013

영화는 색(色)과 음(音), 그리고 연상 작용에 의한 향(香)을 공감각화한 비쥬얼 스토리텔링이며, 관객이 감각적으로 영화적 사건을 체험하게 한다. 관객은 영화적 이야기에 몰입함으로써 현실세계에서 분리된 객석의 자아를 통해 영화적 세계, 즉 압축된 시 공간의 장(場)에서 억압되고 병치된 인간의 원형적 감정, 쾌락, 공포, 두려움을 재경험하게 된다. 본 연구는 영화 <부러진 화살>을 통해 관객의 쾌감과 두려움의 감정을 볼 것이다. 먼저 쾌감은 니체의 "힘에의 의지"의 관점에서 볼 것이다. 니체는 숨 쉬고, 움직이며, 의지가 있는 것이 살아있는 생명적 존재라고 정의하고, 그것의 동력은 힘에의 의지라고 주장한다. "인간은 힘을 요구하고, 얻고자 하고, 증대시키려 하며 소망한다. 이것이 인간행위와 현상의 원인이다. 또한 인간은 자기보존충동이 있고, 그것은 심적 동기인 쾌감추구로서 작동한다". 우리는 힘의 관점에서 일반적인 심적 동기로서의 쾌감을 <부러진 화살>의 관객의 기쁨과 연계시켜 볼 것이다. 관객은 개념적 약자로서 가난한 자, 여성, 성적 소수자 등등의 도전과 승리에서 자기 보존적 본능을, 즉 쾌감을 느낀다. 이어 관객의 불안, 공포, 두려움의 징후들을 라캉의 정신분석학에 나오는 '아버지의 이름 Name-of-the-Father'의 관점에서 분석할 것이다. 라캉은 프로이트의 이드, 자아, 초자아의 개념을 실재계, 상상계, 상징계로 확장하고, 이 계(界)들 가운데 상징계(질서세계)에서 '아버지의 이름'을 언급한다. 익히 알려진 것처럼 소쉬르가 "일반 언어학 강의"에서 언어의 기본적 구조로서 기표와 기의를 규명하였고, 이에 근거하여 라캉은 '아버지의 이름'을 사회화의 기본적 기표로, 그리고 연결장치로서 제시한다. 아버지의 이름은 법의 상징이자 은유로서, 그의 부재와 그에 대한 항거는 사회의 불안으로 직결된다. 마지막으로 자기 보존적 본능에서 촉발되는 저항의 쾌감과 법(질서)의 부재에서 오는 두려움, 이러한 본래적 감정이 진보와 보수의 가치관에 연계되어 있음도 함께 고찰하고자 한다.

• 한국지구과학회지
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• 제28권1호
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• pp.64-74
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• 2007

최근 들어 환경, 자원 등과 관련하여 연안지역에서의 지구물리 탐사에 대한 관심이 높아지고 있다. 그러나 연안 지역은 수심이 얕기 때문에 탐사선을 이용한 해양 탄성파 탐사는 많은 제약이 있다. 이러한 탄성파 탐사의 제한조건을 극복하기 위하여 상대적으로 적은 비용의 전기 및 전자탐사 기법의 활용이 유망하지만, 전기탐사의 경우는 지하매질이 해수에 포화되어 높은 전기전도도를 갖기 때문에 고출력의 송신부가 필수적이다. 이에 본 연구에서는 일부 천해저 환경이 나타나는 갯벌 지역에서 자연적으로 발생하는 전자기장을 송신원으로 사용하는 자기지전류 탐사를 수행하여, 적용성 및 효용성을 평가 하였다. 서해안의 근흥만 지역에서 AMT와 탄성파 반사법 탐사를 함께 수행한 결과 근흥만 지역의 지층 구조는 갯벌을 이루는 미고화된 머드층, 홀로세 이전의 준고화된 퇴적층, 선캠프리아기의 운모편암과 규암으로 구성된 기반암으로 이루어진 것으로 해석된다. AMT 탐사와 탄성파 탐사 해석 결과 모두 홀로세 이전의 준고화된 퇴적층 상부의 깊이가 $13{\sim}20m$ 부근으로 나타나, AMT탐사 자료로부터 상층부 구조 해석은 타당한 것으로 보인다. 기반암의 경우 전반적인 구조는 유사한 형태를 나타내지만, AMT 탐사에서는 그 심도가 약 $30{\sim}50m$, 탄성파에서는 $27{\sim}33m$로 해석되어, AMT 탐사 기법의 분해능과 관련하여 기반암 심도는 다소 과대평가되는 경향성이 나타났다. 그러나, AMT탐사 기법의 상부층에 대한 분해능, 간편성, 안정성, 환경친화성 등을 고려할 때, 연안지역에서 탄성파 탐사나 전기비저항 탐사를 대신할 수 있는 것으로 평가 된다.

• 철학연구
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• 제123호
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• pp.137-185
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• 2018

여성혐오를 넘어서기 위해서는 여성이라는 존재론적 차원의 물질성과 현실성을 기각시키거나 저항의 단위소를 무화시키는 것이 아닌, 성별 불평등구조에서 지배계급성을 구성하고 있는 남성성의 작동 메커니즘에 대한 치밀한 분석과 해체로 나아가야 한다. 이를 위해 필자는 첫 번째로 남근질서라는 아버지의 법질서에서 팔루스와 페니스 간의 유착성-팔루스가 초월적이며 절대적 심급이 아닌 스스로 축소되고 사라져버리는 페니스의 유약성에 참조점을 두고 있는 내재적 결핍성의 지점임을 이론적으로 추적해나감으로써 남근질서의 해체가능성을 모색해보고자 한다. 두 번째로 남성지배의 축 중 하나인 페니스 나르시시즘이라는 개인적 정체성화의 작동방식을 분석해보고자 한다. 여기서 페니스는 해부학적 기관에 그치는 것이 아니라 자기애의 온전성을 담지받는 장소이자 아버지의 법질서의 사회문화적 권위와 권력의 계승점을 나타내는 것이다. 즉 남성은 자신의 페니스를 중심으로 페니스 나르시시즘이라는 개인으로서의 남성의 정체성화 양식을 구성해나가고 있으며, 사회문화적으로는 방기하는 몸이라는 권력적 몸, 특권적 몸을 양산하는 것이다. 세 번째로 남성지배의 또 다른 축인 페니스 카르텔이라는 집단적 정체성화의 메커니즘은 남성들의 본래적 우월성의 상호확인에서만이 아니라, 남성들의 자기 완결성의 결여, 무능력함과 형편없음, 비리 축적을 상호 묵인함으로써 더욱 더 강력하게 작동하는 것이다. 왜냐하면 남성 특권구조란 특정한 남성 개개인에게 독점되는 양태가 아니라, 남성이라는 성별 계급으로 범주화된 이들이 의식적, 무의식적으로 나눠가지는 지배적 집합성에서 기인하는 것이기 때문이다. 이러한 페니스 나르시시즘과 페니스 카르텔을 해체하기 위해서 페니스가 자기완결적이며 불침투적인 닫힌 몸이 아님을 드러내어야 한다. 즉 페니스는 사정기관과 배설 기관이라는 다공성의 일체화 구조를 통해 구멍 지어진 몸이자 숭고와 비천, 깨끗함과 더러움 등의 분열적 지점이라 할 수 있다. 또한 우뚝 솟은 불변의 공격성과 능동성, 힘과 권위의 기관이 아닌, 시시각각 형태가 변하는 유동적 살로서의 페니스와 팔루스-기관의 유약성을 연동시켜 사유해봄으로써 페니스 카르텔의 남근다발이 한데 묶일 수조차 없는 결핍성의 지대임을 논증하고자 한다. 남근 이데올로기론이 갖는 임계점을 이론적으로 살펴봄으로써, 폭압적 남성성의 재생산 고리를 끊어내어 여성혐오를 극복해보고자 한다.

• 대중서사연구
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• 제26권3호
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• pp.189-219
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• 2020

이 글은 한돌 이흥건의 타래를 서사와 미학의 측면에서 분석한다. 이 때 등장하는 분석 요소는 자연과 인간, 소외와 관심, 분단과 통일, 디아스포라와 겨레 등 이항 대립의 현상과 본질이다. 1970년대 후반부터 1990년대 초반까지의 타래는 군사 독재 때부터 발생한 산업화와 도시화, 난개발, 서구화, 입시 위주 교육, 빈부 차, 인간 소외, 분단 갈등의 사회 문제를 무저항과 불복종의 정신으로 맞서는 상실과 고통의 체험 서사를 노래하였다. 그리고 창작 의욕이 단절된 공백기를 자기 성찰과 노력으로 극복한 이후의 타래는 '자연의 울림과 자기의 참모습', '디아스포라 의식과 겨레의 얼'을 일체화하는 디아스포라 서사시의 느낌이 두드러진다. <터>에서 시작한 조국과 국토, 겨레에 대한 서사시는 <한뫼줄기>를 전환점으로 뿌리보다 길을 찾는 디아스포라 의식이 선명해진다. 한돌은 음악보다 서사의 원천에서 영감을 얻는다. 그의 타래는 '노랫말을 위해서 리듬이 곁들어지는 것'에 치중한다. 이 때문에 타래가 갖는 기호학적 특성은 내재적 의미(슬픔의 정서)가 오묘해도 외형적 음운이 단순한 것이 한계다. 공감과 더불어 감동까지 끌어내는 데는 내포적(의미론적)인 부분과 외연적(음운론적)인 부분의 조화가 필요하다. 슬픔의 정서를 더 많은 사람이 공유하려면 음운론적 요소를 강화할 필요가 있다. 슬픔에 대한 공감과 감동은 동일한 경험의 이야기보다 비슷한 정서의 분위기에 이끌리는 경우가 더 많다. 타래 속 슬픔의 미학은 유년 시절부터 겪은 상실과 고독, 가난의 맥락에서 표출된 원초적인 체험 서사에서 출발하지만, 긴 공백기를 거치면서 심화한 슬픔의 미학은 타인(실향민, 해외 입양자, 러시아 고려인, 일본군 위안부 피해자 등)의 디아스포라 경험까지 자기화하면서 궁극적인구원 서사를 지향한다. 이로써 타래는 잠재적으로 민족의 한계를 뛰어 넘을 가능성도 지니게 되었다. '이산되는 소리'로서의 타래는 다른 세계 음악과의 접점에서 깊은 슬픔의 호소력으로 유리한 국면을 맞을 수 있다. 반다문화주의가 아닌 상호문화주의의 지향으로 글로벌 디아스포라 담론을 형성할 수도 있다. 한돌의 타래는 디아스포라 음악으로서 지속적으로 공감의 영역을 찾고 인식의 지평을 넓혀나가는 것이 향후 과제요 목표다.

• 동양고전연구
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• 제56호
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• pp.35-73
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• 2014

본고는 근대 전환기 심재(深齋) 조긍섭(曺兢燮)(1873-1933)의 시세계를 화운시(和韻詩)를 중심으로 살펴보았다. 그의 시에는 화운시 특히 두보(杜甫)와 소식(蘇軾) 시에 대한 화운시가 많다. 이것은 그가 격변의 시기에 가장 전통적인 방법으로 한시창작에 임했던 중세적 시인이었음을 가늠케 한다. 화운시를 놓고 보았을 때 그의 창작 생애는 대략 40세가 전환의 기점이 된다. 40세 이전에는 두 소뿐만 아니라 그 밖에 당(唐) 송(宋) 및 명(明) 청(淸) 대(代) 시인들, 우리나라의 이황(李滉) 등 화운의 대상이 폭넓게 나타난다. 40세 이후에는 두 소에 대한 화운은 줄어드는 대신 지역과 관련된 우리나라 인물의 시에 화운하는 예가 종종 발견된다. 연령으로는 30대에 지은 것이 가장 많다. 심재는 시재(詩才)의 온전함과 의경(意境)의 통달함을 꼽으며 두보를 '시인의 집대성(集大成)'이라 일컬었다. 그런 인식을 반영하듯이 두시 화운시도 주제와 의경이 다양하게 드러난다. 소시(蘇詩)에 대해서는 그가 따로 생각을 밝힌 바 없으나 일정한 애호를 가지고 있었던 것으로 보인다. 원시에 대한 밀착도는 두시가 소시보다 비교적 더 높게 나타난다. 거칠게 말하면 두보에 대해서는 닮고자 하면서 자기 개성을 찾아나가는 방향이라면, 소식에 대해서는 닮으려 하기보다 계기로 활용해서 자기 의사를 드러내려는 측면이 좀 더 많은 것으로 생각된다. 신중하게 보아야 할 것은 그가 화운시를 짓되 일방적인 모방에 그치지 않고 대조와 차이의 미학을 만들어 내고 있다는 점이다. 그 주제와 의경을 그대로 가져오기보다는 창작의 계기는 공유하되 시 안에 자기 뜻을 기탁해 새로운 의미를 만드는 경우가 많다. 소시 화운시는 전반적으로 원시와의 밀착력이 더 희박한 편이다. 이것은 화운이라는 제약이 많은 창작 방법을 활용하면서도 그에 전적으로 지배되지 않고 자신의 주제와 개성을 만들기 위해 노력한 흔적이라고 할 수 있다. 그런데 두 소시 화운시가 40세 이후로는 별로 지어지지 않는다는 점이 주목된다. 이것은 어쩌면 화운시 '안'에서의 노력만으로는 더 이상 감당하기 어려운 문학적 현실을 자각한 때문은 아닐까. 예컨대 그는 1919년 소식의 옥중시(獄中詩)를 차운해 4수를 짓고 다시 <구중잡제(拘中雜題)[팔수(八首)]>를 지었다. 이것저것 읊은 이 잡제에는 누구의 운에도 제약되지 않은 그의 복잡다단한 심사와 정회가 다종하게 분출되어 있다. 심재의 화운시는 근대 전환기에 한시의 아비투스가 생존했던 현실과 그 인상적인 생존 방식을 증언해 준다. 화운시 창작은 분명 그의 호고(好古)적 성향을 반영하는 것이나, 이면에는 근대적 문자 변동에 저항하는 심리가 일정하게 작용했을 것으로 판단된다. 아울러 유의할 것은 그것이 두 소시에 대한 일방적인 모습(模襲)과 같은 반동적 방향으로 내닿지는 않았다는 사실이다. 그가 한계 속에서도 자기 개성과 목소리를 내기 위해 노력했다는 점을 다시 한 번 의미 있게 새길 필요가 있다. 요컨대, 심재의 화운시는, 새로움과 기이함, '근대'라는 이름의 시도에 이목을 붙들렸던 근대 한시사에서 '접혀 있던' 한쪽 얼굴, 그 평면이 아닌 입체로서의 얼굴을 펼쳐 보게 하는 의의가 있다.

• 대중서사연구
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• 제26권3호
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• pp.45-86
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• 2020

이 글의 목적은 70년대 국가권력에 의해 소환되었던 전통 이념이 '전통의 현대화'라는 명목 아래 당대 한국연극 현장에 수용되었던 양상과 그 함의를 밝히려는데 있다. 이는 다른 한편 70년대 전통 논의를 둘러싼 한국연극계의 자기검열의 양상을 비판적으로 검토하는 작업이기도 하다. 이를 위해 이 글에서는 민족극을 창안하는 방식으로 70년대 한국연극계의 전통 논의를 선점했던 극단 민예극장의 활동을 살펴보았다. 이제까지 70년대 극단 민예극장에 대한 평가는 전통의 계승과 변용을 내세운 허규의 연출 작업을 바탕으로 공연예술적 성취 여부에 집중되었다. 하지만 70년대 국가가 주도한 문화정치의 장(場)에서 구성된 전통 이념과 그것이 작동된 양상은 예술적 성취라는 측면에서만 평가할 수 없다. 무릇 전통을 전유하려 한 주체의 선택적 기준에 따라 전통 이념은 선별되고, 선별된 전통 이념의 선택 과정에서 특정 대상들이 배제, 폐기, 재선별, 재해석, 재인식된다. 70년대 비문화로 호명되었던 서구적인 것이나 퇴폐불온한 것과의 차이 속에서, 전통이 전유되었던 70년대의 상황도 이로부터 멀리 있지 않다. 국가가 주도한 70년대의 전통 논의는 전통의 특정 이념을 안정된 가치로 합법화했는데, 그것을 작동시킨 한 방식은 국가의 문예지원이었다. 70년대 극단 민예극장은 당시 연극 위기론의 구체적 대안으로 선택되었던 전통의 현대화를 바탕으로 민족극을 지향했다. 그것은 구체적으로 전통연희의 계승과 변용이라는 방식으로 구현되었는바, 특히 극단 민예 극장의 대표 연출가 허규에게 전통은 거부할 수 없는 안정적 가치였고 그것의 계승과 변용은 의심할 바 없는 소명으로 내면화되었다. 그 결과 허규가 연출한 극단 민예극장의 공연은 일정한 성취에도 불구하고 과도한 전통연희의 관습들로 채워진 숙련된 장인술로 귀착되었다. 70년대의 전통 이념은 80년대 들어 새로운 전유의 양상으로 전개된다. 1986년 극단 민예극장의 핵심 단원이었던 손진책, 김성녀, 윤문식 등은 민예극장을 탈퇴하여 극단 미추를 만든다. 극단 미추는 연출가 손진책을 중심으로 풍자와 해학이 넘치는 마당놀이를 선보이며 전통의 대중화를 끌어냈다. 전통연희에 내재된 민중의 저항정신을 전통적 가치로 전유했던 대학가의 마당극처럼, 손진책의 마당놀이는 풍자와 해학을 통해 위압적인 국가권력을 비판하고 조롱함으로써 대중적 인기를 끌었다. 70년대 전통 논의의 자장 안에서, 민중의 저항정신을 전통적 가치로 전유하며 자생한 마당극이나 전통의 대중화를 성취한 극단 미추의 마당 놀이는 예술적 성취로써만 평가되지 않는다. 마찬가지로 전통의 계승과 변용이라는 측면에서 70년대 극단 민예극장이 성취한 것 역시 70년대 전통이 소환되었던 맥락을 제외하고 독립적으로 평가될 수 없다. 70년대 국가 주도의 전통 논의에 대응한 한국연극 평단의 시각이 예술성을 바탕으로 한 공연예술의 질적 성취에만 집중된 대목이 아쉬운 것은 그 때문이다. 이 글에서는 이런 맥락을 비판적으로 검토하고, 이를 바탕으로 70년대 극단 민예극장의 활동을 중심으로 당대 한국연극계의 전통 논의와 그 실천 양상을 살펴보았다. 결과적으로 70년대 극단 민예극장의 활동이 한 계기로 작용했을 대중적 마당놀이나 민중저항의 마당극은 70년대 극단 민예극장이 전통을 전유하는 방식, 곧 전통의 계승과 현대적 변용과의 '차이' 속에 정립되었다. 계기는 되었으나 그에 따른 유의미한 차이를 지속적으로 생산해내지 못한 점, 이것이 극단 민예극장의 '전통'이 70년대 한국연극사에서 차지하는 의미이자 한계이다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.29-29
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• 2009

현재 고집적 비휘발성 메모리 소자로는 MRAM (Magnetic Random Access Memory)과 PRAM (Phase Magnetic Random Access Memory)이 활발하게 미국과 일본, 한국 등에서 다양한 연구가 진행되어 오고 있다. 이 중에서 MRAM은 DRAM과 비슷한 10 ns의 빠른 읽기/쓰기 속도와 비휘발성 특성을 가지고 있으며, 전하를 저장할 커패시터가 필요 없고, 두 개의 자성충에 약 10 mA 정도의 전류를 가하면 그때 발생하는 약 10 Oe의 자장을 개개의 비트를 write하고, read 시에는 각 비트의 자기저항을 측정함으로써 데이터를 저장하고 읽을 있으므로, 고집적화가 가능성하다 [1]. 현재 우수한 박막 재료가 개발 되었으나, 고집적 MRAM 소자의 양산에는 해결 하여야 하는 문제점이 있다. 특히 다층 박막으로 구성되어 있으므로 식각 공정의 개발이 필수적이다. 지금까지 MRAM 재료의 식각은 주로 Ion milling, ICP, ECR등의 플라즈마 장치를 되었고, 식각 가스로는 할로겐 기체와 금속카보닐 형성을 위한 Co/$NH_3$와 $Ch_3OH$ 기체가 이용되고 있다. 그러나 할로겐 계열의 기체를 사용할 경우, 식각 부산물들의 높은 끓는점 때문에 식각 부산물이 박막의 표면에서 열적 탈착에 의하여 제거되지 않기 때문에 높은 에너지를 가지는 이온의 도움에 의한 식각이 필요하다. 또한 Cl 계열의 기체를 사용할 경우, 식각 공정 후, 시료가 대기에 노출되면 대기 중의 수분과 식각 부산물이 결합하여 부식 현상이 발생하게 된다. 그러므로 이를 방지하기 위한 추가 공정이 요구된다. 최근에는 부식 현상이 없고, MTJ 상부에 사용되는 Ta 또는 Ti Hard mask와의 높은 선택비를 가지는 $CH_3OH$ 또는 CO/$NH_3$가 사용되고 있다. 하부 박막에 따른 식각 특성에 연구와 다층의 박막의 식각 공정에 발생에 관한 발표는 거의 없다. MRAM을 양산에 적용하기 위하여서는 Main etch 공정에서 빠른 식각 공정이 필요하고, Over etch 공정에서 하부박막에 대한 높은 선택비가 요구된다. 그러므로 본 논문에서는 식각 변수에 따른 플라즈마 측정과 표면 반응을 비교하여 각 공정의 식각 메커니즘을 규명하고, Main Etch 공정에서는 $Cl_2$/Ar 또는 $BCl_3$/Ar 가스를 이용하여 식각 실험을 수행하고, Over etch 공정에는 낮은 Ta 박막 식각 속도를 가지는 $Ch_4/O_2$/Ar 또는 $Ch_3OH$/Ar 가스를 이용하고자 한다. 플라즈마 내의 식각종과 Ta 박막과의 반응을 XPS와 AES를 이용하여 분석하고, 식각 공정 변수에 따른 식각 속도, 식각 선택비와 식각 프로파일 변화를 SEM을 이용하여 관찰한다.

• 비파괴검사학회지
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• 제22권3호
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• pp.275-283
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• 2002

지하에 매설된 각종 시설물의 위치 및 깊이를 조사하기 위한 비파괴적인 조사방법으로 GPR(Ground Penetrating Radar; 지하투과레이다; 지하레이다) 탐사법이 국내외적으로 많이 활용되고 있으나, 가탐심도가 일반적적로 5m이내로서 낮으며, 지하매질이 불균질하거나 점토, 염분, 자갈 등이 많은 곳 및 주변의 전자기적 잡음이 심한 곳에서는 조사가 안 되는 경우가 많다. 본 연구에서는 이러한 비파괴 GPR 탐사법의 제약을 극복하고자 일반적인 매설심도(물리탐사적으로는 얕은 곳)에 위치한 지하매설물임에도 불구하고 탐지가 안 되는 지역을 선정하여, 토질분석에 의해 탐사가 되지 않는 원인규명과 함께 효과적으로 지하매설물을 탐지할 수 있는 새로운 비파괴 전자(電磁) 탐사법을 제시하였다. 본 연구에서는 2kHz-4MHz 대역의 지하조사를 위한 고주파수대역 전자탐사법을 개발, 적용하였다. 고주파수대역 전자 탐사는 주파수대역 탐사이며 인공적으로 에너지원(源)을 방출하는 능동적인 탐사법으로서 가탐심도는 약30m 정도이다. 서로 수직한 전기장과 자기장을 측정하여 임피던스를 계산하며, 이로부터 측점 하부의 수직적인 전기비저항 분포를 해석하게 된다. 또한, 비접촉 용량전극을 채택하여 측정시간을 대폭 줄일 수 있을 뿐만 아니라 콘크리트, 아스팔트 및 잡석으로 포장된 지역에서도 조사가 용이하며, 신호중첩에 의해 고압선 등에 의한 잡음을 감소시킬 수 있게 되었다. 다른 탐사방법으로는 발견할 수 없었던 지하매설관에 대해서 본 고주파수대역 전자탐사를 성공적으로 정밀하게 적용할 수 있었다. 본 연구 결과를 지하매설물의 위치 및 깊이 확인을 위한 정밀 지하측량 지반조사 및 문화 유적지조사 등에 효과적으로 적용할 수 있을 것으로 판단된다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제37권6호
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• pp.43-49
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• 2000

ALE(atomic layer epitaxy)법을 이용하여 (100)면의 Si 기판위에 TiN 박막을 증착하였다. 증착된 TiN 박막을 XRD, 4-point probe, AFM, AES, SEM등의 장비를 사용하여 분석하였다. ALE법에 의한 TiN의 증착을 위한 반응 전구체(precusor)로는 TEMAT(tetrakis (ethylmethylamino)titanium)와 반응 가스로는 $NH_3$를 사용하였다. 표면 포화반응을 형성하기 위해 각 반응 기체는 TEMAT-$N_2-NH_3-N_2$의 순서로 교대로 반응로에 주입하였다. 그 결과 TiN 박막은 150 ~ 220 $^{\circ)C$에서 자기 제어 성장(self-limiting growth) 기구에 의한 박막 증착 특성을 보였다. 증착된 TiN 박막은 증착율이 4.5 ${\AA}$/ cycle로 일정하였고, 비정질 (amorphous)의 구조를 보였다. 박막의 저항율과 표면 평균 거칠기는 210~230${\mu}{\Omega}{\cdot}$cm와 7.9~9.3${\AA}$로 측정되었다. TiN 박막을 2000 ${\AA}$의 두께로 증착하였을 때, 폭이 0.43${\mu}$m이고 단차비 (aspect ratio)가 6인 트렌치 구조에서 매우 우수한 단차피복성을 보였다.

• 대한임상검사과학회지
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• 제52권3호
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• pp.278-283
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• 2020

중추성 수면 무호흡은 수면 중 상기도 저항이 없을 때 흉부와 복부의 호흡 노력 없이 10초 이상의 호흡부전을 보이는 것이 특징이다. 본 증례에서 뇌자기공명영상 확산 강조 영상검사를 통해 외측 연수 경색의 진단을 받은 환자가 수면다원검사를 통해 중추성 수면 무호흡 진단 기준에 미치지 못하는 호흡부전과 중추성 수면 무호흡이 관찰되었다. 호흡부전과 중추성 수면 무호흡에 대한 일차 치료는 CPAP을 사용하였다. CPAP을 사용한 후 수면다원검사와 이전의 수면다원검사를 비교한 결과 무호흡-저호흡 지수(42.5/hr→82.8/hr)와 각성 지수(21.7/hr→40.8/hr)는 악화되었다. 이에 이차 치료로 ASV를 사용하여 적정압력검사를 시행하였다. 이전의 수면다원검사와 비교한 결과 무호흡-저호흡 지수(42.5/hr→8.6/hr)가 상당히 호전되었다. 이러한 결과로 ASV는 중추성 수면 무호흡과 호흡부전에 대한 좋은 치료방법이 될 수 있다.