• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제2권2호
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• pp.129-139
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• 1991

중성자 선원에 의한 되튕긴 양성자의 궤적을 PN-3 검출기를 이용하여 화학적 부식방식으로 검출하는 방법에 대해 논의해 보았다. 또한 PN-3 의 부식 및 검출특성을 부식된 궤적지름과 여러 변수들로 표시하여 보았다. 본 연구를 통해 고체 비적 검출기에 검출된 입자를 분석하기 위해 입자의 전하, 에너지, 질량과 궤적 부식 비율 결정 및 궤적 구조 형성 과정 사이의 관계식에 대한 자세한 정보를 얻을 수 있었다. 또한 하전입자를 보다 정확하게 검출하기 위해 입자의 종류 및 에너지에 대한 부식 조건을 변화시키면서 이에 대응하는 최적의 부식조건을 경험적으로 찾아내었다. 아울러 기대되는 기술 저변 확대 효과로는 고분자플라스틱 검출기를 이용한 저준위 중성자 측정기술의 축적 및 개발을 통해 원자력발전소, 비파괴검사기관 및 의료기관 동 방사선 동위원소 취급기관의 중성자 선량측정계로의 유용한 응용 가능성이 예상된다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2001년도 춘계학술대회논문집D
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• pp.91-96
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• 2001

Ultrafine particles have been widely used in many high technology industrial areas. The spherical nonagglomerated and uniform nanometer-size $SiO_{2}$ particles are synthesized by the injection of TEOS vapor, ions and reaction gas in furnace. Ions were generated by Corona discharge electrode and these ions charge $SiO_{2}$ particles. As a result, spherical, nonagglomerated and ultrafine particles are generated in various conditions, it's morphology, charging portion and size distribution are examined by using TEM, ESP and SMPS. As the applied voltage of electrode changes from 0 kV to 5.0 kV, it is observed that the mean diameter of $SiO_{2}$ particle decreases from 94 nm to 42 nm.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2001년도 춘계학술대회논문집D
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• pp.605-611
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• 2001

A numerical technique for simulating the aggregation of charged particles was presented with a Brownian dynamic simulation in the free molecular regime. The Langevin equation was used for tracking each particle making up an aggregate. A periodic boundary condition was used for calculation of the aggregation process in each cell with 500 primary particles of 16 nm in diameter. We considered the thermal force and the electrostatic force for the calculation of the particle motion. The morphological shape of aggregates was described in terms of the fractal dimension. The fractal dimension for the uncharged aggregate was $D_{f}=1.761$. The fractal dimension changed slightly for the various amounts of bipolar charge. However, in case of unipolar charge, the fractal dimension decreased from 1.641 to 1.537 with the increase of the average number of charges on the particles from 0.2 to 0.3 in initial states.

• 품질경영학회지
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• 제42권2호
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• pp.179-187
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• 2014

Purpose: Since several problems were found when present non-conducting metal coating process was applied to mass production, we study and develop to improve those problems. Methods: In this paper, a couple of analysis methods such as surface hardness, XPS spectrum analysis, morphology, and reflection ratio were used. Results: This paper suggest a new possibility of Non-conducting thin metal coating method that has quality of mass production phase without UV coating process. Conclusion: By the result of analysis, we can set optimized process conditions of the electro deposition coating using electron beam.

• 한국진공학회지
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• 제18권3호
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• pp.151-163
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• 2009

유체 모델을 기반으로 하는 국내의 유도 결합 플라즈마원의 시뮬레이터 개발 현황을 정리하였다. 전체 시뮬레이터를 구성하는 각 부분으로서, 전자 가열, 하전 입자 및 중성종 수송, sheath를 포함한 표면 반응, 그리고 GUI (Graphic User Interface) 및 전후처리기 등의 순으로 설명되었다. 현재까지 시뮬레이터에 구현된 화학 반응 데이터와 swarm 데이터도 정리하여 보았고, 앞으로의 개발 방향을 전망하여 보았다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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• pp.1519_1520
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• 2009

This paper investigates forces on a charged particle used in the e-paper application. The particles were inserted into the pixels and according to the applied voltage, particles moves up or down to the electrodes. So, to design the e-paper, the force analysis is very important for the stable operation of e-paper. For these purposes, we divided forces into 4 different forces and numerically evaluated each force. From the simulation results, we confirmed that the minimum voltage to detach the particle from the bottom electrode can be obtained for the given condition.

• 한국대기환경학회지
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• 제17권3호
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• pp.259-268
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• 2001

In this study, we have developed a simulation method to predict the initial collection efficiency of a unipolar charged fiber in the electret filters. The particle sizes considered were in the submicron range and thus Brownian motion of particles was also taken into consideration along with electrostatic forces acting on the particles. The simulation results were compared with other investigators experimental data on single fiber efficiency as well as with the calculated results using the existing correlations on single fiber efficiency. It has been shown that simulation results are in good agreement both with the experimental data with those predicted by the correlations.

• 한국진공학회지
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• 제4권2호
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• pp.210-216
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• 1995

최근에 연구되고 있는 저온, 저압 플라즈마를 이용한 식각기술 중 차세대 반도체 metallization 공정에 응용될 수 있는 가장 적합한 기술이라 사료되는 유도 결합형 플라즈마(Inductively Coupled Plasma : ICP)를 이용한 RF 스퍼터 식각 반응로를 제작하고 이에 대한 특성을 조사하였다. 유도용 주파수로서 13.56 MHz를 사용하였으며 유도결합을 일으키기 위해 3.5회의 나선형 평판형 코일을 사용함으로써 비교적 대면적에 균일한 고밀도 플라즈마를 얻을 수 있었다. 또한 기판에 독립적인 13.56MHz RF power를 가해 DC 바이어스를 인가함으로써 기판으로 입사하는 하전입자들의 에너지를 조절하여 기판에의 손상을 최소화하며 SiO2의 스퍼터 식각 속도를 극대화할 수 있었다. 따라서 이러한 특성을 갖는 유도 결합형 플라즈마 식각장치를 차세대 반도체의 RF스퍼터 식각 공정에 응용할 수 있으리라 사료된다.

• 설비공학논문집
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• 제9권3호
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• pp.323-332
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• 1997

It was reported by some researchers that two-stage parallel-plate ESPs, commonly called electronic air cleaners, show decreasing behavior of collection efficiency as particle size decreases below about $0.03{\mu}m$. This phenomenon is attributed to partial particle charging characteristics, where some of incoming particles are not charged in the charging cell of 2-stage parallel-plate ESP. One way to improve the decreasing collection efficieny in that particle size range is to enforce particle charging quantity in the charging cell. In the present study, in order to do this a 2-wire series-type charging cell modified from a 1-wire normal-type one was suggested and investigated theoretically and experimentally concerning improvement of the collection efficiency. It was confirmed from the experimental and theoretical works that the collection efficiency was apparently improved.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.216.2-216.2
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• 2014

플라즈마의 연속 운전 조건은 플라즈마 발생원의 기하적, 전기적 특성에 의한 공정 특성을 갖는다. RF power를 pulsing하는 경우 off시간에 하전 입자와 중성 라디칼의 소멸 특성의 차이로 인하여 나노 미세 구조의 식각에 유리한 측면이 있다. 유도 결합 플라즈마원을 주발생원으로 이용하는 건식 식각장비의 기판 바이어스를 rf pulsing하는 경우 유체 모델을 이용한 계산 방법에서 rf off 시간 중의 2차 전자 발생 계수를 rf on time시와 동일 하게 계산하거나 입사 이온의 에너지와 무관하게 0.05 등의 상수로 처리하는 경우가 많은데 본 연구에서는 rf bias off 시간 동안의 SEC(secondary electron coefficient)를 변화시키는 조건이 플라즈마의 특성에 어떤 영향을 미치는지 CFD-ACE+에 user subroutine을 이용하여 조사하였다.