1 |
D. C. Kwon, N. S. Yoon, J. H. Kim, Y. H. Shin, and K. H. Chung, J. Korean Phys. Soc. 50, 40 (2007)
DOI
ScienceOn
|
2 |
S. B. Song and N. S. Yoon, Surf. Coat. Technol. 171, 183 (2003)
DOI
ScienceOn
|
3 |
B. S. Jung, D. C. Kwon, and N. S. Yoon, will be submitted
|
4 |
P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol B 12, 461 (1994)
DOI
ScienceOn
|
5 |
T. Panagopoulos, D. Kim, V. Midha, and D. J. Economou, J. App. Phys. 91, 2687 (2002)
DOI
ScienceOn
|
6 |
K. -B. Persson, Phys. Fluids 5, 1625 (1962)
DOI
|
7 |
N. S. Yoon, N. H. Choi, B. H. Park, and D. I. Choi, IEEE Trans. Plasma. Sci. 23, 609 (1995)
DOI
ScienceOn
|
8 |
E. Meeks and J. W. Shon IEEE Trans. on Plasma Sci. 23, 539, (1995)
DOI
ScienceOn
|
9 |
J. T. Gudmundsson, J. Phys. D: Appl. Phys. 35, 328 (2002)
DOI
ScienceOn
|
10 |
T. Shimada, Y. Nakamura, Z. L. Petrovic, and T. Makabe, J. Phys. D: Appl. Phys. 36, 1936 (2003)
DOI
ScienceOn
|
11 |
H. Tawara, Y. Itikawa, H. Nishimura, and M. Yoshino, J. Phys. and Chem. Ref. Data, 19, 617 (1990)
DOI
|
12 |
P. A. Miller and M. E. Riley, J. Appl. Phys. 82, 3689 (1997)
DOI
ScienceOn
|
13 |
D. C. Kwon and N. S. Yoon, will be published
|
14 |
J. C. Helmer and J. Feinstein, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 507(1994)
DOI
ScienceOn
|
15 |
B. B. Welch, K. Jones, and J. Hobbs, Practical Programming in Tcl and Tk, Prentice Hall, (2003)
|
16 |
이원기, 배상현, 권득철, 윤남식, 대한전기학회 충북지부 2009년 춘계학술대회 논문집, 게재예정
|
17 |
H. Y. Kim, D. C. Kwon, N. S. Yoon, H. H. Choe, and J. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 49, 1967 (2006)
ScienceOn
|
18 |
V. A. Godyak and N. Sternberg, IEEE Trans. Plasma Sci. 18, 159 (1990)
DOI
ScienceOn
|
19 |
J. D. Bukowski and D. B. Graves, P. Vitello, J. Appl. Phys. 80(5), 2614 (1996)
DOI
ScienceOn
|
20 |
N. S. Yoon, K. –I. You, and S. M. Hwang, Surf. Coat. Technol. 112, 34 (1999)
DOI
ScienceOn
|
21 |
R. H. Cohen and T. D. Rognlien, Phys. Plasmas 3, 1839 (1996)
DOI
ScienceOn
|
22 |
C. Costin, L. Marques, G. Popa, and G. Gousset, Plasma Sources Sci. Technol. 14, 168 (2005)
DOI
ScienceOn
|
23 |
H. J. Kim, D. C. Kwon, and N. S. Yoon, Current Appl. Phys. 9, 647 (2009)
DOI
ScienceOn
|
24 |
http://uigelz.eecs.umich.edu/pub/data/e_reactions.pdf
|
25 |
S. S. Kim, C. S. Chang, and N. S. Yoon, J. Korean Phys. Soc. 29, 678 (1996)
|
26 |
D. B. Hash, D. Bose, M. V. V. S. Rao, B. A. Cruden, and M. Meyyappan, J. Appl. Phys. 90, 2184 (2001)
|
27 |
C. Riccardi, R. Barni, F. D. Colle, and M. Fontanesi, IEEE Trans. on Plasma Sci., 28, 278 (2000)
DOI
ScienceOn
|
28 |
V. A. Godyak, R. B. Piejak, B. M. Alexandrovich, and A. I. Smolyakov, Plasma Sources Sci. Technol. 10, 459 (2001)
DOI
ScienceOn
|
29 |
유동훈, 김정미, 윤남식, 이승욱, 설여송, 대한전자공 학회 및 대한전기학회 충북지부 2002년도 합동 추계 학술대회 논문집 pp. 32-36
|
30 |
M. M. Turner, Phys. Rev. Lett. 71, 1884 (1993)
|
31 |
S. S. Kim, H. Y. Chang, C. S. Chang, and N. S. Yoon, Appl. Phys. Lett. 77, 492 (2000)
DOI
ScienceOn
|
32 |
T. Panagopoulos, D. Kim, V. Midha, and D. J. Economou, J. App. Phys. 91, 2687 (2002)
DOI
ScienceOn
|
33 |
M. W. Kiehlbauch and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 89, 2047 (2001)
DOI
ScienceOn
|
34 |
H. H. Choe, N. S. Yoon, S. S. Kim, and D. I. Choi, J. Computational Phys. 170, 550 (2001)
DOI
ScienceOn
|
35 |
David R. Lide, ed., CRC Handbook of Chemistry and Physics, Internet Version 2007, (87th Edition)
|
36 |
J. L. Giuliani, V. A. Shamamian, R. E. Thomas, J. P. Apruzese, M. Mulbrandon, R. A. Rudder, R. C. Hendry, and A. E. Robson, IEEE Trans. on Plasma Sci. 5, 1317 (1999)
DOI
ScienceOn
|
37 |
N. S. Yoon, S. S. Kim, C. S. Chang, and D. I. Choi, Phys. Rev. E 54, 757 (1996)
DOI
ScienceOn
|
38 |
R. A. Stewart, P. Vitello, and D. B. Graves, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 478 (1994)
DOI
ScienceOn
|
39 |
T. Kimura and K. Ohe, Plasma Sources Sci. Technol. 8, 533 (1999)
|
40 |
김용일, 윤남식, 한국진공학회지 17, 400 (2008)
과학기술학회마을
DOI
|
41 |
G. DiPeso, T. D. Rognlien, V. Vahedi, and D. W. Hewett, IEEE Trans. Plasma Sci. 23, 550 (1995)
DOI
ScienceOn
|
42 |
S. S. Kim, C. S. Chang, N. S. Yoon, and Ki-Woong Hwang, Physics of Plasmas 6, 2926 (1999)
DOI
|
43 |
K. –I. You, N. S. Yoon, and S. M. Hwang, Surf. Coat. Technol. 114, 60 (1999)
DOI
ScienceOn
|
44 |
E. Meeks, R. S. Larson, P. Ho, S. M. Han, E. Edelberg, E. Aydil, and C. Apblett J. Vac. Sci. Technol. A 16, 544 (1998)
DOI
ScienceOn
|
45 |
K. –I. You, N. S. Yoon, and S. M. Hwang, Surf. Coat. Technol. 114, 60 (1999)
DOI
ScienceOn
|
46 |
N. S. Yoon, B. H. Park, J. H. Kim, and Y. H. Shin, Thin Solid Films 435, 293 (2003)
DOI
ScienceOn
|
47 |
A. Metze, D. W. Ernie, and H. J. Oskam, J. Appl. Phys. 60, 3081 (1986)
DOI
|
48 |
E. F. Jaeger, L. A. Berry, J. S. Tolliver, and D. B. Batchelor, Phys. Plasmas 2, 2597 (1995)
DOI
ScienceOn
|
49 |
배상현, 권득철, 윤남식, 한국진공학회지 17, 426 (2008)
과학기술학회마을
DOI
|
50 |
Y. Itikawa, J. Phys. Chem. Ref. Data, 38, 1 (2009)
DOI
ScienceOn
|
51 |
S. S. Kim, S. Hamaguchi, N. S. Yoon, C. S. Chang, Y. D. Lee, and S. H. Ku, Phys. Plasmas 8, 1384 (2001)
DOI
ScienceOn
|
52 |
J. T. Gudmundsson, I. G. Kouznetsov, K. K. Patel, and M. A. Lieberman J. Phys. D: Appl. Phys. 34, 1100 (2001)
DOI
ScienceOn
|
53 |
Kitware Inc., The VTK User;s Guide, Kitware Inc., (2003)
|
54 |
D. Bohm, Characteristics of Electrical Discharges in Magnetic Field, McGraw-Hill, (1949)
|
55 |
D. Humbird and D. B. Graves, J. Chem. Phys. 120, 2405 (2004)
DOI
PUBMED
|
56 |
S. S. Kim, C. S. Chang, N. S. Yoon, and K. W. Hwang, Phys. Plasmas 6, 2926 (1999)
DOI
|
57 |
N. S. Yoon, S. M. Hwang, and D. I. Choi, Phys. Rev. E 55, 7536 (1997)
DOI
ScienceOn
|
58 |
D. C. Kwon and N. S. Yoon, J. Korean Phys. Soc. 51, 522 (2007)
DOI
ScienceOn
|
59 |
S. V. Patanker, Numerical Heat Transfer and Fluid Flow, McGraw-Hill, (1980)
|
60 |
Y. Tanaka1, T. Michishita, and Y. Uesugi, Plasma Sources Sci. Technol. 14, 134 (2005)
DOI
ScienceOn
|
61 |
J. A. Sethian, Level Set Methods and Fast Marching Methods (Cambridge University Press, New York, 1999)
|
62 |
G. I. Font, W. L. Morgan, and G. Mennenga, J. Appl. Phys. 91, 3530 (2002)
DOI
ScienceOn
|
63 |
정봉삼, 윤남식, 한국진공학회지 17, 419 (2008)
과학기술학회마을
DOI
ScienceOn
|
64 |
S. Rauf and M. J. Kushner J. Appl. Phys. 85, 3450 (1999)
|
65 |
P. Ho, J. E. Johannes, and R. J. Buss, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 2344 (2001)
DOI
ScienceOn
|
66 |
E. W. McDaniel and E. A. Mason, The mobility and Diffusion of Ions in Gases (Wiley, New York, 1973)
|
67 |
S. Rauf and P. L. G. Ventzek, J. Appl. Phys. 92, 6998 (2002)
DOI
ScienceOn
|
68 |
D. C. Kwon, N. S. Yoon, J. H. Kim, Y. H. Shin, and K. H. Chung, J. Korean Phys. Soc. 47, 163 (2005)
|
69 |
R. A. Stewart, P. Vitello, D. B. Graves, E. F. Jaeger, and L. A. Berry, Plasma Sources Sci. Technol. 4, 36 (1995)
DOI
ScienceOn
|
70 |
K. –I. You and N. S. Yoon, Phys. Rev. E 59, 7074 (1999)
DOI
ScienceOn
|
71 |
D. Bose, T. R. Govindan, and M. Meyyappan, J. Appl. Phys. 87, 7176 (2000)
DOI
ScienceOn
|
72 |
Z. L. Dai, Y. N. Wang, and T. C. Ma, Phys. Rev. E 65, 036403 (2002)
DOI
|
73 |
D. C. Kwon and N. S. Yoon, will be submitted
|
74 |
D. C. Kwon, N. S. Yoon, J. H. Kim, Y. H. Shin, and K. H. Chung, J. Korean Phys. Soc. 47, 163 (2005)
ScienceOn
|
75 |
유동훈, 권득철, 이종규, 윤남식, 김정형, 신용현, Trans. KIEE. 54C, 326 (2005)
|
76 |
권득철, 윤남식, 김정형, 신용현, Trans. KIEE. 53C, 433 (2004)
|
77 |
M. Baeva, X. Luo, B. Pfelzer, T. Repsilber, and J. Uhlenbusch, Plasma Sources Sci. Technol. 9, 128 (2000)
DOI
ScienceOn
|